| الكمية: | |
|---|---|
تن-O1200-50IIT
TN
هذا المنتج عبارة عن نظام ترسيب بخار كيميائي فيزيائي هجين معزز بالبلازما بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية (HPCVD) نظام فرن أنبوبي دوار لمنطقة التسخين المزدوج.تشتمل المعدات على فرن أنبوبي لمنطقة التسخين المزدوج، ومجموعة من مصدر التبخر بفتيل التنغستن، ومجموعة من مولدات البلازما، ومجموعة من نظام مقياس الجريان الشامل.مبدأ عملها هو تبخير المادة المتفاعلة عند طرف مدخل الغاز من خلال مصدر التبخر وتحميلها إلى منطقة التسخين لفرن الأنبوب من خلال تدفق الهواء لتنفيذ تفاعل CVD.وفي الوقت نفسه، يتم تعزيز التفاعل عن طريق تعزيز البلازما.إنها مناسبة للمعالجة الحرارية للمسحوق المركب غير العضوي وتوحيد طلاء السطح (على سبيل المثال، تحضير مساحيق كاثود بطارية Li-Ion مع طبقات موصلة على سطح العينة).
المعايير الفنية:
اثنين منطقة التدفئة أنبوب الفرن | منتج نموذج | تن-O1200-50IIT | |
فرن مادة الأنبوب | عالي الكوارتز النقاء | ||
أنبوب قطر الدائرة | 50 ملم | ||
فرن طول الانبوب | 1200 ملم | ||
فرن طول الغرفة | 440 ملم | ||
التدفئة طول المنطقة | 200 ملم + 200 ملم | ||
التشغيل درجة حرارة | 0 ~ 1100 درجة مئوية | ||
درجة حرارة دقة التحكم | ±1 درجة مئوية | ||
درجة حرارة وضع التحكم | 30 أو 50 قطعة برنامج التحكم في درجة الحرارة | ||
عرض وضع | عالية الدقة شاشة لمس LCD ملونة كاملة | ||
ختم طريقة | 304 شفة فراغ الفولاذ المقاوم للصدأ | ||
قوة إمداد | مكيف الهواء: 220 فولت 50/60 هرتز 2.5 كيلو واط | ||
الترددات اللاسلكية نظام الإخراج | قوة يتراوح | 0 ~ 500 واط قابل للتعديل | |
عمل تكرار | 13.56 ميجا هرتز+0.005% | ||
عمل وضع | مستمر انتاج | ||
متطابق وضع المعاوقة | هو - هي يمكن مطابقتها، ويتم توزيع التوهج بالتساوي في جميع أنحاء الفرن أنبوب | ||
قوة استقرار | ≥2 واط | ||
طبيعي العمل القوة المنعكسة | ≥3 واط | ||
تضخيم القوة المنعكسة | ≥70 واط | ||
متناسق عنصر | ≥-50 ديسيبل | ||
إجمالي كفاءة | ≥70% | ||
قوة عامل | ≥90% | ||
إمداد الجهد / التردد | على مرحلة واحدة تردد التيار المتردد (187 فولت ~ 153 فولت) 50/60 هرتز | ||
يتحكم وضع | داخلي التحكم/PLC الكمية التناظرية/RS232/485 تواصل | ||
قوة إعدادات الحماية | العاصمة أكثر من الحماية الحالية، ومضخم الطاقة على حماية درجة الحرارة، حماية الطاقة المنعكسة | ||
تبريد طريقة | قسري تبريد الهواء | ||
يشع منطقة | تحت ع, يتعاون مصدر طاقة التردد اللاسلكي والملف مع التوهج ملء أنبوب الفرن | ||
