| الكمية: | |
|---|---|
TN-1200X-III-50IC
TN
تتكون هذه المعدات من مولد بلازما، وفرن أنبوبي ثلاثي مناطق التسخين، وفرن أنبوبي منطقة تسخين فردي، ومصدر طاقة RF، ونظام فراغ.
لكي يتم التفاعل الكيميائي عند درجة حرارة منخفضة، يتم استخدام نشاط البلازما لتعزيز التفاعل، وبالتالي يُطلق على الأمراض القلبية الوعائية اسم ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD).يقوم جهاز تحضير فيلم الجرافين PECVD بتأين غاز يحتوي على ذرة مكونة للفيلم عن طريق مخرج RF يبلغ 13.56 ميجا هرتز، ويشكل بلازما في غرفة مفرغة، ويستخدم النشاط الكيميائي القوي للبلازما، ويحسن ظروف التفاعل، ويستخدم نشاط البلازما لتعزيز رد الفعل، ثم إيداع الفيلم المطلوب على الركيزة.
يمكن استخدام هذا الجهاز في أماكن اختبار مختلفة مثل تحضير الجرافين، وإعداد الكبريتيد، وإعداد المواد النانومترية.يمكن ترسيب أفلام مختلفة مثل SiOx، وSiNx، والسيليكون غير المتبلور، والسيليكون الجريزوفولفين، والسيليكون النانوي، وSiC، والشبيه بالألماس، وما إلى ذلك على سطح ورقة أو عينة ذات شكل مماثل، وأفلام مخدرة من النوع p وn ويمكن أيضا أن تودع.يتمتع الفيلم المودع بتوحيد جيد وضغط والتصاق وعزل جيد.يستخدم على نطاق واسع في مجالات القواطع، والقوالب عالية الدقة، والطلاءات الصلبة، والديكور الراقي، وما إلى ذلك.
فرن أنبوبي ثلاثي منطقة التسخين | نموذج | TN-1200X-III-50IC |
أنبوب مادة | الكوارتز عالي النقاء | |
أنبوب قطر الدائرة | 50 ملم | |
طول الانبوب | 1000 ملم | |
فرن طول الغرفة | 660 ملم | |
منطقة التدفئة طول | 200 ملم + 200 ملم + 200 ملم | |
التشغيل درجة حرارة | 0 ~ 1100 درجة مئوية | |
درجة حرارة دقة التحكم | ±1 درجة مئوية | |
درجة حرارة وضع التحكم | 30 أو 50 التحكم في درجة حرارة برنامج الجزء | |
وضع العرض | قاد (تسليط الضوء على عرض الأنبوب الرقمي) | |
ختم طريقة | 304 غير القابل للصدأ شفة فراغ الصلب | |
شفة واجهه المستخدم | 1/4' قطع الأكمام المشتركة (Ø8 باغودا المشتركة) | |
مكنسة | 4.4×10E-3Pa | |
مزود الطاقة | التيار المتردد: 220 فولت 50/60 هرتز | |
فرن أنبوبي بمنطقة تسخين واحدة | نموذج | سي واي-O1200-50IC |
أنبوب مادة | الكوارتز عالي النقاء | |
أنبوب قطر الدائرة | 50 ملم | |
طول الانبوب | 1000 ملم | |
فرن طول الغرفة | 440 ملم | |
منطقة التدفئة طول | 400 ملم | |
ثابت منطقة درجة الحرارة | 200 ملم | |
التشغيل درجة حرارة | 0 ~ 1100 درجة مئوية | |
درجة حرارة دقة التحكم | ±1 درجة مئوية | |
درجة حرارة وضع التحكم | 30 أو 50 التحكم في درجة حرارة برنامج الجزء | |
وضع العرض | قاد (تسليط الضوء على عرض الأنبوب الرقمي) | |
ختم طريقة | 304 غير القابل للصدأ شفة فراغ الصلب | |
شفة واجهه المستخدم | 1/4' وصلة قطع الأكمام (مفصل باغودا Ø8) | |
