طبقة التبخر الحراري لسطح المكتب مع منصة عينة الرفع الكهربائية لطلاء المواد العضوية

موديل المنتج

TN-EVP195S-1S-LT (T يعني خزان طويل القامة، L يعني   يرفع)

حالة التثبيت

1 、 العمل   درجة حرارة البيئة: 25 درجة مئوية ± 15 درجة مئوية، الرطوبة: 55% ر ± 10% ر؛

2- قوة المعدات   العرض: AC220V، 50 هرتز، يجب أن يكون مؤرضًا بشكل جيد؛

3 、 الطاقة المقدرة: 2500 واط.

4 、 معدات ل   الغاز: المعدات   يجب ملء الغرفة بغاز الأرجون للتنظيف.يجب على العميل   تحضير غاز الأرجون بنقاء ≥99.99%.

5 、 حجم الجدول   المتطلبات: 600 مم × 600 مم × 700 مم، قدرة التحمل ≥ 70 كجم؛

6- ينبغي أن يكون الموقف   تكون جيدة التهوية والتبريد.

المؤشرات الفنية

1 、  عدد مصادر التبخر: 2 لكل منهما   مصدر التبخر مجهز بالحاجز.

2 、 جهد مصدر التبخر: 10 فولت

3 、 تيار التبخر قابل للتعديل بشكل مستمر   من 0 إلى 100A

4 、 مع 1 قارب التنغستن، 1 سلة التنغستن.

5، منصة عينة رفع الكهربائية الفولاذ المقاوم للصدأ،   القطر 100 مم، سرعة الدوران 1 ~ 20 دورة في الدقيقة قابلة للتعديل بشكل مستمر؛

6、المسافة بين العينة والتبخر   المصدر قابل للتعديل بشكل مستمر من 190 إلى 300 مم، ويمكن تعديله أيضًا   صعودا وهبوطا في ظل حالة الفراغ.

7、 تجويف الفراغ عبارة عن تجويف من الفولاذ المقاوم للصدأ   القطر الخارجي 195 ملم،  ان   القطر الداخلي 185 ملم وارتفاع 350 ملم؛

8 - العلوي   الغطاء محكم الإغلاق بشفة ISO لسهولة التفكيك والفحص؛

9. التجويف مزود بباب أمامي و   نافذة مراقبة كوارتز مع حاجز؛ الحجم   ofφ60mm

10、 واجهة ضخ الهواء لغرفة الفراغ هي   KF40؛

11. واجهة سحب الهواء هي حلقة مزدوجة 1/4 بوصة   يتم توفير صمام الضبط الدقيق المفصلي من الفولاذ المقاوم للصدأ بشكل افتراضي   ضبط كمية الهواء.

12، شاشة اللمس هي شاشة ملونة تعمل باللمس مقاس 7 بوصة؛

13، تيار الاخرق قابل للتعديل، الاخرق قيمة السلامة الحالية وفراغ السلامة   يمكن تعيين القيمة؛

14 、  حماية السلامة: التيار الزائد، والفراغ أيضًا   انخفاض تلقائيا قطع التيار الاخرق.

15 、 الفراغ النهائي: 1Pa (مطابقة مضخة دوارة دوارة مزدوجة المرحلة) ；

يلاحظ

1، من أجل إفساح المجال كاملاً لأداء الفراغ للتجويف، فإنه   يوصى باستخدامه مع مجموعة المضخة الجزيئية.

ملحق اختياري

فيلم

مراقب سمك

1 、 سمك الفيلم   الدقة: 0.0136Å (ألومنيوم)

2 、 دقة الفيلم   السُمك: ±0.5%، يعتمد على ظروف العملية، وخاصة المستشعر   الموقع والإجهاد المادي ودرجة الحرارة والكثافة  

3. سرعة القياس: 100 مللي ثانية إلى 1 ثانية لكل مرة، يمكن ضبط نطاق القياس: 500000Å (ألومنيوم)

4- الحساس القياسي   الكريستال: 6 ميجا هرتز

5 、 مناسبة ل   تردد الرقاقة: 6 ميجا هرتز

مناسبة لحجم الرقاقة: Φ14mm

شفة التركيب: CF35

ملحق آخر

1، قارب التنغستن، سلة التنغستن؛

2، مصدر التبخر العضوي (بما في ذلك قارب الكوارتز   ومصدر التدفئة سلك التنغستن)

3、يمكن اختيار عدد مصادر التبخر   1 ~ 2 مجموعات؛

4، مضخة جزيئية عالية الأداء من سلسلة TN-CZK103   مجموعة (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب، نطاق القياس 10-5Pa ~ 105Pa)؛

سلسلة TN-GZK60 صغيرة   مجموعة المضخة الجزيئية (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب ونطاق القياس   10-5 باسكال ~ 102 باسكال)

VRD-4 مضخة فراغ دوارة ثنائية القطب ；

5، مبرد المياه المتداول CW3000 (تبريد الهواء، التدفق   معدل 10 لتر في الدقيقة)

6 、 KF40 منفاخ فراغ.يمكن أن يكون الطول 0.5 م أو 1 م أو   1.5 م.KF40 قوس المشبك.

7 、 مذبذب الكريستال متر سمك الفيلم.