| الكمية: | |
|---|---|
تن-فك-300
TN
يعتبر ترسيب الطور الهوائي الحقيقي من Perelin (PECVD) تقنية ترسيب للأغشية الرقيقة شائعة الاستخدام لتحضير الأغشية الرقيقة على سطح مادة.إنها عملية ترسيب طبقة رقيقة في بيئة مفرغة باستخدام تفاعل كيميائي في مرحلة البخار.في ترسيب مرحلة الهواء الحقيقي من Perelin، يجب إنشاء بيئة مفرغة أولاً لضمان عدم وجود تداخل للغاز أثناء ذلك إيداع. ثم، بواسطة مقدمة ال غاز داخل ال رد فعل غرفة، هو - هي يتفاعل مع السطح وترسب لتشكيل فيلم.
يمكن استخدام ترسيب مرحلة الهواء الحقيقي من Perelin لتحضير أنواع مختلفة من الأفلام مثل السيليكون نيتريد, السيليكون أكسيد، الألومنيوم نيتريد, إلخ. هو - هي لديه a واسع يتراوح ل التطبيقات في أشباه الموصلات، والإلكترونيات الضوئية، وأجهزة العرض وغيرها من المجالات، ويمكن استخدامها لإعداد مقاومات الأغشية الرقيقة، والطلاءات البصرية، والعزل الحراري، وما إلى ذلك.
بيريلين صحيح هواء مرحلة إيداع لديه بعض مزايا، هذه مثل سريع إيداع سرعة، ترسب جيد التوحيد وقوية إمكانية التحكم. لكن، هو - هي أيضًا لديه بعض القيود، مثل عدم القدرة على إيداع مساحة كبيرة من الأغشية الرقيقة والحاجة إلى بيئة فراغ عالية.
إجمالي، بيرلين الهواء الحقيقي ترسب المرحلة هو تقنية مهمة لإعداد الفيلم التي يمكن أن توفر مواد فيلم عالية الجودة في مجموعة متنوعة من التطبيقات.
معلمات معدات ترسيب الهواء الحقيقية من Perelin
اسم الجهاز | بيريلين ترسيب مرحلة الهواء الحقيقي معدات | |||
موديل المنتج | TN-VPC-300 | |||
عمل بيئة | مصدر الطاقة: 380 فولت، خمسة أسلاك، 4 مربع كابل، أقصى قدر من الطاقة l0KW | |||
درجة الحرارة المحيطة: 0-40 درجة مئوية | ||||
الرطوبة المحيطة: <90% | ||||
مقاس | ال مظهر مقاس يكون 1580 * 880 * 1550 مم، أغلفة ان منطقة ل عن 1.5 مربع متر، و هناك يجب يكون أكثر من 50 سم التشغيل مساحة حول التثبيت | |||
جزء التدفئة | منطقة التسامي | صندوق المواد الخام: φ69*200 ملم السعة: 300 جرام | ||
درجة حرارة التبخر: درجة حرارة الغرفة 200 درجة مئوية | ||||
انحراف درجة الحرارة: ±2 درجة مئوية | ||||
تكسير منطقة | درجة حرارة التكسير: 650-700 درجة مئوية استقرار درجة الحرارة: ± 2 درجة مئوية | |||
عازلة منطقة | درجة حرارة التدفئة <300 ج | |||
نظام التحكم | العلامة التجارية | نظام التحكم PLC | ||
برنامج | هناك نكون اثنين القطع ل تلقائي إيداع نظام ونظام الترسيب اليدوي | |||
عرض | حجم العرض: 12 بوصة شاشة ملونة تعمل باللمس | |||
ترسيبي نظام | مكنسة المادة المتفاعلة | 1، الحجم φ300xH400، 304 الفولاذ المقاوم للصدأ | ||
غرفة | 28L | |||
مقدار | ||||
ملاحظة نافذة او شباك | 1 نافذة عرض لسهولة الملاحظة التابع حالة للمنتج في غرفة الترسيب | |||
لف قسم | سرعة المحرك قابلة للتعديل 1-10 دورة في الدقيقة | |||
نظام الشفط | مضخة فراغ | |||
مقياس الفراغ | ||||
تبريد نظام | بارد TH-95-15 -G (نوع الوعاء)، تبريد درجة حرارة ≥90 ج خلال 30 دقيقة بعد ابتداء تبريد يستطيع يكون من غرفة درجة حرارة إلى -70 ج | |||