تبخر قارب | عمل درجة حرارة | 1300 درجة مئوية | |
تبخر مصدر | التنغستن سلة سلكية، بوتقة ألومينا مدببة اختيارية | ||
الحرارية | S اكتب الحرارية | ||
عمل حاضِر | ≥30 أ | ||
الأعلى. قوة | 500 واط | ||
غاز نظام التوصيل | عداد التدفق | أربع قنوات تدفق متر الشامل | |
تدفق يتراوح | MFC1 النطاق: 0 ~ 200ccm نطاق MFC2: 0 ~ 200cccm MFC3 النطاق: 0 ~ 500ccm نطاق MFC4: 0 ~ 500ccm مُتَجَانِس للغازات H2، CH4، N2، Ar. | ||
قياس دقة | ± 1.5% فس | ||
التكرار | ±0.2% فس | ||
الدقة الخطية | ±1% خ | ||
وقت الاستجابة | ≥4 ثانية | ||
ضغط العمل | -0.15 ميجا باسكال ~ 0.15 ميجا باسكال | ||
تدفق يتحكم | شاشات الكريستال السائل شاشة تحكم تعمل باللمس، شاشة ديجيتال، كل قناة غاز تحتوي على صمام إبرة للتحكم بشكل فردي. | ||
تناول واجهه المستخدم | هو - هي يمكن توصيله بأنبوب من الفولاذ المقاوم للصدأ بقطر خارجي 1/4NPS أو 6 مم | ||
مَنفَذ واجهه المستخدم | هو - هي يمكن توصيله بأنبوب من الفولاذ المقاوم للصدأ بقطر خارجي 1/4NPS أو 6 مم | ||
اتصال طريقة | مزدوج موصل الطويق | ||
التشغيل درجة حرارة | 5 ~ 45 درجة مئوية | ||
غاز بريمكس | مسلح مع جهاز خلط الغاز | ||
العادم نظام | منتج نموذج | سي واي-GZK103-أ | |
جزيئي مضخة | توربوجزيئي مضخة | ||
دعم مضخة | على مرحلتين مضخة دوارة دوارة | ||
ضخ معدل | جزيئي المضخة: 600 لتر/ثانية | شامل أداء الضخ: يمكن أن يصل الفراغ لمدة 30 دقيقة إلى: 5×10E-3Pa | |
الروتاري مضخة ريشة: 1.1 لتر/ثانية | |||
ذروة مكنسة | 5×10E-4Pa | ||
ضخ ميناء | KF40 | ||
العادم واجهه المستخدم | KF16 | ||
مكنسة قياس | مُجَمَّع مقياس الفراغ | ||
هذا المنتج عبارة عن نظام ترسيب بخار كيميائي فيزيائي هجين معزز بالبلازما بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية (HPCVD) نظام فرن أنبوبي دوار لمنطقة التسخين المزدوج.تشتمل المعدات على فرن أنبوبي لمنطقة التسخين المزدوج، ومجموعة من مصدر التبخر بفتيل التنغستن، ومجموعة من مولدات البلازما، ومجموعة من نظام مقياس الجريان الشامل.مبدأ عملها هو تبخير المادة المتفاعلة عند طرف مدخل الغاز من خلال مصدر التبخر وتحميلها إلى منطقة التسخين لفرن الأنبوب من خلال تدفق الهواء لتنفيذ تفاعل CVD.وفي الوقت نفسه، يتم تعزيز التفاعل عن طريق تعزيز البلازما.إنها مناسبة للمعالجة الحرارية للمسحوق المركب غير العضوي وتوحيد طلاء السطح (على سبيل المثال، تحضير مساحيق كاثود بطارية Li-Ion مع طبقات موصلة على سطح العينة).
