طبقة التبخر الحراري لسطح المكتب مع تجويف الكوارتز لإعداد أفلام موصلة مختلفة

موديل المنتج

TN-EVP180G-1S-A

حالة التثبيت

1 、 العمل   درجة حرارة البيئة: 25 درجة مئوية ± 15 درجة مئوية، الرطوبة: 55% ر ± 10% ر؛

2- قوة المعدات   العرض: AC220V، 50 هرتز، يجب أن يكون مؤرضًا بشكل جيد؛

3 、 الطاقة المقدرة: 1200 واط.

4 、 معدات ل   الغاز: المعدات   يجب ملء الغرفة بغاز الأرجون للتنظيف.يجب على العميل   تحضير غاز الأرجون بنقاء ≥99.99%.

5 、 حجم الجدول   المتطلبات: 600 مم × 600 مم × 700 مم، قدرة التحمل ≥ 50 كجم؛

6- الموقف   يجب أن تكون جيدة التهوية والتبريد.

المؤشرات الفنية

1 、 جهد مصدر التبخر: 10 فولت

2 、 تيار التبخر قابل للتعديل بشكل مستمر   من 0 إلى 100A

3، مع قارب التنغستن، سلة التنغستن.

4 、  طاولة عينة علوية دوارة من الفولاذ المقاوم للصدأ،   قطر 60 ملم؛

5 、  المسافة بين منصة العينة و   مصدر التبخر قابل للتعديل من 60 إلى 100 مم؛

6. تجويف الفراغ عبارة عن تجويف كوارتز بقطر   180 ملم وارتفاع 200 ملم؛؛

7 、 واجهة ضخ الهواء لغرفة الفراغ هي   KF25

8. واجهة سحب الهواء هي حلقة مزدوجة 1/4 بوصة   مشترك

9. شاشة اللمس هي شاشة ملونة تعمل باللمس مقاس 7 بوصة

10، تيار الاخرق قابل للتعديل، الاخرق قيمة السلامة الحالية وفراغ السلامة   يمكن تعيين القيمة؛

11 、  حماية السلامة: التيار الزائد، والفراغ أيضًا   منخفض يقطع تيار الاخرق تلقائيًا

12 、 الفراغ النهائي: 5E-4Pa (مضخة جزيئية مطابقة) ；

13. قياس الفراغ هو مقياس فراغ بارانا، النطاق: 1 ~ 105Pa

يلاحظ

1. بالنسبة للمواد التي   حساسة للأكسجين، فمن المستحسن إضافة مجموعة المضخة الجزيئية.

2- من أجل تحقيق   بيئة خالية من الأكسجين بدرجة عالية، يجب تنظيف حجرة التفريغ على الأقل 3   مرات مع غاز خامل عالي النقاء.

خياري   ملحق

فيلم

سماكة   شاشة

1 、 دقة سمك الفيلم: 0.0136Å (الألومنيوم)

2 、 دقة الفيلم   السُمك: ±0.5%، يعتمد على العملية   الظروف، وخاصة موقف الاستشعار، والإجهاد المادي، ودرجة الحرارة و   كثافة  

3 、 سرعة القياس: 100 مللي ثانية إلى 1 ثانية في المرة الواحدة ، يمكن أن يكون نطاق القياس   المجموعة: 500000Å (ألومنيوم)

4 、 كريستال الاستشعار القياسي: 6 ميجا هرتز

5 、 مناسبة للرقاقة   التردد: 6 ميجا هرتز  

مناسبة لحجم الرقاقة: Φ14mm

شفة التركيب: CF35

ملحق آخر

1، قارب التنغستن، التنغستن   سلة؛

2 、 التبخر العضوي   المصدر (بما في ذلك قارب الكوارتز ومصدر التسخين بسلك التنغستن)

3、سلسلة CY-CZK103 عالية   مجموعة المضخات الجزيئية للأداء (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب والقياس   النطاق 10-5 باسكال ~ 105 باسكال)؛

مجموعة المضخات الجزيئية الصغيرة من سلسلة CY-GZK60 (بما في ذلك   مقياس الفراغ المركب، نطاق القياس 10-5Pa ~ 102Pa)

VRD-4 ريشة دوارة ثنائية القطب   مضخة فراغ

4 、 KF25 منفاخ فراغ.ال   يمكن أن يكون الطول 0.5 م أو 1 م أو 1.5 م.KF25 قوس المشبك.

5- جهاز قياس سماكة الفيلم   مذبذب كرستالى؛