أنت هنا: بيت / منتجات / آلة ترسيب البخار / منطقة تسخين واحدة، فرن تحضير الجرافين PECVD الدوار

منطقة تسخين واحدة، فرن تحضير الجرافين PECVD الدوار

آلة فرن أنبوب PECVD المنزلق العمودي ذو درجة الحرارة العالية، نظام PECVD (ICP PECVD) لترسيب أفلام SiOx وGe-SiOx السميكة

 
توافر الحالة:
الكمية:
facebook sharing button
twitter sharing button
line sharing button
wechat sharing button
linkedin sharing button
pinterest sharing button
whatsapp sharing button
sharethis sharing button
  • TN

منطقة تسخين دوارة واحدة PECVD، مجهزة بوحدة تغذية أوتوماتيكية مفرغة، وواجهة KF40 محجوزة في نهاية أنبوب الفرن يمكن توصيلها بخزان الاستقبال.تعتمد وحدة التغذية التغذية اللولبية، ويمكن تغذية المسحوق في أنبوب الفرن بمعدل مقدر، ويمكن تغيير معدل التغذية عن طريق ضبط سرعة الدوران.يمكنها تحقيق الطلاء المستمر وتعديل مواد المسحوق بواسطة طريقة PECVD في بيئة حماية الغلاف الجوي.يمكن لخزان الاستقبال جمع المسحوق المعالج تحت بيئة حماية الغلاف الجوي.

تم تجهيز الجهاز بقوة RF 100 واط عند 13.56 ميجا هرتز.يمكنه توليد البلازما في الفراغ.يمكن للبلازما عالية الطاقة تنشيط سطح العينة، وتعزيز تأثير التفاعل بشكل فعال وزيادة معدل التفاعل.تُستخدم هذه الطريقة المساعدة على نطاق واسع في التجارب العلمية مثل تحضير الجرافين وطلاء الجسيمات.

هذا الجهاز مناسب بشكل خاص لتجارب العينات الحبيبية.من خلال النقل الميكانيكي، يمكن التحكم في الدوران المستمر لأنبوب العمل 360 درجة مع سرعة دوران قابلة للتعديل، بحيث يتم تحريك المواد الموجودة في الأنبوب وخلطها بشكل مستمر، وتتصل بشكل كامل بالغاز والبلازما، بحيث يتم تفاعل العينة أكثر اتساقًا واستقرارًا.

المعايير الفنية

إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية

انتاج |   قوة

150 واط

انتاج |   دقة

±1%

الترددات اللاسلكية   تكرار

13.56 ميجا هرتز

الترددات اللاسلكية   استقرار

±0.005%

تبريد   طريقة

تبريد الهواء

1200 درجة مئوية مفردة   منطقة التدفئة أنبوب الفرن

إمداد   الجهد االكهربى

تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز

أقصى   قوة

2 كيلو واط

التدفئة   منطقة

أعزب   منطقة التدفئة 200 ملم

عمل   درجة حرارة

أقصى   1200 درجة مئوية،   يجب أن تكون درجة حرارة التشغيل المستمرة ≥1100 درجة مئوية

درجة حرارة   دقة

±   1 درجة مئوية

درجة حرارة   طريقة التحكم

AI-PID   منحنى عملية 30 مرحلة، يمكن تخزين متعددة

ثلاثة   التحكم المستقل في منطقة درجة الحرارة، مع ارتفاع درجة الحرارة وفشل المزدوجات الحرارية   حماية

فرن   مادة الأنبوب

عالي   الكوارتز النقاء

فرن   حجم الأنبوب

ضياء.   50x800 ملم

ختم   طريقة

مكنسة   شفة الفولاذ المقاوم للصدأ، شفة KF16

Adjustable   سرعة

0-20 دورة في الدقيقة

ميل

0-15 درجة

مكنسة   مضخة

الروتاري   مضخة ميكانيكية ريشة

ذروة   مكنسة

1.0E-1Pa

تغذية   طريقة

مكنسة   تغذية القمع والمسمار


على: 
تحت: 
استعلام عن المنتج

منتجات ذات صله

 .Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd
وهي شركة تصنيع متخصصة في إنتاج الأدوات العلمية المخبرية.منتجاتنا تستخدم على نطاق واسع في الكليات والمؤسسات البحثية والمختبرات.

روابط سريعة

اتصل بنا

+86-371-5536-5392
+86-185-3800-8121
غرفة 401، الطابق الرابع، المبنى 5، مدينة تشنغتشو ييدا للتكنولوجيا الجديدة، شارع جينجان، منطقة التكنولوجيا الفائقة، مدينة تشنغتشو
حقوق الطبع والنشر © 2023 Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd|الدعم من قبل leadong.com