| الكمية: | |
|---|---|
TN-O1200-120III-IC-3Z-MoS2
TN
هذا الجهاز عبارة عن جهاز تحضير ثاني كبريتيد الموليبدينوم كبير الحجم على مستوى الرقاقة، تم تصميمه بناءً على مبادئ CVD.يشتمل على فرن أنبوبي ثلاثي المناطق وأنبوب فرن مصمم خصيصًا ومجموعة من دوائر الغاز الداعمة.يمكن للمعدات إطلاق غاز التفاعل بشكل موحد في أنبوب الفرن من خلال خط أنابيب مصمم خصيصًا لضمان اتساق وتوحيد المنتج على الرقاقة الخلفية.هذا هو الخيار الأفضل لتجارب تحضير ثاني كبريتيد الموليبدينوم.
المعايير الفنية:
منتج نموذج | TN-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 |
فرن مادة الأنبوب | عالي الكوارتز النقاء |
فرن حجم الأنبوب | خارجي أنبوب كوارتز كبير φ120mm x1000mm داخلي أنبوب كوارتز صغير φ25mm x820mm x7 |
درجة حرارة طول المنطقة | ثلاثة منطقة التسخين 200 مم + 200 مم + 200 مم |
درجة حرارة دقة التحكم | ±1 درجة مئوية |
درجة حرارة منحنى | مستقل التحكم في درجة الحرارة في ثلاث مناطق درجة الحرارة، يمكن أن تكون كل منطقة درجة الحرارة تم ضبطه مع منحنى درجة الحرارة الزمني المكون من 30 مقطعًا |
التشغيل درجة حرارة | 0 ~ 1150 درجة مئوية |
التدفئة معدل | ≥10 درجة مئوية/دقيقة |
تناول نظام | ثلاث قنوات تدفق متر الشامل آر الغاز 0 ~ 500cccm ن2 الغاز 0 ~ 200cccm H2 الغاز 0 ~ 200cccm مسلح مع سبع قنوات لفصل الغاز ومسار خلط الغاز. |
فرن شفة الأنابيب | غير القابل للصدأ شفة فولاذية مبردة بالماء، مجهزة بواجهة فراغ KF16، ميكانيكية مقياس الفراغ وصمام إبرة الفولاذ المقاوم للصدأ |
قوة متطلبات | تكييف 220 فولت، 50 هرتز، 4 كيلو وات |
يتحكم وضع | 7 إنش شاشة اللمس |
مكنسة مضخة | مزدوج المرحلة مضخة فراغ دوارة دوارة |
مكنسة | نظري درجة الفراغ القصوى 10^-1Pa |
هذا الجهاز عبارة عن جهاز تحضير ثاني كبريتيد الموليبدينوم كبير الحجم على مستوى الرقاقة، تم تصميمه بناءً على مبادئ CVD.يشتمل على فرن أنبوبي ثلاثي المناطق وأنبوب فرن مصمم خصيصًا ومجموعة من دوائر الغاز الداعمة.يمكن للمعدات إطلاق غاز التفاعل بشكل موحد في أنبوب الفرن من خلال خط أنابيب مصمم خصيصًا لضمان اتساق وتوحيد المنتج على الرقاقة الخلفية.هذا هو الخيار الأفضل لتجارب تحضير ثاني كبريتيد الموليبدينوم.
المعايير الفنية:
منتج نموذج | TN-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 |
فرن مادة الأنبوب | عالي الكوارتز النقاء |
فرن حجم الأنبوب | خارجي أنبوب كوارتز كبير φ120mm x1000mm داخلي أنبوب كوارتز صغير φ25mm x820mm x7 |
درجة حرارة طول المنطقة | ثلاثة منطقة التسخين 200 مم + 200 مم + 200 مم |
درجة حرارة دقة التحكم | ±1 درجة مئوية |
درجة حرارة منحنى | مستقل التحكم في درجة الحرارة في ثلاث مناطق درجة الحرارة، يمكن أن تكون كل منطقة درجة الحرارة تم ضبطه مع منحنى درجة الحرارة الزمني المكون من 30 مقطعًا |
التشغيل درجة حرارة | 0 ~ 1150 درجة مئوية |
التدفئة معدل | ≥10 درجة مئوية/دقيقة |
تناول نظام | ثلاث قنوات تدفق متر الشامل آر الغاز 0 ~ 500cccm ن2 الغاز 0 ~ 200cccm H2 الغاز 0 ~ 200cccm مسلح مع سبع قنوات لفصل الغاز ومسار خلط الغاز. |
فرن شفة الأنابيب | غير القابل للصدأ شفة فولاذية مبردة بالماء، مجهزة بواجهة فراغ KF16، ميكانيكية مقياس الفراغ وصمام إبرة الفولاذ المقاوم للصدأ |
قوة متطلبات | تكييف 220 فولت، 50 هرتز، 4 كيلو وات |
يتحكم وضع | 7 إنش شاشة اللمس |
مكنسة مضخة | مزدوج المرحلة مضخة فراغ دوارة دوارة |
مكنسة | نظري درجة الفراغ القصوى 10^-1Pa |
