توافر الحالة: | |
---|---|
الكمية: | |
TNO1200-60IIC-R
TN
إن جهاز استقبال تغذية الفرن ذو الأنبوب الدوار لتنظيف مسحوق PE CVD هو حل متطور مصمم لتعزيز كفاءة ودقة عمليات PECVD.
يوفر هذا المنتج المبتكر آلية تغذية واستلام سلسة ودقيقة لمواد المسحوق المستخدمة في تنظيف PECVD.بفضل تصميم الفرن الأنبوبي الدوار، فإنه يضمن التسخين والتوزيع الموحد للمسحوق، مما يؤدي إلى ترسيب غشاء رقيق متسق وعالي الجودة.
تم تجهيز وحدة استقبال تغذية الفرن الأنبوبي الدوار لتنظيف مسحوق PE CVD بتقنية البلازما المتقدمة، والتي تتيح ترسيب الأغشية الرقيقة مع التصاق وتوحيد استثنائيين.وهذا يضمن أن الأفلام الناتجة تلبي المتطلبات الصارمة لصناعة الإلكترونيات، مما يضمن الأداء الأمثل والموثوقية.
تم تصميم هذا المنتج بأقصى قدر من الاحترافية، وتم تصنيعه باستخدام مواد ومكونات عالية الجودة، مما يضمن المتانة والأداء طويل الأمد.تعمل واجهته سهلة الاستخدام وعناصر التحكم البديهية على تسهيل تشغيله وصيانته، مما يقلل من وقت التوقف عن العمل ويزيد من الإنتاجية.
بفضل تصميمها المدمج والموفر للمساحة، يمكن دمج وحدة استقبال تغذية الفرن الأنبوبي الدوار لتنظيف مسحوق PE CVD بسلاسة في أنظمة PECVD الحالية، مما يقلل من وقت التثبيت والإعداد.يضمن البناء القوي والهندسة الدقيقة التشغيل المستقر والموثوق، حتى في البيئات الصناعية الصعبة.
باختصار، يعد جهاز استقبال تغذية الفرن ذو الأنبوب الدوار لتنظيف مسحوق PE CVD بمثابة حل متطور يُحدث ثورة في عملية تنظيف PECVD.ميزاته المتقدمة، وتصميمه الاحترافي، وأدائه الاستثنائي تجعل منه أداة لا غنى عنها لصناعة الإلكترونيات، مما يضمن ترسيبًا فائقًا للأغشية الرقيقة وجودة منتج مثالية.
المعايير الفنية
فرن أنبوب منطقة درجة الحرارة المزدوجة | موديل المنتج | TNO1200-60IIC-R |
قوة المعدات | 3 كيلو واط | |
مادة أنبوب الفرن | الكوارتز عالي النقاء | |
حجم أنبوب الفرن | Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm (أنبوب الكوارتز المتغاير) | |
طول غرفة الفرن | 440 ملم | |
طول منطقة التدفئة | 200 ملم + 200 ملم | |
درجة حرارة التشغيل | 0 ~ 1150 درجة مئوية | |
الحد من درجة الحرارة | 1200 درجة مئوية | |
دقة التحكم في درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية | |
نوع الحرارية | الحرارية من النوع K | |
وضع التحكم في درجة الحرارة | برنامج للتحكم في درجة الحرارة مكون من 30 مقطعًا، ضبط ذاتي لمعلمة PID | |
وضع العرض | شاشة لمس LCD ملونة كاملة الوضوح | |
طريقة الختم | 304 شفة فراغ الفولاذ المقاوم للصدأ | |
مزود الطاقة | التيار المتردد: 220 فولت، 50/60 هرتز | |
سرعة الدوران | 0 ~ 13 دورة في الدقيقة | |
زاوية الميل | 0 ~ 35 درجة | |
مقياس تدفق الكتلة ذو 3 قنوات | موديل المنتج | سي واي-3Z |
عدد مسارات الغاز | 3 قنوات | |
نوع مقياس الجريان | تدفق متر الشامل | |
نطاق القياس | قناة: 0 ~ 100cccm؛القناة ب: 0~200 sccm;قناة C: 0 ~ 500 سم مكعب | |
دقة القياس | ±1.5% | |
اختلاف ضغط العمل | 0.1 ~ 0.5 ميجا باسكال | |
واجهة خط الأنابيب | موصل حلقي 1/4 بوصة | |
مزود الطاقة | تيار متردد 220 فولت 50/60 هرتز | |
نظام الشفط | مضخة فراغ | مضخة دوارة دوارة مزدوجة المرحلة |
سرعة الضخ | 1.1 لتر/ثانية | |
ميناء الضخ | KF16 | |
ضخ الفراغ النهائي | 10E-1Pa | |
مزود الطاقة | تيار متردد 220 فولت 50/60 هرتز | |
إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية | تردد الإشارة | 13.56 ميجا هرتز ± 0.005٪ |
نطاق انتاج الطاقة | 0 ~ 500 واط | |
أقصى قدر من الطاقة المنعكسة | 100 واط | |
واجهة إخراج الترددات اللاسلكية | 50 أوم، النوع N، أنثى | |
استقرار الطاقة | ≥5 واط |
إن جهاز استقبال تغذية الفرن ذو الأنبوب الدوار لتنظيف مسحوق PE CVD هو حل متطور مصمم لتعزيز كفاءة ودقة عمليات PECVD.
