تتضمن عملية رش أفلام TiN بالمغنطرون عدة خطوات، تتطلب كل منها تحكمًا وتشغيلًا دقيقين. وفيما يلي تدفق العملية التفصيلية:1. تحضير الركيزة التنظيف: التنظيف بالموجات فوق الصوتية: تخضع الركيزة عادةً للتنظيف بالموجات فوق الصوتية لإزالة التلوث السطحي
اقرأ المزيد