| الكمية: | |
|---|---|
TN
الأداة عبارة عن جهاز ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD) ومجهز بـ نظام حركة لفة إلى لفة.لا يتم استخدامه فقط في عملية المعالجة الحرارية المستمرة لقضبان الأسلاك، مثل تحضير ألياف الكربون، وتعديل السبائك والمواد الأخرى، ولكنه يستخدم أيضًا للنمو المستمر للجرافين على الملف.
تتكون المعدات من خمسة أجزاء: نظام حركة لفة إلى لفة، فرن الأنبوب المفتوح لمنطقة التسخين 1200 درجة مئوية، نظام تعزيز البلازما PE، نظام التفريغ ونظام إمداد الغاز بمقياس تدفق البروتون ثلاثي الاتجاه.يمكن للنظام بأكمله العمل في بيئة حماية الفراغ/الجو.
يمكن تعديل سرعة جهاز اللف من 1 إلى 400 مم / دقيقة، وتعتمد الآلية تعديل التغذية الراجعة، والتي يمكنها تصحيح انحراف السرعة تلقائيًا وضمان ثبات سرعة العينة، وبالتالي ضمان دقة التجربة.
PECVD مع المعلمة التقنية لنظام لفة إلى لفة:
1200℃2 فرن الأنبوب المفتوح بمنطقة التسخين | غرض | التفاصيل |
الجهد االكهربى | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز | |
القوة القصوى | 3 كيلو واط | |
منطقة التدفئة | مناطق مزدوجة 200 مم + 200 مم | |
درجة حرارة العمل | ≥1200 درجة مئوية | |
دقة التحكم في درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية | |
طريقة التحكم في درجة الحرارة | منحنى عملية AI-PID ذو 30 مرحلة، يمكنه تخزين عدة | |
مادة الأنبوب | الكوارتز عالي النقاء | |
حجم الأنبوب | φ80 مم معرف × 1400 مم طول | |
وضع الختم | شفة فراغ الفولاذ المقاوم للصدأ | |
قياس الفراغ | مقياس المقاومة | |
غاز العمل | الغازات غير القابلة للتآكل مثل الهيدروجين والنيتروجين الأرجون والأكسجين | |
مضخة فراغ | مضخة فراغ دوارة ثنائية القطب | |
فراغ نهائي | 10 ^ -1 باسكال | |
مقياس الجريان الشامل ثلاثي الاتجاه | غرض | التفاصيل |
نوع الصمام | صمام إبرة من الفولاذ المقاوم للصدأ | |
قنوات الغاز | ثلاثي | |
نطاق الضغط | 0.05 ~ 0.3MPa | |
يتراوح | 0~100 SCCM (ع) 0 ~ 200 SCCM (H2) 0 ~ 500 SCCM (CH4) | |
نطاق التحكم في التدفق | ±1.5% | |
حجم خزان الخلط | 750 مل | |
مادة مسار الغاز | 304 الفولاذ المقاوم للصدأ | |
واجهة الأنابيب | وصلة من نوع العض مقاس 6.35 مم | |
مزود الطاقة | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز | |
قوة الترددات اللاسلكية | غرض | التفاصيل |
انتاج الطاقة | 500 واط | |
دقة الإخراج | ±1% | |
تردد الترددات اللاسلكية | 13.56 ميجا هرتز | |
استقرار الترددات اللاسلكية | ±0.005% | |
طريقة التبريد | تبريد الماء |
الأداة عبارة عن جهاز ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD) ومجهز بـ نظام حركة لفة إلى لفة.لا يتم استخدامه فقط في عملية المعالجة الحرارية المستمرة لقضبان الأسلاك، مثل تحضير ألياف الكربون، وتعديل السبائك والمواد الأخرى، ولكنه يستخدم أيضًا للنمو المستمر للجرافين على الملف.
تتكون المعدات من خمسة أجزاء: نظام حركة لفة إلى لفة، فرن الأنبوب المفتوح لمنطقة التسخين 1200 درجة مئوية، نظام تعزيز البلازما PE، نظام التفريغ ونظام إمداد الغاز بمقياس تدفق البروتون ثلاثي الاتجاه.يمكن للنظام بأكمله العمل في بيئة حماية الفراغ/الجو.
يمكن تعديل سرعة جهاز اللف من 1 إلى 400 مم / دقيقة، وتعتمد الآلية تعديل التغذية الراجعة، والتي يمكنها تصحيح انحراف السرعة تلقائيًا وضمان ثبات سرعة العينة، وبالتالي ضمان دقة التجربة.
PECVD مع المعلمة التقنية لنظام لفة إلى لفة:
1200℃2 فرن الأنبوب المفتوح بمنطقة التسخين | غرض | التفاصيل |
الجهد االكهربى | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز | |
القوة القصوى | 3 كيلو واط | |
منطقة التدفئة | مناطق مزدوجة 200 مم + 200 مم | |
درجة حرارة العمل | ≥1200 درجة مئوية | |
دقة التحكم في درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية | |
طريقة التحكم في درجة الحرارة | منحنى عملية AI-PID ذو 30 مرحلة، يمكنه تخزين عدة | |
مادة الأنبوب | الكوارتز عالي النقاء | |
حجم الأنبوب | φ80 مم معرف × 1400 مم طول | |
وضع الختم | شفة فراغ الفولاذ المقاوم للصدأ | |
قياس الفراغ | مقياس المقاومة | |
غاز العمل | الغازات غير القابلة للتآكل مثل الهيدروجين والنيتروجين الأرجون والأكسجين | |
مضخة فراغ | مضخة فراغ دوارة ثنائية القطب | |
فراغ نهائي | 10 ^ -1 باسكال | |
مقياس الجريان الشامل ثلاثي الاتجاه | غرض | التفاصيل |
نوع الصمام | صمام إبرة من الفولاذ المقاوم للصدأ | |
قنوات الغاز | ثلاثي | |
نطاق الضغط | 0.05 ~ 0.3MPa | |
يتراوح | 0~100 SCCM (ع) 0 ~ 200 SCCM (H2) 0 ~ 500 SCCM (CH4) | |
نطاق التحكم في التدفق | ±1.5% | |
حجم خزان الخلط | 750 مل | |
مادة مسار الغاز | 304 الفولاذ المقاوم للصدأ | |
واجهة الأنابيب | وصلة من نوع العض مقاس 6.35 مم | |
مزود الطاقة | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز | |
قوة الترددات اللاسلكية | غرض | التفاصيل |
انتاج الطاقة | 500 واط | |
دقة الإخراج | ±1% | |
تردد الترددات اللاسلكية | 13.56 ميجا هرتز | |
استقرار الترددات اللاسلكية | ±0.005% | |
طريقة التبريد | تبريد الماء |
