معدات تحضير الجرافين PECVD Roll To Roll للإنتاج المستمر للأقطاب الكهربائية المرنة والشفافة

منتج   اسم

لفافة   للفة PEVCD

منتج   نموذج

TN-OTF-1200X-III-PE300-RR

مصدر بلازما 1000 واط

● الطاقة الناتجة: 50-1000 واط  الحد الأقصى قابل للتعديل ± 1%
  ● معدل التردد اللاسلكي: 13.56 ميجا هرتز، الاستقرار ±0.005%
  ● ديسيبل: ≥55 ديسيبل
  ● وضع التبريد: تبريد الهواء القسري
  ● مدخلات الطاقة: 1KW  تيار متردد 220 فولت

نظام التحكم في مقياس التدفق ثلاثي البروتون

● الجهد الكهربائي: تيار متردد 220 فولت/50 هرتز
  ● الطاقة: 23 واط
  ● التحكم بواسطة شاشة اللمس PLC
  ● حجم خزان الخلط: φ80*120mm
  ● درجة حرارة التشغيل: 5 ~ 45 درجة مئوية
  ● الحد الأقصى للضغط: 3x106 باسكال
  ● الدقة: ±1.5% FS
  ● الخطي: ±(0.5-1.5)%FS
  ● الدقة المتكررة: ±0.2%FS
  ● نطاق التدفق:
  ● المسار الأول : 1~50 SCCM (معايرة الميثان)
  ● المسار الثاني: 1~200 SCCM (الهيدروجين   معايرة)
  ● المسار الثالث: 1~200 SCCM (معايرة الأرجون)
  تتوفر خيارات أخرى لمعايرة نوع الغاز وفقًا للعميل   متطلبات

وحدة قياس الفراغ

●الموديل: PCG-800
  ● نطاق الإشارة: 3.8E-5 إلى 1125 تور
  دقة:
  ● 5×10-4 … 1×10-3 ملي بار (N2) % من القراءة ±50
  ● 1×10-3 … 100 ملي بار (N2) % من القراءة ±15
  ● 100 … 950 ملي بار % من القراءة ±5
  ● 950 … 1050 ملي بار % من القراءة ±2.5

وحدة فراغ منخفضة

● وهي مكونة من مضخة ميكانيكية دوارة مزدوجة،   مرشح رذاذ الزيت العمودي مزدوج الطبقة (مادة PE)، مقياس فراغ المقاومة   وربط الأنابيب المشتركة

● معدل الشفط لمضخة التفريغ ≥4.4L/s
  ● الحد من درجة الفراغ 10^-1بنسلفانيا
  ●نطاق قياس مقياس الفراغ 10^-1باسكال -10⁵ بنسلفانيا

أجهزة ختم من بكرة إلى بكرة لرقائق النحاس

·           ● آلية اللف والفك من الملف إلى الملف   يستخدم لتحريك رقائق النحاس داخل وخارج المادة، وسرعة التحرك   من رقائق النحاس قابلة للتعديل من 1-400 مم / دقيقة.
  ● قم بتكوين لفة من رقائق النحاس الاختبارية

● يتم وضع آلية اللف والفك في   غرفة فراغ على طرفي أنبوب الفرن للتأكد من أن النحاس   يمكن أن تتحرك الرقائق في ظل ظروف نمو محكمة الغلق وتحقق نطاقًا واسعًا   تحضير
  ● يتم ضبط جهاز تبريد بين آلية اللف   والفرن الأنبوبي للتبريد السريع لرقائق النحاس.

حجم المنتج

حوالي 2400*800*1250 مللي متر

وزن المنتج

حوالي 720 كجم

شهادة الجودة

شهادة CE اختيارية للمكونات الكهربائية

فترة الضمان

ملاحظة خاصة:  

1. المواد الاستهلاكية مثل عنصر التسخين، أنبوب الكوارتز، عينة بوتقة،   الخ غير متضمنة.  

2. لا يغطي الضمان الأضرار الناجمة عن الغازات المسببة للتآكل والحمض   ضمان.