طبقة تبخر حرارية صغيرة لنوع صندوق القفازات مع غرفة كوارتز نقية

منتج   نموذج

TN-EVP180G-1S-G(G   يعني صندوق القفازات)

حالة التثبيت

1 、 العمل   درجة حرارة البيئة: 25 درجة مئوية ± 15 درجة مئوية، الرطوبة: 55% ر ± 10% ر؛

2 、 المعدات   مصدر الطاقة: تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز،   يجب أن تكون على أسس جيدة؛

3 、 تصنيف   الطاقة: 1200 واط؛

4 、 المعدات   بالنسبة للغاز: يجب ملء غرفة المعدات بالأرجون   الغاز للتنظيف.يجب على العميل تحضير غاز الأرجون بنقاء ≥99.99%.

5 、 الجدول   متطلبات الحجم: 580 مم × 250 مم × 330 مم، محمل   القدرة ≥ 30 كجم ；

6 、 و   يجب أن يكون الوضع جيد التهوية والتبريد.

المؤشرات الفنية

1- مصدر التبخر   الجهد: 10 فولت

2- تيار التبخر   قابل للتعديل بشكل مستمر من 0 إلى 100A

3، مع قارب التنغستن، أ   سلة التنغستن.

4 、  الفولاذ المقاوم للصدأ   جدول العينات، قطر 60 مم؛

5 、  المسافة   بين منصة العينة ومصدر التبخر قابل للتعديل من 20   إلى 55 ملم؛

6 、 تجويف الفراغ هو   تجويف الكوارتز بقطر 180 ملم وارتفاع 100 ملم؛ ；

7 、 واجهة ضخ الهواء   غرفة الفراغ هي KF16

8 、 واجهة سحب الهواء   وصلة حلقية مزدوجة 1/4 بوصة

9. شاشة لمس 7 بوصة   شاشة ملونة تعمل باللمس

10 、 الاخرق قابل للتعديل   الحالي، الاخرق   يمكن ضبط قيمة السلامة الحالية وقيمة فراغ السلامة ；

11 、  حماية سلامة:   على مدى التيار، فراغ منخفض جدا تلقائيا قطع التيار الاخرق

12 、 الفراغ النهائي: 5E-4Pa (مطابقة   مضخة جزيئية) ；

13 、 قياس الفراغ   مقياس فراغ بارانا   النطاق هو 1 ~ 10⁵بنسلفانيا

يلاحظ

1. بالنسبة للمواد التي   حساسة للأكسجين، فمن المستحسن إضافة مجموعة المضخة الجزيئية.

2- من أجل تحقيق   بيئة خالية من الأكسجين بدرجة عالية، يجب تنظيف حجرة التفريغ على الأقل 3   مرات مع غاز خامل عالي النقاء.

خياري   ملحق

فيلم

سماكة   شاشة

1 、 سمك الفيلم   الدقة: 0.0136Å (ألومنيوم)

2 、 دقة الفيلم   السُمك: ±0.5%، يعتمد على ظروف العملية، وخاصة المستشعر   الموقف والإجهاد المادي ودرجة الحرارة والكثافة  

3. سرعة القياس: 100 مللي ثانية إلى 1 ثانية لكل مرة، يمكن ضبط نطاق القياس: 500000Å (ألومنيوم)

4- الحساس القياسي   الكريستال: 6 ميجا هرتز

5 、 مناسبة ل   تردد الرقاقة: 6 ميجا هرتز

مناسبة لحجم الرقاقة: Φ14mm

شفة التركيب: CF35

ملحق آخر

1، قارب التنغستن، التنغستن   سلة؛

2 、 التبخر العضوي   المصدر (بما في ذلك قارب الكوارتز ومصدر تسخين سلك التنغستن)

3、سلسلة TN-CZK103 عالية   مجموعة المضخات الجزيئية للأداء (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب والقياس   النطاق 10-5 باسكال ~ 105 باسكال)؛

مجموعة المضخات الجزيئية الصغيرة من سلسلة TN-GZK60 (بما في ذلك   مقياس الفراغ المركب، نطاق القياس 10-5Pa ~ 102Pa)

VRD-4 ريشة دوارة ثنائية القطب   مضخة فراغ

4 、 KF40   منفاخ فراغيمكن أن يكون الطول 0.5 م أو 1 م أو 1.5 م.KF40 قوس المشبك.

5 、 فيلم   مذبذب الكريستال متر سمك.