توافر الحالة: | |
---|---|
الكمية: | |
TN-MSH325-III-DCDCRF-SS
TN
نقدم لكم أحدث أجهزة الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثية الأهداف، والمصممة لتطبيقات الطلاء الدقيقة في مختلف الصناعات. تم تجهيز آلة الطلاء المتقدمة هذه بأحدث التقنيات لإنتاج أفلام متدرجة ومتعددة الطبقات عالية الجودة، وأفلام سبائك معقدة، وأفلام سبائك مغناطيسية بدقة وكفاءة استثنائية.
إن طبقة الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثية الأهداف قادرة على ترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك سبائك الألومنيوم والنحاس، وأغشية السيليكون والجرمانيوم، والبيرمالوي (النيكل والحديد)، وCoFeB (الكوبالت والحديد والبورون). وتعد هذه المواد ضرورية لإنتاج الخلايا الشمسية ذات الأغشية الرقيقة، بالإضافة إلى الأجهزة الإلكترونية والبصرية الأخرى.
بفضل قدراتها المتنوعة وأدائها المتفوق، فإن آلة الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثية الأهداف هي الحل المثالي لمختبرات البحث والتطوير والجامعات والشركات الصناعية التي تتطلع إلى تحقيق طلاءات دقيقة وموحدة على ركائز مختلفة. استثمر في آلة الطلاء المتطورة لدينا اليوم واستمتع بتجربة الفرق في الجودة والكفاءة التي يمكن أن تجلبها إلى عمليات الإنتاج الخاصة بك.
منتج اسم | تلقائي برنامج يتم التحكم فيه بالفراغ العالي لطلاء الرش المغنطروني ثلاثي الأهداف أداة لفيلم أكسيد | |
منتج نموذج | TN-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
قوة جهد الإمداد | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز | |
مكتمل قوة | 6 كيلو واط | |
نظام مكنسة | ≦5×10-4Pa | |
عينة منصة | Dimensions | φ150 ملم |
التدفئة درجة حرارة | ≦850 درجة مئوية | |
درجة حرارة دقة التحكم | ±1 درجة مئوية | |
Adjustable سرعة | ≦20 دورة في الدقيقة | |
المغنطرون الهدف الاخرق | هدف مقاس | القطر Φ50.8mm، سمك ≦3mm |
تبريد وضع | تعميم تبريد المياه | |
ماء حجم التدفق | Not أقل من 10 لتر/دقيقة | |
كمية | 3 | |
مكنسة غرفة | تجويف مقاس | القطر φ325 ملم |
تجويف مادة | SUU304 الفولاذ المقاوم للصدأ | |
ملاحظة نافذة | القطر φ100 ملم | |
افتتاح طريقة | قمة افتتاح | |
الغاز يتحكم | 1 يتم استخدام مقياس التدفق الشامل للتحكم في تدفق Ar، بمدى 200SCCM | |
مكنسة نظام | مجهزة مع نظام مضخة جزيئي واحد، سرعة ضخ الغاز 600 لتر/ثانية | |
فيلم قياس سمك | خياري مقياس سماكة طبقة كريستال الكوارتز، دقة 0.10 Å | |
الاخرق مزود الطاقة | مجهزة مع مصدر طاقة تيار مستمر، طاقة 500 وات * 2 مصدر طاقة RF 300 وات | |
يتحكم نظام | سيكي نظام تحكم احترافي متطور ذاتيًا | |
معدات أبعاد | 570 مم × 1040 مم × 1700 مم | |
معدات وزن | 350 كجم |
إن جهاز الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثي الأهداف للأغشية الرقيقة من السبائك عبارة عن قطعة معدات متخصصة للغاية مصممة لترسيب تركيبات السبائك المعقدة والهياكل متعددة الطبقات. من خلال استخدام ثلاثة أهداف مختلفة، يسمح هذا النظام بإنشاء أغشية سبائك دقيقة ومواد ذات طبقات ذات خصائص مخصصة. فيما يلي المناطق الأساسية التي يتوفر فيها هذا النوع من الأجهزة وشائع الاستخدام:
أفلام متعددة الطبقات ومتدرجة: يعد التكوين ثلاثي الأهداف مثاليًا لترسيب الأفلام متعددة الطبقات أو المتدرجة، حيث يمكن ترسيب المواد المختلفة بشكل تسلسلي أو متزامن. يعد هذا أمرًا بالغ الأهمية في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات المتقدمة، بما في ذلك الترانزستورات والمكثفات والوصلات البينية.
أفلام السبائك المعقدة: في الإلكترونيات الدقيقة، غالبًا ما تكون هناك حاجة إلى أفلام من السبائك ذات خصائص كهربائية وحرارية محددة. يسمح النظام ثلاثي الأهداف بالتحكم الدقيق في تركيب هذه السبائك، مثل سبائك الألومنيوم والنحاس أو أغشية السيليكون والجرمانيوم.