مكنسة | 4.4×10E-3Pa | |
مزود الطاقة | التيار المتردد: 220 فولت 50/60 هرتز | |
نظام إخراج الترددات اللاسلكية | نطاق القوة | 0 ~ 500 واط قابل للتعديل |
تردد العمل | 3.56 ميجا هرتز + 0.005% | |
نمط العمل | الإخراج المستمر | |
وضع العرض | شاشات الكريستال السائل | |
وضع المعاوقة المتطابقة | يمكن أن يتطابق، يتم تغطية التوهج بالتساوي مع ثلاثة أنابيب فرن منطقة التسخين | |
استقرار الطاقة | ≥2 واط | |
العمل العادي يعكس القوة | ≥3 واط | |
تضخيم الطاقة المنعكسة | ≥70 واط | |
المكون التوافقي | ≥-50 ديسيبل | |
كفاءة الآلة | ≥70% | |
عامل القوى | ≥90% | |
جهد الإمداد/التردد | تردد تيار متردد أحادي الطور (187 فولت ~ 153 فولت). 50/60 هرتز | |
وضع التحكم | التحكم الداخلي / PLC التناظري / RS232 / 485 الاتصالات | |
إعدادات حماية الطاقة | حماية التيار الزائد، الطاقة مكبر للصوت على حماية درجة الحرارة، وحماية الطاقة المنعكسة | |
طريقة التبريد | تبريد الهواء القسري | |
طول التوهج | في Ar، مصدر طاقة التردد اللاسلكي و يتم دمج الملف للتوهج ويمكن أن يملأ التوهج طول الفرن ثلاث مناطق تسخين. | |
نظام إمداد الغاز | مقياس الجريان الشامل بأربع قنوات | بكين Qixing Huachuang، مقياس الجريان الشامل |
مجموعة تدفق | نطاق MFC1: 0 ~ 200ccm نطاق MFC2: 0 ~ 200 سم مكعب نطاق MFC3: 0 ~ 500ccm نطاق MFC4: 0 ~ 500 سم مكعب المقابلة للغازات H2، CH4، N2، Ar، | |
دقة القياس | ± 1.5% فس | |
التكرار | ±0.2% فس | |
الدقة الخطية | ±1% خ | |
وقت الاستجابة | ≥4 ثانية | |
ضغط العمل | -0.15 ميجا باسكال ~ 0.15 ميجا باسكال | |
التحكم في التدفق | شاشة LCD تعمل باللمس للتحكم، رقمية العرض، يحتوي كل غاز قناة على صمام إبرة للتحكم الفردي | |
واجهة المدخول | يمكن توصيله بـ 1/4NPS أو 6 مم خارجي قطر أنبوب الفولاذ المقاوم للصدأ | |
واجهة المخرج | يمكن توصيله بـ 1/4NPS أو 6 مم خارجي قطر أنبوب الفولاذ المقاوم للصدأ | |
طريقة التوصيل | وصلة كم قطع مزدوجة | |
درجة حرارة التشغيل | 5 ~ 45 درجة مئوية | |
بريمكس الغاز | مجهزة بجهاز خلط الغاز | |
نظام العادم | مضخة ميكانيكية | جي اتش دي-031ب |
معدل الضخ | 4 لتر/ثانية | |
واجهة العادم | KF16 | |
قياس الفراغ | مقياس بيراني | |
فراغ نهائي | 1 × 10E-1Pa | |
مزود الطاقة | التيار المتردد: 220 فولت 50/60 هرتز | |
واجهة الضخ | KF40 | |
مضخة ميكانيكية | جي اتش دي-031ب | |
سكة حديدية | طول السكك الحديدية | 2.5 م ~ 3 م يمكنها تحقيق انزلاق فرن واحد طول الموضع في فرن منطقة التسخين الثلاثة لتحقيق السرعة ارتفاع وانخفاض درجة الحرارة. |
تتكون هذه المعدات من مولد بلازما، وفرن أنبوبي ثلاثي مناطق التسخين، وفرن أنبوبي منطقة تسخين فردي، ومصدر طاقة RF، ونظام فراغ.
