طبقة التبخر الحراري لسطح المكتب مع منصة رفع كهربائية لترسيب الأفلام المعدنية

موديل المنتج

TN-EVP195S-1S-LT (T يعني خزان طويل القامة، L يعني   يرفع)

حالة التثبيت

1 、 العمل   درجة حرارة البيئة: 25 درجة مئوية ± 15 درجة مئوية، الرطوبة: 55% ر ± 10% ر؛

2- قوة المعدات   العرض: AC220V، 50 هرتز، يجب أن يكون مؤرضًا بشكل جيد؛

3 、 الطاقة المقدرة: 2500 واط.

4 、 معدات ل   الغاز: المعدات   يجب ملء الغرفة بغاز الأرجون للتنظيف.يجب على العميل   تحضير غاز الأرجون بنقاء ≥99.99%.

5 、 حجم الجدول   المتطلبات: 600 مم × 600 مم × 700 مم، قدرة التحمل ≥ 70 كجم؛

6- ينبغي أن يكون الموقف   تكون جيدة التهوية والتبريد.

المؤشرات الفنية

1 、  عدد مصادر التبخر: 2 لكل منهما   مصدر التبخر مجهز بالحاجز.

2 、 جهد مصدر التبخر: 10 فولت

3 、 تيار التبخر قابل للتعديل بشكل مستمر   من 0 إلى 100A

4 、 مع 1 قارب التنغستن، 1 سلة التنغستن.

5، منصة عينة رفع الكهربائية الفولاذ المقاوم للصدأ،   القطر 100 مم، سرعة الدوران 1 ~ 20 دورة في الدقيقة قابلة للتعديل بشكل مستمر؛

6、المسافة بين العينة والتبخر   المصدر قابل للتعديل بشكل مستمر من 190 إلى 300 مم، ويمكن تعديله أيضًا   صعودا وهبوطا في ظل حالة الفراغ.

7 、 تجويف الفراغ عبارة عن تجويف من الفولاذ المقاوم للصدأ   القطر الخارجي 195 ملم،  ان   القطر الداخلي 185 ملم وارتفاع 350 ملم؛

8 - العلوي   الغطاء محكم الإغلاق بشفة ISO لسهولة التفكيك والفحص؛

9. التجويف مزود بباب أمامي و   نافذة مراقبة كوارتز مع حاجز؛ الحجم   ofφ60mm

10、 واجهة ضخ الهواء لغرفة الفراغ هي   KF40؛

11. واجهة سحب الهواء هي حلقة مزدوجة 1/4 بوصة   يتم توفير صمام الضبط الدقيق المفصلي من الفولاذ المقاوم للصدأ بشكل افتراضي   ضبط كمية الهواء.

12، شاشة اللمس هي شاشة ملونة تعمل باللمس مقاس 7 بوصات؛

13، تيار الاخرق قابل للتعديل، الاخرق قيمة السلامة الحالية وفراغ السلامة   يمكن تعيين القيمة؛

14 、  حماية السلامة: التيار الزائد، والفراغ أيضًا   انخفاض تلقائيا قطع التيار الاخرق.

15 、 الفراغ النهائي: 1Pa (مطابقة مضخة دوارة دوارة مزدوجة المرحلة) ；

يلاحظ

1، من أجل إفساح المجال كاملاً لأداء الفراغ للتجويف، فإنه   يوصى باستخدامه مع مجموعة المضخة الجزيئية.

ملحق اختياري

فيلم

مراقب سمك

1 、 سمك الفيلم   الدقة: 0.0136Å (ألومنيوم)

2 、 دقة الفيلم   السُمك: ±0.5%، يعتمد على ظروف العملية، وخاصة المستشعر   الموقع والإجهاد المادي ودرجة الحرارة والكثافة  

3. سرعة القياس: 100 مللي ثانية إلى 1 ثانية لكل مرة، يمكن ضبط نطاق القياس: 500000Å (ألومنيوم)

4- الحساس القياسي   الكريستال: 6 ميجا هرتز

5 、 مناسبة ل   تردد الرقاقة: 6 ميجا هرتز

مناسبة لحجم الرقاقة: Φ14mm

شفة التركيب: CF35

ملحق آخر

1، قارب التنغستن، سلة التنغستن؛

2، مصدر التبخر العضوي (بما في ذلك قارب الكوارتز   ومصدر التدفئة سلك التنغستن)

3、يمكن اختيار عدد مصادر التبخر   1 ~ 2 مجموعات؛

4. المضخة الجزيئية عالية الأداء من سلسلة CY-CZK103   مجموعة (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب، نطاق القياس 10-5Pa ~ 105Pa)؛

سلسلة CY-GZK60 صغيرة   مجموعة المضخة الجزيئية (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب ونطاق القياس   10-5 باسكال ~ 102 باسكال)

VRD-4 مضخة فراغ دوارة ثنائية القطب ；

5، مبرد المياه المتداول CW3000 (تبريد الهواء، التدفق   معدل 10 لتر في الدقيقة)

6 、 KF40 منفاخ فراغ.يمكن أن يكون الطول 0.5 م أو 1 م أو   1.5 م.KF40 قوس المشبك.

7 、 مذبذب الكريستال متر سمك الفيلم.