الطلاءات المضادة للانعكاس والعاكسة: يمكن للآلة ترسيب طبقات بصرية معقدة، بما في ذلك تلك ذات مؤشرات انكسار متدرجة أو أكوام متعددة الطبقات. تعتبر هذه الطلاءات ضرورية للعدسات والمرايا والمرشحات الضوئية في مجموعة واسعة من التطبيقات.
المرايا المزقزقة وفواصل الشعاع: تتطلب هذه المكونات غالبًا طبقات معقدة متعددة المواد، والتي يمكن إنشاؤها بكفاءة باستخدام ثلاثة أهداف مختلفة.
أفلام السبائك المغناطيسية: يتم استخدام الرش ثلاثي الأهداف لترسيب أفلام السبائك المغناطيسية، مثل البرمالوي (النيكل والحديد) أو CoFeB (الكوبالت والحديد والبورون)، والتي تعتبر حاسمة في إنتاج أجهزة التخزين المغناطيسية، وأجهزة الاستشعار، والمكونات الإلكترونية الدورانية.
الهياكل السبينترونية: تعد القدرة على إنشاء مواد مغناطيسية وغير مغناطيسية ذات طبقات أمرًا أساسيًا للأجهزة الإلكترونية السبينية، التي تستغل دوران الإلكترونات لتخزين البيانات والعمليات المنطقية.
الخلايا الشمسية ذات الأغشية الرقيقة: في إنتاج الخلايا الشمسية ذات الأغشية الرقيقة، مثل خلايا CIGS (سيلينيد غاليوم النحاس والإنديوم) أو خلايا CZTS (كبريتيد القصدير والزنك والنحاس)، يعد النظام ثلاثي الأهداف ضروريًا لترسيب طبقات ماصة السبائك المعقدة وأكاسيد موصلة شفافة.
مكونات البطارية وخلية الوقود: يتم استخدام الرش ثلاثي الأهداف لترسيب أغشية السبائك لمواد الأقطاب الكهربائية في البطاريات والطبقات الواقية أو المحفزة في خلايا الوقود، مما يحسن كفاءة هذه الأجهزة ومتانتها.
طلاءات الأدوات المتقدمة: يتم استخدام الطلاء لإنشاء طلاءات سبائك صلبة ومقاومة للتآكل، مثل نيتريد التيتانيوم والألومنيوم (TiAlN) أو نيتريد الكروم والألومنيوم (CrAlN)، والتي يتم تطبيقها على أدوات القطع والقوالب والمكونات الميكانيكية الأخرى لتعزيز أدائهم.
الطلاءات الواقية: يتم ترسيب طلاءات السبائك التي توفر مقاومة للتآكل أو مقاومة الأكسدة أو الحواجز الحرارية باستخدام هذا النظام للاستخدام في تطبيقات الفضاء والسيارات والتطبيقات الصناعية.
الطلاءات الجمالية: يمكن للآلة وضع طبقات متعددة الطبقات أو طبقات من السبائك التي توفر تشطيبات زخرفية وخصائص وظيفية (مثل مقاومة الخدش) على المنتجات الاستهلاكية مثل الإلكترونيات والمجوهرات والأدوات المنزلية.
الطلاءات المعمارية: يتم استخدام الرش ثلاثي الأهداف لإنشاء طبقات على الزجاج المعماري مما يعزز كفاءة الطاقة والحماية من الأشعة فوق البنفسجية والمظهر الجمالي.
تطوير مواد جديدة: يستخدم الباحثون طبقات رش ثلاثية الأهداف لتطوير واستكشاف مواد سبائك جديدة ذات خصائص إلكترونية أو مغناطيسية أو بصرية أو ميكانيكية محددة. تسمح مرونة النظام بإعداد نماذج أولية سريعة للمواد الجديدة.
الهياكل النانوية وأجهزة الأغشية الرقيقة: في أبحاث علوم المواد وتكنولوجيا النانو، تعد القدرة على إنشاء أفلام معقدة ومتعددة المكونات مع التحكم الدقيق في التركيب والسمك أمرًا لا يقدر بثمن لدراسة وتطوير أجهزة جديدة للأغشية الرقيقة.
المواد فائقة التوصيل: يتم استخدام الآلة لترسيب أغشية السبائك فائقة التوصيل، مثل NbTi (النيوبيوم والتيتانيوم) أو NbN (نيتريد النيوبيوم)، لاستخدامها في الإلكترونيات فائقة التوصيل، والمغناطيس، والأبحاث المتعلقة بالموصلية الفائقة في درجات الحرارة العالية.
الطلاءات المغناطيسية المتقدمة: يسمح الرش ثلاثي الأهداف بإنشاء سبائك مغناطيسية معقدة وطبقات متعددة تستخدم في أجهزة تخزين البيانات المتقدمة وأجهزة الاستشعار المغناطيسية والتطبيقات الإلكترونية الدورانية.