اقتران تبخر العامل جهاز | تحسين التصاق البيريلين طلاء على سطح الركيزة المراد طلاءها | |||
رئيسي القطع ل معدات | 1، نظام التبخر: غرفة التبخر، الطاقة الكهربائية ن جهاز الحرارة, جهاز استشعار درجة الحرارة 2، نظام التكسير: غرفة التكسير، جهاز حراري كهربائي، جهاز استشعار درجة الحرارة 3، نظام الترسيب: غرفة الترسيب، جهاز استشعار الفراغ، رف العينة 4، نظام الفراغ: مضخة فراغ، مقياس فراغ 5، نظام التكثيف: نوع الوعاء فخ بارد 6، مضيف المعدات: قذيفة المعدات، دائرة التحكم، أنبوب مفرغ 7، أنبوب الكوارتز: 1 | |||
قابلة للترسيب نوع المادة الخام | باريلين C، N، F، D | |||
معدات سمات | 1, ال التغويز التدفئة يستطيع يكون انتقل، مناسب ل الإنتاج المستمر، هذه مثل مفاجئ قوة failure و آخر يمكن إزالة الظروف غير المتوقعة في أي وقت لضمان المنتج أمان. 2، جزء التغويز شفاف أنبوب زجاجي، والذي يمكن يمكن الاطلاع عليها في أي الوقت، ويمكن الحفاظ على إنتاج درجة حرارة منخفضة لتلبية ارتفاع متطلبات الطلاء. 3، يمكن نقل التغويز، هو إرسال إعداد براءات الاختراع، يمكن ضمان لا يوجد تعارض في براءات الاختراع، وسلامة الإنتاج. 4. ال خاص تصميم ل ال داخلي لف إطار ل ال تجويف يمكن أن تقلل بشكل فعال من عدد السيئة نقاط. 5. واجهة مرئية وإنسانية وسهلة لفهم العملية.6، أنبوب زجاجي، يمكن أن يقلل كثيرا من التدفئة و وقت التبريد. 7. تم تحسين الجزء العازل أنه ليس من السهل إيداع البيريلين في الجدار الداخلي للأنبوب الزجاجي، والتي يمكن الحفاظ عليها ل طويل الوقت وتقليل وقت الصيانة | |||
يعتبر ترسيب الطور الهوائي الحقيقي من Perelin (PECVD) تقنية ترسيب للأغشية الرقيقة شائعة الاستخدام لتحضير الأغشية الرقيقة على سطح مادة.إنها عملية ترسيب طبقة رقيقة في بيئة مفرغة باستخدام تفاعل كيميائي في مرحلة البخار.في ترسيب مرحلة الهواء الحقيقي من Perelin، يجب إنشاء بيئة مفرغة أولاً لضمان عدم وجود تداخل للغاز أثناء ذلك إيداع. ثم، بواسطة مقدمة ال غاز داخل ال رد فعل غرفة، هو - هي يتفاعل مع السطح وترسب لتشكيل فيلم.
يمكن استخدام ترسيب مرحلة الهواء الحقيقي من Perelin لتحضير أنواع مختلفة من الأفلام مثل السيليكون نيتريد, السيليكون أكسيد، الألومنيوم نيتريد, إلخ. هو - هي لديه a واسع يتراوح ل التطبيقات في أشباه الموصلات، والإلكترونيات الضوئية، وأجهزة العرض وغيرها من المجالات، ويمكن استخدامها لإعداد مقاومات الأغشية الرقيقة، والطلاءات البصرية، والعزل الحراري، وما إلى ذلك.
بيريلين صحيح هواء مرحلة إيداع لديه بعض مزايا، هذه مثل سريع إيداع سرعة، ترسب جيد التوحيد وقوية إمكانية التحكم. لكن، هو - هي أيضًا لديه بعض القيود، مثل عدم القدرة على إيداع مساحة كبيرة من الأغشية الرقيقة والحاجة إلى بيئة فراغ عالية.
إجمالي، بيرلين الهواء الحقيقي ترسب المرحلة هو تقنية مهمة لإعداد الفيلم التي يمكن أن توفر مواد فيلم عالية الجودة في مجموعة متنوعة من التطبيقات.
