| الكمية: | |
|---|---|
تن-بيكفد-T01
TN
يتكون نظام CVD لتعزيز البلازما من مولد البلازما، وفرن أنبوبي بثلاث درجات حرارة، وإمدادات طاقة الترددات الراديوية ونظام فراغ.نظام CVD المعزز بالبلازما من أجل إجراء التفاعل الكيميائي عند درجة حرارة منخفضة، واستخدام نشاط البلازما لتعزيز التفاعل، لذلك يُطلق على CVD طريقة ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)، ومعدات تحضير فيلم الجرافين PECVD بتردد الراديو إخراج 13.56 ميجا هرتز يجعل ذرات الفيلم تتأين الغاز، وتشكيل البلازما، باستخدام النشاط الكيميائي القوي للبلازما، وتحسين ظروف التفاعل، واستخدام نشاط البلازما لتعزيز التفاعل، وإيداع الفيلم المطلوب على الركيزة.
منطقة تطبيق PECVD:
يمكن استخدام نظام الأمراض القلبية الوعائية المعزز بالبلازما في: تحضير الجرافين، وتحضير الكبريتيد، وتحضير المواد النانوية ومواقع الاختبار الأخرى.يمكن ترسيب SiOx، وSiNx، والسيليكون غير المتبلور، والسيليكون الجريزوفولفين، والسيليكون النانوي، وSiC، والأفلام الشبيهة بالألماس على سطح الصفائح أو الأشكال المماثلة، ويمكن ترسيب الأفلام المخدرة من النوع p والنوع n.تتميز الأفلام المودعة بالتجانس والضيق والالتصاق والعزل الجيد.يستخدم على نطاق واسع في أدوات القطع، القالب عالي الدقة، الطلاء الصلب، الديكور العالي الدوان وغيرها من المجالات
المعلمات التقنية لـ PECVD في منطقة درجات الحرارة الثلاثة:
منتج اسم | بيكفد |
منتج نموذج | تن-بيكفد-T01 |
ثلاثة منطقة درجة حرارة فرن الأنابيب | التشغيل درجة الحرارة: 0-1100 درجة مئوية درجة حرارة دقة التحكم: ± 1 درجة مئوية درجة حرارة وضع التحكم: منحنى عملية AI-PID 30 قسم، والذي يمكنه تخزين عدة قِطَع فرن مادة الأنبوب: كوارتز عالي النقاء فرن حجم الأنبوب: φ 50 مم معرف × 1400 مم طول التدفئة منطقة درجة الحرارة: 200 مم + 200 مم + 200 مم في منطقة درجات الحرارة الثلاثة ختم الطريقة: شفة فراغ الفولاذ المقاوم للصدأ أقصى درجة الفراغ: 4.4E-3Pa |
قوة الترددات اللاسلكية إمداد | انتاج | الطاقة: 0-300 واط أقصى قابل للتعديل ± 1% الترددات اللاسلكية التردد: 13.56 ميجا هرتز، الاستقرار ± 0.005% الضوضاء: 55 ديسيبل تبريد: تبريد الهواء |
تدفق متر الشامل | ثلاثي تدفق متر الشامل صمام النوع: صمام إبرة من الفولاذ المقاوم للصدأ رقم الطرق الجوية: ثلاث طرق ضغط النطاق: -0.15 ميجا باسكال ~ 0.15 ميجا باسكال يتراوح 1 ~ 200 SCCM 1 ~ 200 SCCM 1 ~ 500 SCCM تدفق نطاق التحكم: ± 1.5% غاز مادة المسار: 304 الفولاذ المقاوم للصدأ يضخ الواجهة: موصل كم البطاقة 6.35 مم |
نظام الفراغ والغلاف الجوي الفرعي | مجهزة بنظام مضخة جزيئية، وذلك باستخدام عملية بنقرة واحدة 600 لتر/ثانية |
تبريد الماء نظام | سي دبليو-3200 |
الجهد االكهربى | 220 فولت 50 هرتز |
يتكون نظام CVD لتعزيز البلازما من مولد البلازما، وفرن أنبوبي بثلاث درجات حرارة، وإمدادات طاقة الترددات الراديوية ونظام فراغ.نظام CVD المعزز بالبلازما من أجل إجراء التفاعل الكيميائي عند درجة حرارة منخفضة، واستخدام نشاط البلازما لتعزيز التفاعل، لذلك يُطلق على CVD طريقة ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)، ومعدات تحضير فيلم الجرافين PECVD بتردد الراديو إخراج 13.56 ميجا هرتز يجعل ذرات الفيلم تتأين الغاز، وتشكيل البلازما، باستخدام النشاط الكيميائي القوي للبلازما، وتحسين ظروف التفاعل، واستخدام نشاط البلازما لتعزيز التفاعل، وإيداع الفيلم المطلوب على الركيزة.