المعايير الفنية:
اثنين منطقة التدفئة أنبوب الفرن | منتج نموذج | تن-O1200-50IIT | |
فرن مادة الأنبوب | عالي الكوارتز النقاء | ||
أنبوب قطر الدائرة | 50 ملم | ||
فرن طول الانبوب | 1200 ملم | ||
فرن طول الغرفة | 440 ملم | ||
التدفئة طول المنطقة | 200 ملم + 200 ملم | ||
التشغيل درجة حرارة | 0 ~ 1100 درجة مئوية | ||
درجة حرارة دقة التحكم | ±1 درجة مئوية | ||
درجة حرارة وضع التحكم | 30 أو 50 قطعة برنامج التحكم في درجة الحرارة | ||
عرض وضع | عالية الدقة شاشة لمس LCD ملونة كاملة | ||
ختم طريقة | 304 شفة فراغ الفولاذ المقاوم للصدأ | ||
قوة إمداد | مكيف الهواء: 220 فولت 50/60 هرتز 2.5 كيلو واط | ||
الترددات اللاسلكية نظام الإخراج | قوة يتراوح | 0 ~ 500 واط قابل للتعديل | |
عمل تكرار | 13.56 ميجا هرتز+0.005% | ||
عمل وضع | مستمر انتاج | ||
متطابق وضع المعاوقة | هو - هي يمكن مطابقتها، ويتم توزيع التوهج بالتساوي في جميع أنحاء الفرن أنبوب | ||
قوة استقرار | ≥2 واط | ||
طبيعي العمل القوة المنعكسة | ≥3 واط | ||
تضخيم القوة المنعكسة | ≥70 واط | ||
متناسق عنصر | ≥-50 ديسيبل | ||
إجمالي كفاءة | ≥70% | ||
قوة عامل | ≥90% | ||
إمداد الجهد / التردد | على مرحلة واحدة تردد التيار المتردد (187 فولت ~ 153 فولت) 50/60 هرتز | ||
يتحكم وضع | داخلي التحكم/PLC الكمية التناظرية/RS232/485 تواصل | ||
قوة إعدادات الحماية | العاصمة أكثر من الحماية الحالية، ومضخم الطاقة على حماية درجة الحرارة، حماية الطاقة المنعكسة | ||
تبريد طريقة | قسري تبريد الهواء | ||
يشع منطقة | تحت ع, يتعاون مصدر طاقة التردد اللاسلكي والملف مع التوهج ملء أنبوب الفرن | ||
تبخر قارب | عمل درجة حرارة | 1300 درجة مئوية | |
تبخر مصدر | التنغستن سلة سلكية، بوتقة ألومينا مدببة اختيارية | ||
الحرارية | S اكتب الحرارية | ||
عمل حاضِر | ≥30 أ | ||
الأعلى. قوة | 500 واط | ||
غاز نظام التوصيل | عداد التدفق | أربع قنوات تدفق متر الشامل | |
تدفق يتراوح | MFC1 النطاق: 0 ~ 200ccm نطاق MFC2: 0 ~ 200cccm MFC3 النطاق: 0 ~ 500ccm نطاق MFC4: 0 ~ 500ccm مُتَجَانِس للغازات H2، CH4، N2، Ar. | ||
قياس دقة | ± 1.5% فس | ||
التكرار | ±0.2% فس | ||
الدقة الخطية | ±1% خ | ||
وقت الاستجابة | ≥4 ثانية | ||
ضغط العمل | -0.15 ميجا باسكال ~ 0.15 ميجا باسكال | ||
تدفق يتحكم | شاشات الكريستال السائل شاشة تحكم تعمل باللمس، شاشة ديجيتال، كل قناة غاز تحتوي على صمام إبرة للتحكم بشكل فردي. | ||
تناول واجهه المستخدم | هو - هي يمكن توصيله بأنبوب من الفولاذ المقاوم للصدأ بقطر خارجي 1/4NPS أو 6 مم | ||
مَنفَذ واجهه المستخدم | هو - هي يمكن توصيله بأنبوب من الفولاذ المقاوم للصدأ بقطر خارجي 1/4NPS أو 6 مم | ||
اتصال طريقة | مزدوج موصل الطويق | ||
التشغيل درجة حرارة | 5 ~ 45 درجة مئوية | ||
غاز بريمكس | مسلح مع جهاز خلط الغاز | ||
العادم نظام | منتج نموذج | سي واي-GZK103-أ | |
جزيئي مضخة | توربوجزيئي مضخة | ||
دعم مضخة | على مرحلتين مضخة دوارة دوارة | ||
ضخ معدل | جزيئي المضخة: 600 لتر/ثانية | شامل أداء الضخ: يمكن أن يصل الفراغ لمدة 30 دقيقة إلى: 5×10E-3Pa | |
الروتاري مضخة ريشة: 1.1 لتر/ثانية | |||
ذروة مكنسة | 5×10E-4Pa | ||
ضخ ميناء | KF40 | ||
العادم واجهه المستخدم | KF16 | ||
مكنسة قياس | مُجَمَّع مقياس الفراغ | ||
