طبقة التبخر الحراري لسطح المكتب مع تجويف من الفولاذ المقاوم للصدأ لأفلام أشباه الموصلات

موديل المنتج

TN-EVP170S-1S-A

تثبيت   Condition

1- بيئة العمل   درجة الحرارة: 25 درجة مئوية ± 15 درجة مئوية، الرطوبة: 55% ر ± 10% ر؛

2. مصدر طاقة المعدات: تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز، يجب أن يكون مؤرضًا بشكل جيد؛

3 、 الطاقة المقدرة: 1200 واط.

4. معدات الغاز: غرفة المعدات   يجب أن تكون مليئة بغاز الأرجون للتنظيف.يجب على العميل الاستعداد   غاز الأرجون بدرجة نقاء ≥99.99%.

·              5 、 الجدول   متطلبات الحجم: 600 مم × 600 مم × 700 مم، محمل   القدرة ≥ 50 كجم

·           ；

6- أن يكون المنصب   جيدة التهوية ومبردة.

اِصطِلاحِيّ   المؤشرات

1- مصدر التبخر   الجهد: 10 فولت

2- تيار التبخر   قابل للتعديل بشكل مستمر من 0 إلى 100A

3، مع قارب التنغستن، أ   سلة التنغستن.

4 、 عينة من الفولاذ المقاوم للصدأ   طاولة بقطر 60 مم؛

5 、  المسافة   بين منصة العينة ومصدر التبخر قابل للتعديل من 60   إلى 100 مم؛

6 、 تجويف الفراغ هو   تجويف من الفولاذ المقاوم للصدأ بقطر خارجي 170 مم،  القطر الداخلي 160 ملم وارتفاعه   210 ملم؛

7- مجهزة   نافذة مراقبة كوارتز مع حاجز، الحجم φ60mm

8 、 واجهة ضخ الهواء   من غرفة فراغ هو KF40؛

9. واجهة سحب الهواء   وصلة حلقية مزدوجة 1/4 بوصة؛

10. شاشة لمس 7 بوصة   شاشة ملونة تعمل باللمس

11 、 الاخرق قابل للتعديل   الحالي، الاخرق   يمكن ضبط قيمة السلامة الحالية وقيمة فراغ السلامة ；

12 、  حماية سلامة:   على التيار الزائد، يكون الفراغ منخفضًا جدًا تلقائيًا مما يؤدي إلى قطع تيار الاخرق؛

13 、 الفراغ النهائي: 1Pa (مطابقة المرحلة المزدوجة   مضخة دوارة دوارة) ；

14 、 قياس الفراغ   مقياس فراغ بارانا   النطاق هو: 1 ~ 105Pa

يلاحظ

1 - من أجل إعطاء كامل   اللعب على أداء فراغ التجويف، فمن المستحسن استخدامه   مع مجموعة المضخة الجزيئية.

ملحق اختياري

فيلم  

مراقب سمك

1 、 دقة سمك الفيلم: 0.0136Å (الألومنيوم)

2 、 دقة الفيلم   السُمك: ±0.5%، يعتمد على العملية   الظروف، وخاصة موقف الاستشعار، والإجهاد المادي، ودرجة الحرارة و   كثافة  

3 、 سرعة القياس: 100 مللي ثانية إلى 1 ثانية في المرة الواحدة ، يمكن أن يكون نطاق القياس   المجموعة: 500000Å (ألومنيوم)

4 、 كريستال الاستشعار القياسي: 6 ميجا هرتز

5 、 مناسبة للرقاقة   التردد: 6 ميجا هرتز  

مناسبة لحجم الرقاقة: Φ14mm

تصاعد   شفة: CF35

آخر   ملحق

1، قارب التنغستن، التنغستن   سلة؛

2 、 التبخر العضوي   المصدر (بما في ذلك قارب الكوارتز ومصدر التسخين بسلك التنغستن)

3、سلسلة CY-CZK103 عالية   مجموعة المضخات الجزيئية للأداء (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب والقياس   النطاق 10-5 باسكال ~ 105 باسكال)؛

مجموعة المضخات الجزيئية الصغيرة من سلسلة CY-GZK60 (بما في ذلك   مقياس الفراغ المركب، نطاق القياس 10-5Pa ~ 102Pa)

VRD-4 ريشة دوارة ثنائية القطب   مضخة فراغ

4 、 KF40 منفاخ فراغ.ال   يمكن أن يكون الطول 0.5 م أو 1 م أو 1.5 م.KF40 قوس المشبك.

5- جهاز قياس سماكة الفيلم   مذبذب كرستالى؛