منطقة تطبيق PECVD:
يمكن استخدام نظام الأمراض القلبية الوعائية المعزز بالبلازما في: تحضير الجرافين، وتحضير الكبريتيد، وتحضير المواد النانوية ومواقع الاختبار الأخرى.يمكن ترسيب SiOx، وSiNx، والسيليكون غير المتبلور، والسيليكون الجريزوفولفين، والسيليكون النانوي، وSiC، والأفلام الشبيهة بالألماس على سطح الصفائح أو الأشكال المماثلة، ويمكن ترسيب الأفلام المخدرة من النوع p والنوع n.تتميز الأفلام المودعة بالتجانس والضيق والالتصاق والعزل الجيد.يستخدم على نطاق واسع في أدوات القطع، القالب عالي الدقة، الطلاء الصلب، الديكور العالي الدوان وغيرها من المجالات
المعلمات التقنية لـ PECVD في منطقة درجات الحرارة الثلاثة:
منتج اسم | بيكفد |
منتج نموذج | تن-بيكفد-T01 |
ثلاثة منطقة درجة حرارة فرن الأنابيب | التشغيل درجة الحرارة: 0-1100 درجة مئوية درجة حرارة دقة التحكم: ± 1 درجة مئوية درجة حرارة وضع التحكم: منحنى عملية AI-PID 30 قسم، والذي يمكنه تخزين عدة قِطَع فرن مادة الأنبوب: كوارتز عالي النقاء فرن حجم الأنبوب: φ 50 مم معرف × 1400 مم طول التدفئة منطقة درجة الحرارة: 200 مم + 200 مم + 200 مم في منطقة درجات الحرارة الثلاثة ختم الطريقة: شفة فراغ الفولاذ المقاوم للصدأ أقصى درجة الفراغ: 4.4E-3Pa |
قوة الترددات اللاسلكية إمداد | انتاج | الطاقة: 0-300 واط أقصى قابل للتعديل ± 1% الترددات اللاسلكية التردد: 13.56 ميجا هرتز، الاستقرار ± 0.005% الضوضاء: 55 ديسيبل تبريد: تبريد الهواء |
تدفق متر الشامل | ثلاثي تدفق متر الشامل صمام النوع: صمام إبرة من الفولاذ المقاوم للصدأ رقم الطرق الجوية: ثلاث طرق ضغط النطاق: -0.15 ميجا باسكال ~ 0.15 ميجا باسكال يتراوح 1 ~ 200 SCCM 1 ~ 200 SCCM 1 ~ 500 SCCM تدفق نطاق التحكم: ± 1.5% غاز مادة المسار: 304 الفولاذ المقاوم للصدأ يضخ الواجهة: موصل كم البطاقة 6.35 مم |
نظام الفراغ والغلاف الجوي الفرعي | مجهزة بنظام مضخة جزيئية، وذلك باستخدام عملية بنقرة واحدة 600 لتر/ثانية |
تبريد الماء نظام | سي دبليو-3200 |
الجهد االكهربى | 220 فولت 50 هرتز |
