| الكمية: | |
|---|---|
TN-PECVD-50R-1200-Q
TN
على العملية. تم تصميم هذا النظام لترسيب الأفلام عالي الجودة والموحد في التطبيقات البحثية والصناعية.
يتميز نظام الفرن الأنبوبي PECVD بفرن أنبوبي ذو درجة حرارة عالية قادر على الوصول إلى درجات حرارة تصل إلى 1200 درجة مئوية، مما يسمح بالتحكم الدقيق في عملية الترسيب. يتضمن النظام أيضًا نظام توصيل الغاز لإدخال الغازات الأولية إلى الغرفة، بالإضافة إلى مصدر طاقة للترددات الراديوية (RF) لتوليد البلازما.
مع تصميمه المتقدم وقدرات التحكم الدقيقة، فإن نظام الفرن الأنبوبي PECVD مثالي لترسيب مجموعة واسعة من الأغشية الرقيقة، بما في ذلك ثاني أكسيد السيليكون، ونيتريد السيليكون، والسيليكون غير المتبلور. يُستخدم النظام بشكل شائع في تصنيع ترانزستورات الأغشية الرقيقة والخلايا الشمسية والأجهزة الإلكترونية الأخرى.
بشكل عام، يوفر نظام الفرن الأنبوبي PECVD للباحثين والمصنعين حلاً موثوقًا وفعالًا لترسيب الأغشية الرقيقة، مع القدرة على إنتاج أفلام عالية الجودة بتوحيد وإمكانية تكرار ممتازة. إن ميزاته وقدراته المتقدمة تجعله أداة قيمة لمجموعة واسعة من التطبيقات في مجالات علوم المواد وتكنولوجيا النانو وتصنيع أجهزة أشباه الموصلات.
اسم المنتج | فرن أنبوب PECVD | |
اسم المنتج | TN-PECVD-50R-1200-Q | |
إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية | طاقة الإخراج | 150 واط |
دقة الإخراج | ±1% | |
تردد الترددات اللاسلكية | 13.56 ميجا هرتز | |
استقرار الترددات اللاسلكية | ±0.005% | |
طريقة التبريد | تبريد الهواء | |
فرن أنبوبي بمنطقة تسخين واحدة 1200 درجة مئوية | جهد الإمداد | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز |
القوة القصوى | 2 كيلو واط | |
منطقة التدفئة | منطقة تسخين واحدة 200 ملم | |
درجة حرارة العمل | الحد الأقصى 1200 درجة مئوية، يجب أن تكون درجة حرارة التشغيل المستمرة ≥1100 درجة مئوية | |
دقة درجة الحرارة | ± 1 درجة مئوية | |
طريقة التحكم في درجة الحرارة | منحنى عملية AI-PID ذو 30 مرحلة، يمكن تخزينه عديد ثلاث مناطق درجة حرارة مستقلة التحكم، مع الحماية من الحرارة الزائدة والفشل المزدوج الحراري | |
مادة أنبوب الفرن | الكوارتز عالي النقاء | |
حجم أنبوب الفرن | ضياء. 50x800 ملم | |
طريقة الختم | شفة الفولاذ المقاوم للصدأ فراغ، KF16 شفة | |
سرعة قابلة للتعديل | 0-20 دورة في الدقيقة | |
زاوية ميل الفرن | 0-15 درجة | |
مضخة فراغ | مضخة ميكانيكية دوارة دوارة | |
فراغ نهائي | 1.0E-1Pa | |
طريقة التغذية | قمع فراغ وتغذية المسمار | |
على العملية. تم تصميم هذا النظام لترسيب الأفلام عالي الجودة والموحد في التطبيقات البحثية والصناعية.
يتميز نظام الفرن الأنبوبي PECVD بفرن أنبوبي ذو درجة حرارة عالية قادر على الوصول إلى درجات حرارة تصل إلى 1200 درجة مئوية، مما يسمح بالتحكم الدقيق في عملية الترسيب. يتضمن النظام أيضًا نظام توصيل الغاز لإدخال الغازات الأولية إلى الغرفة، بالإضافة إلى مصدر طاقة للترددات الراديوية (RF) لتوليد البلازما.
مع تصميمه المتقدم وقدرات التحكم الدقيقة، فإن نظام الفرن الأنبوبي PECVD مثالي لترسيب مجموعة واسعة من الأغشية الرقيقة، بما في ذلك ثاني أكسيد السيليكون، ونيتريد السيليكون، والسيليكون غير المتبلور. يُستخدم النظام بشكل شائع في تصنيع ترانزستورات الأغشية الرقيقة والخلايا الشمسية والأجهزة الإلكترونية الأخرى.
بشكل عام، يوفر نظام الفرن الأنبوبي PECVD للباحثين والمصنعين حلاً موثوقًا وفعالًا لترسيب الأغشية الرقيقة، مع القدرة على إنتاج أفلام عالية الجودة بتوحيد وإمكانية تكرار ممتازة. إن ميزاته وقدراته المتقدمة تجعله أداة قيمة لمجموعة واسعة من التطبيقات في مجالات علوم المواد وتكنولوجيا النانو وتصنيع أجهزة أشباه الموصلات.
اسم المنتج | فرن أنبوب PECVD | |
اسم المنتج | TN-PECVD-50R-1200-Q | |
إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية | طاقة الإخراج | 150 واط |
دقة الإخراج | ±1% | |
تردد الترددات اللاسلكية | 13.56 ميجا هرتز | |
استقرار الترددات اللاسلكية | ±0.005% | |
طريقة التبريد | تبريد الهواء | |
فرن أنبوبي بمنطقة تسخين واحدة 1200 درجة مئوية | جهد الإمداد | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز |
القوة القصوى | 2 كيلو واط | |
منطقة التدفئة | منطقة تسخين واحدة 200 ملم | |
درجة حرارة العمل | الحد الأقصى 1200 درجة مئوية، يجب أن تكون درجة حرارة التشغيل المستمرة ≥1100 درجة مئوية | |
دقة درجة الحرارة | ± 1 درجة مئوية | |
طريقة التحكم في درجة الحرارة | منحنى عملية AI-PID ذو 30 مرحلة، يمكن تخزينه عديد ثلاث مناطق درجة حرارة مستقلة التحكم، مع الحماية من الحرارة الزائدة والفشل المزدوج الحراري | |
مادة أنبوب الفرن | الكوارتز عالي النقاء | |
حجم أنبوب الفرن | ضياء. 50x800 ملم | |
طريقة الختم | شفة الفولاذ المقاوم للصدأ فراغ، KF16 شفة | |
سرعة قابلة للتعديل | 0-20 دورة في الدقيقة | |
زاوية ميل الفرن | 0-15 درجة | |
مضخة فراغ | مضخة ميكانيكية دوارة دوارة | |
فراغ نهائي | 1.0E-1Pa | |
طريقة التغذية | قمع فراغ وتغذية المسمار | |
