| الكمية: | |
|---|---|
تن-X-EIB500
TN
يتم استخدام المعدات بواسطة معدات طلاء التبخر بشعاع الإلكترون، وهي تستخدم بشكل رئيسي لإعداد مختلف الأفلام الموصلة، وأفلام أشباه الموصلات، والأفلام الكهروضوئية، والأفلام البصرية، والمعالجة الدقيقة لجهاز النانو الصغير، والمعالجة المسبقة لعينات المجهر الإلكتروني، وما إلى ذلك، وهي مناسبة بشكل خاص لتبخير مختلف المواد. المواد المعدنية المقاومة للحرارة.يمكن استخدامه ليس فقط للركائز الصلبة مثل الرقائق الزجاجية ورقائق السيليكون، ولكن أيضًا للطلاء على ركائز مرنة مثل PDMS، وPTFE، وPI.
المعلمات التقنية لطلاء تبخر شعاع الإلكترون:
اسم المنتج | آلة طلاء التبخر بشعاع الإلكترون |
موديل المنتج | تن-X-EIB500 |
حالة الخدمة | تتراوح درجة الحرارة المحيطة من 5 إلى 40 درجة مئوية |
مصدر | ثلاث مراحل 380 فولت |
الجهد االكهربى | 220 فولت 50 هرتز |
قوة | <20 كيلوواط |
مقياس الماء | <2.5 بار |
مراقبة الطبقة المطلية | باستخدام جهاز مراقبة سمك الغشاء SQM160، يتم قياس عدم تجانس الطلاء سمك أقل من 6%. |
مصباح حراري | تم استخدام أربعة مصابيح تسخين هالوجين لتفريغ الغاز ومصباح نيون واحد للإضاءة |
واجهة القطب | مع واجهة قطب تبخر معدني ثنائي الاتجاه، احتياطية |
نظام تبريد الماء | مراقبة ضغط المياه |
نافذة المراقبة | قطر 100 مم، مع زجاج مرشح للأشعة السينية |
نظام التحكم | نظام شاشة تعمل باللمس |
أبعاد غرفة الفراغ | أبعاد غرفة التبخر: Φ 500 * H500mm |
بندقية الإلكترون | مسدس إلكتروني جديد، بوتقة ذات 6 فتحات |
عينة القرص الدوار | حجم العينة: <150 مم، يمكن تدوير جدول العينة، جدول العينة السطح وتعديل مسافة سطح بندقية الإلكترون لأعلى ولأسفل، و مسافة التعديل 200 مم - 250 مم، يمكن تسخين طاولة العينة والتدفئة درجة الحرارة <500 درجة مئوية. |
درجة فراغ النظام | أ. الحد من الفراغ: الخبز لمدة 12 إلى 24 ساعة، الضخ المستمر، الفراغ أقل من 5x10-5بنسلفانيا ب. معدل الاستخلاص: تفريغ <5x10 في 40 دقيقة، بدءاً من أَجواء-4بنسلفانيا ج. معدل تسرب النظام: بعد 12 ساعة من إيقاف التشغيل، قم بقياس الفراغ درجة غرفة الفراغ <10Pa |
وحدة الفراغ | مضخة جزيئية FB1200 + مضخة المرحلة الأمامية VRD-16 + صمام استخراج جانبي + صمام البوابة + صمام القطع + مقياس الفراغ المركب + مراقبة الطلاء واجهة مقياس الفراغ (الاستعداد) |
يتم استخدام المعدات بواسطة معدات طلاء التبخر بشعاع الإلكترون، وهي تستخدم بشكل رئيسي لإعداد مختلف الأفلام الموصلة، وأفلام أشباه الموصلات، والأفلام الكهروضوئية، والأفلام البصرية، والمعالجة الدقيقة لجهاز النانو الصغير، والمعالجة المسبقة لعينات المجهر الإلكتروني، وما إلى ذلك، وهي مناسبة بشكل خاص لتبخير مختلف المواد. المواد المعدنية المقاومة للحرارة.يمكن استخدامه ليس فقط للركائز الصلبة مثل الرقائق الزجاجية ورقائق السيليكون، ولكن أيضًا للطلاء على ركائز مرنة مثل PDMS، وPTFE، وPI.
المعلمات التقنية لطلاء تبخر شعاع الإلكترون:
اسم المنتج | آلة طلاء التبخر بشعاع الإلكترون |
موديل المنتج | تن-X-EIB500 |
حالة الخدمة | تتراوح درجة الحرارة المحيطة من 5 إلى 40 درجة مئوية |
مصدر | ثلاث مراحل 380 فولت |
الجهد االكهربى | 220 فولت 50 هرتز |
قوة | <20 كيلوواط |
مقياس الماء | <2.5 بار |
مراقبة الطبقة المطلية | باستخدام جهاز مراقبة سمك الغشاء SQM160، يتم قياس عدم تجانس الطلاء سمك أقل من 6%. |
مصباح حراري | تم استخدام أربعة مصابيح تسخين هالوجين لتفريغ الغاز ومصباح نيون واحد للإضاءة |
واجهة القطب | مع واجهة قطب تبخر معدني ثنائي الاتجاه، احتياطية |
نظام تبريد الماء | مراقبة ضغط المياه |
نافذة المراقبة | قطر 100 مم، مع زجاج مرشح للأشعة السينية |
نظام التحكم | نظام شاشة تعمل باللمس |
أبعاد غرفة الفراغ | أبعاد غرفة التبخر: Φ 500 * H500mm |
بندقية الإلكترون | مسدس إلكتروني جديد، بوتقة ذات 6 فتحات |
عينة القرص الدوار | حجم العينة: <150 مم، يمكن تدوير جدول العينة، جدول العينة السطح وتعديل مسافة سطح بندقية الإلكترون لأعلى ولأسفل، و مسافة التعديل 200 مم - 250 مم، يمكن تسخين طاولة العينة والتدفئة درجة الحرارة <500 درجة مئوية. |
درجة فراغ النظام | أ. الحد من الفراغ: الخبز لمدة 12 إلى 24 ساعة، الضخ المستمر، الفراغ أقل من 5x10-5بنسلفانيا ب. معدل الاستخلاص: تفريغ <5x10 في 40 دقيقة، بدءاً من أَجواء-4بنسلفانيا ج. معدل تسرب النظام: بعد 12 ساعة من إيقاف التشغيل، قم بقياس الفراغ درجة غرفة الفراغ <10Pa |
وحدة الفراغ | مضخة جزيئية FB1200 + مضخة المرحلة الأمامية VRD-16 + صمام استخراج جانبي + صمام البوابة + صمام القطع + مقياس الفراغ المركب + مراقبة الطلاء واجهة مقياس الفراغ (الاستعداد) |
