أنت هنا: بيت / منتجات / آلة ترسيب البخار / نظام PECVD (ICP PECVD) لترسيب أفلام SiOx Ge-SiOx السميكة

نظام PECVD (ICP PECVD) لترسيب أفلام SiOx Ge-SiOx السميكة

PECVD (ترسيب البخار الكيميائي) هي تقنية ترسيب الأغشية الرقيقة شائعة الاستخدام، والتي تتضمن تفاعل المواد المتفاعلة في الطور الغازي مع سطح الركيزة عند درجات حرارة عالية لتشكيل طبقة رقيقة
توافر الحالة:
الكمية:
facebook sharing button
twitter sharing button
line sharing button
wechat sharing button
linkedin sharing button
pinterest sharing button
whatsapp sharing button
sharethis sharing button
  • TN

نقدم لكم أنظمة CVD (ترسيب البخار الكيميائي) المتطورة لدينا، والمصممة لإحداث ثورة في معالجة المواد الأساسية لديك.بأقصى قدر من الدقة والموثوقية، تم تصميم أنظمة CVD لدينا لتلبية مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك السيليكون والزجاج والمعادن وغيرها.


تم تصميم أنظمة CVD لدينا بخبرة رائدة في الصناعة، وتضمن أداءً استثنائيًا ونتائج متسقة، مما يجعلها خيارًا مثاليًا لتطبيقات متنوعة.سواء كنت تعمل مع ركائز زجاجية رقيقة أو أسطح معدنية قوية، فإن أنظمة CVD لدينا توفر جودة وكفاءة لا مثيل لهما.


توفر أنظمة CVD لدينا، المجهزة بالتكنولوجيا المتقدمة، عملية ترسيب سلسة ومضبوطة.ومن خلال التحكم الدقيق في درجة الحرارة والضغط وتدفق الغاز، يمكنك تحقيق خصائص الفيلم المطلوبة بأقصى قدر من الدقة.يضمن هذا المستوى من التحكم طلاءات موحدة وخالية من العيوب، مما يعزز الأداء العام ومتانة منتجاتك.


تم تصميم أنظمة أمراض القلب والأوعية الدموية لدينا مع مراعاة سهولة الاستخدام، وتتميز بواجهات بديهية وعمليات مبسطة.مع الحد الأدنى من التدريب المطلوب، يمكنك تشغيل النظام دون عناء، مما يوفر الوقت والموارد الثمينة.


بالإضافة إلى ذلك، تم تصميم أنظمة CVD لدينا لتلبية أعلى معايير السلامة، مما يضمن بيئة عمل آمنة.بفضل ميزات السلامة القوية وأنظمة المراقبة الشاملة، يمكنك أن تشعر براحة البال أثناء استخدام معداتنا.


استثمر في أنظمة CVD الحديثة لدينا واطلق العنان لإمكانيات لا حدود لها لتلبية احتياجات معالجة المواد الأساسية لديك.استمتع بأداء لا مثيل له، وموثوقية لا مثيل لها، وجودة استثنائية مع أنظمة CVD الاحترافية لدينا.ارفع قدراتك الإنتاجية وحافظ على صدارتك في السوق التنافسية اليوم.

الترددات اللاسلكية   مزود الطاقة

الإشارة   تكرار

13.56 ميجا هرتز ± 0.005٪

قوة   مجموعة الانتاج

0 ~ 300 واط

أقصى   القوة المنعكسة

100 واط

ينعكس   الطاقة (بأقصى طاقة)

<3 واط

قوة   استقرار

±0.1%

فرن الأنبوب

أنبوب   مادة

عالي   الكوارتز النقاء

الخارجي   قطر الأنبوب

100 ملم

أنبوب   طول

1200 ملم

فرن   طول الغرفة

440 ملم

التدفئة   طول المنطقة

200 ملم + 200 ملم   (منطقة درجة الحرارة)

ثابت   طول منطقة درجة الحرارة

200 ملم

مستمر   درجة حرارة العمل

الأعلى.1100 درجة مئوية

درجة حرارة   دقة التحكم

±1 درجة مئوية

درجة حرارة   وضع التحكم

30   التحكم في درجة حرارة برنامج الجزء

عرض   وضع

شاشات الكريستال السائل

ختم   طريقة

304   شفة فراغ الفولاذ المقاوم للصدأ

غاز   إمداد

نظام

نموذج

سي واي-6Z

قناة   أعداد

6

قياس   وحدة

كتلة   تحكم التدفق

قياس   يتراوح

A   القناة: 0 ~ 200SCCM   له2  

ملاحظات:   إذا كانت هناك حاجة إلى نطاقات أخرى، يرجى التحديد عند الطلب.بحسب ال   متطلبات العميل المحددة، ومقياس التدفق لنوع الغاز المقابل   والنطاق اختياري.

B   القناة: 0 ~ 200SCCM   لCH4

C   القناة: 0 ~ 200SCCM   ل ج2H4

C   القناة: 0 ~ 500SCCM   ل ن2

D   القناة: 0 ~ 500SCCM   ل NH3

E   القناة: 0 ~ 500SCCM   ل آر

دقة القياس

± 1.5% فس

عمل   فرق الضغط

-0.15 ميجا باسكال ~ 0.15 ميجا باسكال

توصيل   يضخ

304   الفولاذ المقاوم للصدأ

غاز   قناة

304   صمام إبرة من الفولاذ المقاوم للصدأ

واجهه المستخدم   تخصيص

1/4'   موصل الطويق لمدخل ومخرج الغاز

مكنسة   نظام

ميكانيكي   مضخة

مرحلة مزدوجة   مضخة دوارة دوارة

ضخ   معدل

1.1 لتر/ثانية  

مكنسة   قياس

مقاومة   كَيّل

ذروة   مكنسة

1.0E-1Pa

ضخ   واجهه المستخدم

KF16

انزلاق   سكة حديدية

يستطيع   تحقيق انزلاق فرن منطقة درجة الحرارة لتحقيق درجة حرارة سريعة   صعود و هبوط.

قوة   إمداد

تيار متردد 220 فولت   50 هرتز


على: 
تحت: 
استعلام عن المنتج

منتجات ذات صله

 .Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd
وهي شركة تصنيع متخصصة في إنتاج الأدوات العلمية المخبرية.منتجاتنا تستخدم على نطاق واسع في الكليات والمؤسسات البحثية والمختبرات.

روابط سريعة

اتصل بنا

+86-371-5536-5392
+86-185-3800-8121
غرفة 401، الطابق الرابع، المبنى 5، مدينة تشنغتشو ييدا للتكنولوجيا الجديدة، شارع جينجان، منطقة التكنولوجيا الفائقة، مدينة تشنغتشو
حقوق الطبع والنشر © 2023 Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd|الدعم من قبل leadong.com