يوفر هذا المنتج المبتكر آلية تغذية واستلام سلسة ودقيقة لمواد المسحوق المستخدمة في تنظيف PECVD.بفضل تصميم الفرن الأنبوبي الدوار، فإنه يضمن التسخين والتوزيع الموحد للمسحوق، مما يؤدي إلى ترسيب غشاء رقيق متسق وعالي الجودة.
تم تجهيز وحدة استقبال تغذية الفرن الأنبوبي الدوار لتنظيف مسحوق PE CVD بتقنية البلازما المتقدمة، والتي تتيح ترسيب الأغشية الرقيقة مع التصاق وتوحيد استثنائيين.وهذا يضمن أن الأفلام الناتجة تلبي المتطلبات الصارمة لصناعة الإلكترونيات، مما يضمن الأداء الأمثل والموثوقية.
تم تصميم هذا المنتج بأقصى قدر من الاحترافية، وتم تصنيعه باستخدام مواد ومكونات عالية الجودة، مما يضمن المتانة والأداء طويل الأمد.تعمل واجهته سهلة الاستخدام وعناصر التحكم البديهية على تسهيل تشغيله وصيانته، مما يقلل من وقت التوقف عن العمل ويزيد من الإنتاجية.
بفضل تصميمها المدمج والموفر للمساحة، يمكن دمج وحدة استقبال تغذية الفرن الأنبوبي الدوار لتنظيف مسحوق PE CVD بسلاسة في أنظمة PECVD الحالية، مما يقلل من وقت التثبيت والإعداد.يضمن البناء القوي والهندسة الدقيقة التشغيل المستقر والموثوق، حتى في البيئات الصناعية الصعبة.
باختصار، يعد جهاز استقبال تغذية الفرن ذو الأنبوب الدوار لتنظيف مسحوق PE CVD بمثابة حل متطور يُحدث ثورة في عملية تنظيف PECVD.ميزاته المتقدمة، وتصميمه الاحترافي، وأدائه الاستثنائي تجعل منه أداة لا غنى عنها لصناعة الإلكترونيات، مما يضمن ترسيبًا فائقًا للأغشية الرقيقة وجودة منتج مثالية.
المعايير الفنية
فرن أنبوب منطقة درجة الحرارة المزدوجة | موديل المنتج | TNO1200-60IIC-R |
قوة المعدات | 3 كيلو واط | |
مادة أنبوب الفرن | الكوارتز عالي النقاء | |
حجم أنبوب الفرن | Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm (أنبوب الكوارتز المتغاير) | |
طول غرفة الفرن | 440 ملم | |
طول منطقة التدفئة | 200 ملم + 200 ملم | |
درجة حرارة التشغيل | 0 ~ 1150 درجة مئوية | |
الحد من درجة الحرارة | 1200 درجة مئوية | |
دقة التحكم في درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية | |
نوع الحرارية | الحرارية من النوع K | |
وضع التحكم في درجة الحرارة | برنامج للتحكم في درجة الحرارة مكون من 30 مقطعًا، ضبط ذاتي لمعلمة PID | |
وضع العرض | شاشة لمس LCD ملونة كاملة الوضوح | |
طريقة الختم | 304 شفة فراغ الفولاذ المقاوم للصدأ | |
مزود الطاقة | التيار المتردد: 220 فولت، 50/60 هرتز | |
سرعة الدوران | 0 ~ 13 دورة في الدقيقة | |
زاوية الميل | 0 ~ 35 درجة | |
مقياس تدفق الكتلة ذو 3 قنوات | موديل المنتج | سي واي-3Z |
عدد مسارات الغاز | 3 قنوات | |
نوع مقياس الجريان | تدفق متر الشامل | |
نطاق القياس | قناة: 0 ~ 100cccm؛القناة ب: 0~200 sccm;قناة C: 0 ~ 500 سم مكعب | |
دقة القياس | ±1.5% | |
اختلاف ضغط العمل | 0.1 ~ 0.5 ميجا باسكال | |
واجهة خط الأنابيب | موصل حلقي 1/4 بوصة | |
مزود الطاقة | تيار متردد 220 فولت 50/60 هرتز | |
نظام الشفط | مضخة فراغ | مضخة دوارة دوارة مزدوجة المرحلة |
سرعة الضخ | 1.1 لتر/ثانية | |
ميناء الضخ | KF16 | |
ضخ الفراغ النهائي | 10E-1Pa | |
مزود الطاقة | تيار متردد 220 فولت 50/60 هرتز | |
إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية | تردد الإشارة | 13.56 ميجا هرتز ± 0.005٪ |
نطاق انتاج الطاقة | 0 ~ 500 واط | |
أقصى قدر من الطاقة المنعكسة | 100 واط | |
واجهة إخراج الترددات اللاسلكية | 50 أوم، النوع N، أنثى | |
استقرار الطاقة | ≥5 واط |