آلة فرن الأنبوب الدوار PECVD ذات درجة الحرارة العالية

آلة الفرن الأنبوبي الدوار المنزلق العمودي ذو درجة الحرارة العالية PECVD هي عبارة عن معدات حديثة مصممة لتلبية المتطلبات الصعبة لهذه الصناعات.

تستخدم هذه الآلة تقنية PECVD لترسيب الأغشية الرقيقة عالية الجودة مع تجانس والتصاق استثنائيين.بفضل تصميمه الدوار المنزلق العمودي، فإنه يوفر مرونة وكفاءة معززة في عملية الترسيب.تتيح ميزة الانزلاق العمودي سهولة تحميل وتفريغ الركائز، مما يقلل من وقت التوقف عن العمل ويزيد من الإنتاجية إلى أقصى حد.

الفرن قادر على الوصول إلى درجات حرارة عالية تصل إلى [أدخل نطاق درجة الحرارة] مع التحكم الدقيق في درجة الحرارة.وهذا يضمن الظروف المثالية لترسيب الفيلم، مما يؤدي إلى جودة وأداء فائق للفيلم.تعمل الحركة الدوارة على تعزيز تجانس الفيلم من خلال تمكين التوزيع المتساوي للغازات الأولية عبر سطح الركيزة.

مجهزة بتكنولوجيا توليد البلازما المتقدمة، فإن آلة الفرن الأنبوبي PECVD الخاصة بنا تضمن إثارة البلازما بكفاءة، مما يؤدي إلى تحسين خصائص الفيلم وتقليل العيوب.تعمل البلازما على تعزيز التفاعلات الكيميائية، مما يؤدي إلى تحسين كثافة الفيلم وصلابته والتصاقه.وهذا يجعله خيارًا مثاليًا للتطبيقات التي تتطلب أغشية رقيقة عالية الأداء.

تم تجهيز الآلة بلوحة تحكم سهلة الاستخدام، مما يسمح بالتشغيل السهل ومراقبة عملية الترسيب.إنه يوفر العديد من المعلمات القابلة للبرمجة، مثل وقت الترسيب، ودرجة الحرارة، ومعدلات تدفق الغاز، والضغط، مما يتيح التحكم الدقيق وتخصيص خصائص الفيلم.

بالإضافة إلى ذلك، تم تصميم آلة الفرن الأنبوبي PECVD الخاصة بنا بميزات السلامة لضمان حماية المشغل وتقليل مخاطر الحوادث.لقد تم تصنيعه باستخدام مواد ومكونات عالية الجودة، مما يضمن المتانة والموثوقية على المدى الطويل.

بشكل عام، فإن آلة الفرن الأنبوبي الدوار المنزلق العمودي PECVD ذات درجة الحرارة العالية هي حل متطور لترسيب الأغشية الرقيقة في صناعة الإلكترونيات.فهو يوفر أداءً فائقًا ومرونة وسهولة في الاستخدام، مما يجعله أداة أساسية لمختبرات الأبحاث والجامعات ومرافق الإنتاج.استثمر في آلة الفرن الأنبوبي PECVD الخاصة بنا لتحقيق جودة استثنائية للأغشية الرقيقة وتسريع عمليات البحث والتطوير لديك.

المعايير الفنية