معلمات معدات ترسيب الهواء الحقيقية من Perelin
اسم الجهاز | بيريلين ترسيب مرحلة الهواء الحقيقي معدات | |||
موديل المنتج | TN-VPC-300 | |||
عمل بيئة | مصدر الطاقة: 380 فولت، خمسة أسلاك، 4 مربع كابل، أقصى قدر من الطاقة l0KW | |||
درجة الحرارة المحيطة: 0-40 درجة مئوية | ||||
الرطوبة المحيطة: <90% | ||||
مقاس | ال مظهر مقاس يكون 1580 * 880 * 1550 مم، أغلفة ان منطقة ل عن 1.5 مربع متر، و هناك يجب يكون أكثر من 50 سم التشغيل مساحة حول التثبيت | |||
جزء التدفئة | منطقة التسامي | صندوق المواد الخام: φ69*200 ملم السعة: 300 جرام | ||
درجة حرارة التبخر: درجة حرارة الغرفة 200 درجة مئوية | ||||
انحراف درجة الحرارة: ±2 درجة مئوية | ||||
تكسير منطقة | درجة حرارة التكسير: 650-700 درجة مئوية استقرار درجة الحرارة: ± 2 درجة مئوية | |||
عازلة منطقة | درجة حرارة التدفئة <300 ج | |||
نظام التحكم | العلامة التجارية | نظام التحكم PLC | ||
برنامج | هناك نكون اثنين القطع ل تلقائي إيداع نظام ونظام الترسيب اليدوي | |||
عرض | حجم العرض: 12 بوصة شاشة ملونة تعمل باللمس | |||
ترسيبي نظام | مكنسة المادة المتفاعلة | 1، الحجم φ300xH400، 304 الفولاذ المقاوم للصدأ | ||
غرفة | 28L | |||
مقدار | ||||
ملاحظة نافذة او شباك | 1 نافذة عرض لسهولة الملاحظة التابع حالة للمنتج في غرفة الترسيب | |||
لف قسم | سرعة المحرك قابلة للتعديل 1-10 دورة في الدقيقة | |||
نظام الشفط | مضخة فراغ | |||
مقياس الفراغ | ||||
تبريد نظام | بارد TH-95-15 -G (نوع الوعاء)، تبريد درجة حرارة ≥90 ج خلال 30 دقيقة بعد ابتداء تبريد يستطيع يكون من غرفة درجة حرارة إلى -70 ج | |||
اقتران تبخر العامل جهاز | تحسين التصاق البيريلين طلاء على سطح الركيزة المراد طلاءها | |||
رئيسي القطع ل معدات | 1، نظام التبخر: غرفة التبخر، الطاقة الكهربائية ن جهاز الحرارة, جهاز استشعار درجة الحرارة 2، نظام التكسير: غرفة التكسير، جهاز حراري كهربائي، جهاز استشعار درجة الحرارة 3، نظام الترسيب: غرفة الترسيب، جهاز استشعار الفراغ، رف العينة 4، نظام الفراغ: مضخة فراغ، مقياس فراغ 5، نظام التكثيف: نوع الوعاء فخ بارد 6، مضيف المعدات: قذيفة المعدات، دائرة التحكم، أنبوب مفرغ 7، أنبوب الكوارتز: 1 | |||
قابلة للترسيب نوع المادة الخام | باريلين C، N، F، D | |||
معدات سمات | 1, ال التغويز التدفئة يستطيع يكون انتقل، مناسب ل الإنتاج المستمر، هذه مثل مفاجئ قوة failure و آخر يمكن إزالة الظروف غير المتوقعة في أي وقت لضمان المنتج أمان. 2، جزء التغويز شفاف أنبوب زجاجي، والذي يمكن يمكن الاطلاع عليها في أي الوقت، ويمكن الحفاظ على إنتاج درجة حرارة منخفضة لتلبية ارتفاع متطلبات الطلاء. 3، يمكن نقل التغويز، هو إرسال إعداد براءات الاختراع، يمكن ضمان لا يوجد تعارض في براءات الاختراع، وسلامة الإنتاج. 4. ال خاص تصميم ل ال داخلي لف إطار ل ال تجويف يمكن أن تقلل بشكل فعال من عدد السيئة نقاط. 5. واجهة مرئية وإنسانية وسهلة لفهم العملية.6، أنبوب زجاجي، يمكن أن يقلل كثيرا من التدفئة و وقت التبريد. 7. تم تحسين الجزء العازل أنه ليس من السهل إيداع البيريلين في الجدار الداخلي للأنبوب الزجاجي، والتي يمكن الحفاظ عليها ل طويل الوقت وتقليل وقت الصيانة | |||