لكي يتم التفاعل الكيميائي عند درجة حرارة منخفضة، يتم استخدام نشاط البلازما لتعزيز التفاعل، وبالتالي يُطلق على الأمراض القلبية الوعائية اسم ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD).يقوم جهاز تحضير فيلم الجرافين PECVD بتأين غاز يحتوي على ذرة مكونة للفيلم عن طريق مخرج RF يبلغ 13.56 ميجا هرتز، ويشكل بلازما في غرفة مفرغة، ويستخدم النشاط الكيميائي القوي للبلازما، ويحسن ظروف التفاعل، ويستخدم نشاط البلازما لتعزيز رد الفعل، ثم إيداع الفيلم المطلوب على الركيزة.
يمكن استخدام هذا الجهاز في أماكن اختبار مختلفة مثل تحضير الجرافين، وإعداد الكبريتيد، وإعداد المواد النانومترية.يمكن ترسيب أفلام مختلفة مثل SiOx، وSiNx، والسيليكون غير المتبلور، والسيليكون الجريزوفولفين، والسيليكون النانوي، وSiC، والشبيه بالألماس، وما إلى ذلك على سطح ورقة أو عينة ذات شكل مماثل، وأفلام مخدرة من النوع p وn ويمكن أيضا أن تودع.يتمتع الفيلم المودع بتوحيد جيد وضغط والتصاق وعزل جيد.يستخدم على نطاق واسع في مجالات القواطع، والقوالب عالية الدقة، والطلاءات الصلبة، والديكور الراقي، وما إلى ذلك.
فرن أنبوبي ثلاثي منطقة التسخين | نموذج | TN-1200X-III-50IC |
أنبوب مادة | الكوارتز عالي النقاء | |
أنبوب قطر الدائرة | 50 ملم | |
طول الانبوب | 1000 ملم | |
فرن طول الغرفة | 660 ملم | |
منطقة التدفئة طول | 200 ملم + 200 ملم + 200 ملم | |
التشغيل درجة حرارة | 0 ~ 1100 درجة مئوية | |
درجة حرارة دقة التحكم | ±1 درجة مئوية | |
درجة حرارة وضع التحكم | 30 أو 50 التحكم في درجة حرارة برنامج الجزء | |
وضع العرض | قاد (تسليط الضوء على عرض الأنبوب الرقمي) | |
ختم طريقة | 304 غير القابل للصدأ شفة فراغ الصلب | |
شفة واجهه المستخدم | 1/4' قطع الأكمام المشتركة (Ø8 باغودا المشتركة) | |
مكنسة | 4.4×10E-3Pa | |
مزود الطاقة | التيار المتردد: 220 فولت 50/60 هرتز | |
فرن أنبوبي بمنطقة تسخين واحدة | نموذج | سي واي-O1200-50IC |
أنبوب مادة | الكوارتز عالي النقاء | |
أنبوب قطر الدائرة | 50 ملم | |
طول الانبوب | 1000 ملم | |
فرن طول الغرفة | 440 ملم | |
منطقة التدفئة طول | 400 ملم | |
ثابت منطقة درجة الحرارة | 200 ملم | |
التشغيل درجة حرارة | 0 ~ 1100 درجة مئوية | |
درجة حرارة دقة التحكم | ±1 درجة مئوية | |
درجة حرارة وضع التحكم | 30 أو 50 التحكم في درجة حرارة برنامج الجزء | |
وضع العرض | قاد (تسليط الضوء على عرض الأنبوب الرقمي) | |
ختم طريقة | 304 غير القابل للصدأ شفة فراغ الصلب | |
شفة واجهه المستخدم | 1/4' وصلة قطع الأكمام (مفصل باغودا Ø8) | |
