| الكمية: | |
|---|---|
تن-EVP325S-4S-T
TN
هذه المعدات عبارة عن طبقة تبخر عالية الفراغ بأربعة مصادر.تعتمد المعدات تصميم غرفة فراغ الباب الأمامي.بالإضافة إلى ذلك، تم زيادة حجم الغرفة إلى 500 مم.المسافة بين مرحلة العينة ومصدر التبخر لديها نطاق تعديل أكبر، والذي يمكن أن يتكيف مع احتياجات التبخر المختلفة.إنه يتجنب تلف العينة بسبب ارتفاع درجة حرارة مصدر التبخر.
تعتمد الغرفة مرحلة العينة العلوية، ويمكن تدوير مرحلة العينة وتسخينها ورفعها، ويمكن دمج جميع العمليات والتحكم فيها من خلال شاشة اللمس.نظام تفريغ المعدات عبارة عن نظام تفريغ من مرحلتين يتكون من مضخة دوارة ذات مرحلتين ومضخة جزيئية توربينية، والتي يمكن أن توفر بيئة فراغ عالية نظيفة وخالية من الزيت.المعدات مجهزة بنظام صمام هوائي.من خلال التحكم الآلي لنظام التشغيل، يمكن للمستخدم إجراء عمليات مثل ضخ التفريغ بزر واحد، وإخراج العينة ووضعها بدون توقف، والإغلاق الكامل من شاشة اللمس.
تم تجهيز المعدات بأربع مجموعات من مصادر تبخر قارب التنغستن وقطب النحاس المبرد بالماء.يدعم كل مصدر تبخر تيارًا كبيرًا يبلغ 100 أمبير ودرجة حرارة تسخين تبلغ 1800 درجة مئوية.يمكنها تحقيق طلاء متعدد الطبقات أو طلاء مختلط لمواد متعددة.
المعايير الفنية:
أربعة مصدر معدات طلاء التبخر عالية الفراغ | ||||
عينة منصة | مقاس | أقصى دعم عينات φ150mm | ارتفاع | Adjustable صعودا وهبوطا 140 ملم |
تبخر مصدر | كمية | التنغستن القارب ×4 | ||
مكنسة غرفة | غرفة مقاس | φ325 ملم × 510 ملم | ملاحظة نافذة او شباك | أمام φ100mm مع لوحة التظليل |
غرفة مادة | 304 الفولاذ المقاوم للصدأ | يفتح طريقة | أمام فتح الباب | |
فيلم التحكم في السماكة | كريستال أداة قياس سماكة الفيلم من النوع المذبذب، اختيارية متعددة القنوات تحكم سمك الفيلم | |||
مكنسة نظام | دعم مضخة | اثنين المرحلة مضخة دوارة دوارة | ضخ ميناء | KF16 |
ثانوي مضخة | توربوجزيئي مضخة | ضخ ميناء | سي إف 160 | |
مكنسة قياس | مقاومة + التأين مُجَمَّع مقياس الفراغ | العادم معدل | ميكانيكي مضخة 1.1 لتر/ثانية | |
ذروة مكنسة | 1.0E-5Pa | قوة إمداد | جزيئي مضخة 600 لتر / ثانية | |
يتحكم نظام | بلك تحكم تلقائى عملية الواجهة: شاشة تعمل باللمس + لوحة التشغيل | |||
آحرون | إمداد الجهد االكهربى | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز | إجمالي مقاس | 1000 ملم × 800 مم × 1500 مم |
المجموع قوة | 10 كيلوواط | المجموع وزن | 350 كجم | |
هذه المعدات عبارة عن طبقة تبخر عالية الفراغ بأربعة مصادر.تعتمد المعدات تصميم غرفة فراغ الباب الأمامي.بالإضافة إلى ذلك، تم زيادة حجم الغرفة إلى 500 مم.المسافة بين مرحلة العينة ومصدر التبخر لديها نطاق تعديل أكبر، والذي يمكن أن يتكيف مع احتياجات التبخر المختلفة.إنه يتجنب تلف العينة بسبب ارتفاع درجة حرارة مصدر التبخر.
تعتمد الغرفة مرحلة العينة العلوية، ويمكن تدوير مرحلة العينة وتسخينها ورفعها، ويمكن دمج جميع العمليات والتحكم فيها من خلال شاشة اللمس.نظام تفريغ المعدات عبارة عن نظام تفريغ من مرحلتين يتكون من مضخة دوارة ذات مرحلتين ومضخة جزيئية توربينية، والتي يمكن أن توفر بيئة فراغ عالية نظيفة وخالية من الزيت.المعدات مجهزة بنظام صمام هوائي.من خلال التحكم الآلي لنظام التشغيل، يمكن للمستخدم إجراء عمليات مثل ضخ التفريغ بزر واحد، وإخراج العينة ووضعها بدون توقف، والإغلاق الكامل من شاشة اللمس.
تم تجهيز المعدات بأربع مجموعات من مصادر تبخر قارب التنغستن وقطب النحاس المبرد بالماء.يدعم كل مصدر تبخر تيارًا كبيرًا يبلغ 100 أمبير ودرجة حرارة تسخين تبلغ 1800 درجة مئوية.يمكنها تحقيق طلاء متعدد الطبقات أو طلاء مختلط لمواد متعددة.
المعايير الفنية:
أربعة مصدر معدات طلاء التبخر عالية الفراغ | ||||
عينة منصة | مقاس | أقصى دعم عينات φ150mm | ارتفاع | Adjustable صعودا وهبوطا 140 ملم |
تبخر مصدر | كمية | التنغستن القارب ×4 | ||
مكنسة غرفة | غرفة مقاس | φ325 ملم × 510 ملم | ملاحظة نافذة او شباك | أمام φ100mm مع لوحة التظليل |
غرفة مادة | 304 الفولاذ المقاوم للصدأ | يفتح طريقة | أمام فتح الباب | |
فيلم التحكم في السماكة | كريستال أداة قياس سماكة الفيلم من النوع المذبذب، اختيارية متعددة القنوات تحكم سمك الفيلم | |||
مكنسة نظام | دعم مضخة | اثنين المرحلة مضخة دوارة دوارة | ضخ ميناء | KF16 |
ثانوي مضخة | توربوجزيئي مضخة | ضخ ميناء | سي إف 160 | |
مكنسة قياس | مقاومة + التأين مُجَمَّع مقياس الفراغ | العادم معدل | ميكانيكي مضخة 1.1 لتر/ثانية | |
ذروة مكنسة | 1.0E-5Pa | قوة إمداد | جزيئي مضخة 600 لتر / ثانية | |
يتحكم نظام | بلك تحكم تلقائى عملية الواجهة: شاشة تعمل باللمس + لوحة التشغيل | |||
آحرون | إمداد الجهد االكهربى | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز | إجمالي مقاس | 1000 ملم × 800 مم × 1500 مم |
المجموع قوة | 10 كيلوواط | المجموع وزن | 350 كجم | |