مكنسة | 4.4×10E-3Pa | |
مزود الطاقة | التيار المتردد: 220 فولت 50/60 هرتز | |
نظام إخراج الترددات اللاسلكية | نطاق القوة | 0 ~ 500 واط قابل للتعديل |
تردد العمل | 3.56 ميجا هرتز + 0.005% | |
نمط العمل | الإخراج المستمر | |
وضع العرض | شاشات الكريستال السائل | |
وضع المعاوقة المتطابقة | يمكن أن يتطابق، يتم تغطية التوهج بالتساوي مع ثلاثة أنابيب فرن منطقة التسخين | |
استقرار الطاقة | ≥2 واط | |
العمل العادي يعكس القوة | ≥3 واط | |
تضخيم الطاقة المنعكسة | ≥70 واط | |
المكون التوافقي | ≥-50 ديسيبل | |
كفاءة الآلة | ≥70% | |
عامل القوى | ≥90% | |
جهد الإمداد/التردد | تردد تيار متردد أحادي الطور (187 فولت ~ 153 فولت). 50/60 هرتز | |
وضع التحكم | التحكم الداخلي / PLC التناظري / RS232 / 485 الاتصالات | |
إعدادات حماية الطاقة | حماية التيار الزائد، الطاقة مكبر للصوت على حماية درجة الحرارة، وحماية الطاقة المنعكسة | |
طريقة التبريد | تبريد الهواء القسري | |
طول التوهج | في Ar، مصدر طاقة التردد اللاسلكي و يتم دمج الملف للتوهج ويمكن أن يملأ التوهج طول الفرن ثلاث مناطق تسخين. | |
نظام إمداد الغاز | مقياس الجريان الشامل بأربع قنوات | بكين Qixing Huachuang، مقياس الجريان الشامل |
مجموعة تدفق | نطاق MFC1: 0 ~ 200ccm نطاق MFC2: 0 ~ 200 سم مكعب نطاق MFC3: 0 ~ 500ccm نطاق MFC4: 0 ~ 500 سم مكعب المقابلة للغازات H2، CH4، N2، Ar، | |
دقة القياس | ± 1.5% فس | |
التكرار | ±0.2% فس | |
الدقة الخطية | ±1% خ | |
وقت الاستجابة | ≥4 ثانية | |
ضغط العمل | -0.15 ميجا باسكال ~ 0.15 ميجا باسكال | |
التحكم في التدفق | شاشة LCD تعمل باللمس للتحكم، رقمية العرض، يحتوي كل غاز قناة على صمام إبرة للتحكم الفردي | |
واجهة المدخول | يمكن توصيله بـ 1/4NPS أو 6 مم خارجي قطر أنبوب الفولاذ المقاوم للصدأ | |
واجهة المخرج | يمكن توصيله بـ 1/4NPS أو 6 مم خارجي قطر أنبوب الفولاذ المقاوم للصدأ | |
طريقة التوصيل | وصلة كم قطع مزدوجة | |
درجة حرارة التشغيل | 5 ~ 45 درجة مئوية | |
بريمكس الغاز | مجهزة بجهاز خلط الغاز | |
نظام العادم | مضخة ميكانيكية | جي اتش دي-031ب |
معدل الضخ | 4 لتر/ثانية | |
واجهة العادم | KF16 | |
قياس الفراغ | مقياس بيراني | |
فراغ نهائي | 1 × 10E-1Pa | |
مزود الطاقة | التيار المتردد: 220 فولت 50/60 هرتز | |
واجهة الضخ | KF40 | |
مضخة ميكانيكية | جي اتش دي-031ب | |
سكة حديدية | طول السكك الحديدية | 2.5 م ~ 3 م يمكنها تحقيق انزلاق فرن واحد طول الموضع في فرن منطقة التسخين الثلاثة لتحقيق السرعة ارتفاع وانخفاض درجة الحرارة. |