طلاءات متوافقة حيويا: في الهندسة الطبية الحيوية، يتم استخدام الرش ثلاثي الأهداف لترسيب طلاءات السبائك المتوافقة حيويًا والمناسبة للزرعات الطبية، مثل سبائك التيتانيوم أو الطلاءات التي تعزز نمو الخلايا.
المواد الحيوية الوظيفية: يمكن أيضًا استخدام النظام لإنشاء طبقات ذات خصائص سطحية محددة، مثل الأسطح المضادة للميكروبات أو المحبة للماء، للأجهزة والأدوات الطبية.
بشكل عام، يعد المغطى المغنطروني ثلاثي الأهداف أداة متعددة الاستخدامات وقوية تستخدم في العديد من الصناعات ومجالات البحث لترسيب الأغشية الرقيقة المعقدة والهياكل متعددة الطبقات. وتسمح قدرته على التعامل مع ثلاث مواد مختلفة في وقت واحد أو بالتسلسل بالتحكم الدقيق اللازم لتطوير مواد وأجهزة متقدمة ذات خصائص مخصصة.
نقدم لكم أحدث أجهزة الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثية الأهداف، والمصممة لتطبيقات الطلاء الدقيقة في مختلف الصناعات. تم تجهيز آلة الطلاء المتقدمة هذه بأحدث التقنيات لإنتاج أفلام متدرجة ومتعددة الطبقات عالية الجودة، وأفلام سبائك معقدة، وأفلام سبائك مغناطيسية بدقة وكفاءة استثنائية.
إن طبقة الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثية الأهداف قادرة على ترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك سبائك الألومنيوم والنحاس، وأغشية السيليكون والجرمانيوم، والبيرمالوي (النيكل والحديد)، وCoFeB (الكوبالت والحديد والبورون). وتعد هذه المواد ضرورية لإنتاج الخلايا الشمسية ذات الأغشية الرقيقة، بالإضافة إلى الأجهزة الإلكترونية والبصرية الأخرى.
بفضل قدراتها المتنوعة وأدائها المتفوق، فإن آلة الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثية الأهداف هي الحل المثالي لمختبرات البحث والتطوير والجامعات والشركات الصناعية التي تتطلع إلى تحقيق طلاءات دقيقة وموحدة على ركائز مختلفة. استثمر في آلة الطلاء المتطورة لدينا اليوم واستمتع بتجربة الفرق في الجودة والكفاءة التي يمكن أن تجلبها إلى عمليات الإنتاج الخاصة بك.
منتج اسم | تلقائي برنامج يتم التحكم فيه بالفراغ العالي لطلاء الرش المغنطروني ثلاثي الأهداف أداة لفيلم أكسيد | |
منتج نموذج | TN-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
قوة جهد الإمداد | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز | |
مكتمل قوة | 6 كيلو واط | |
نظام مكنسة | ≦5×10-4Pa | |
عينة منصة | Dimensions | φ150 ملم |
التدفئة درجة حرارة | ≦850 درجة مئوية | |
درجة حرارة دقة التحكم | ±1 درجة مئوية | |
Adjustable سرعة | ≦20 دورة في الدقيقة | |
المغنطرون الهدف الاخرق | هدف مقاس | القطر Φ50.8mm، سمك ≦3mm |
تبريد وضع | تعميم تبريد المياه | |
ماء حجم التدفق | Not أقل من 10 لتر/دقيقة | |
كمية | 3 | |
مكنسة غرفة | تجويف مقاس | القطر φ325 ملم |
تجويف مادة | SUU304 الفولاذ المقاوم للصدأ | |
ملاحظة نافذة | القطر φ100 ملم | |
افتتاح طريقة | قمة افتتاح | |
الغاز يتحكم | 1 يتم استخدام مقياس التدفق الشامل للتحكم في تدفق Ar، بمدى 200SCCM | |
مكنسة نظام | مجهزة مع نظام مضخة جزيئي واحد، سرعة ضخ الغاز 600 لتر/ثانية | |
فيلم قياس سمك | خياري مقياس سماكة طبقة كريستال الكوارتز، دقة 0.10 Å | |
الاخرق مزود الطاقة | مجهزة مع مصدر طاقة تيار مستمر، طاقة 500 وات * 2 مصدر طاقة RF 300 وات | |
يتحكم نظام | سيكي نظام تحكم احترافي متطور ذاتيًا | |
معدات أبعاد | 570 مم × 1040 مم × 1700 مم | |
معدات وزن | 350 كجم |
إن جهاز الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثي الأهداف للأغشية الرقيقة من السبائك عبارة عن قطعة معدات متخصصة للغاية مصممة لترسيب تركيبات السبائك المعقدة والهياكل متعددة الطبقات. من خلال استخدام ثلاثة أهداف مختلفة، يسمح هذا النظام بإنشاء أغشية سبائك دقيقة ومواد ذات طبقات ذات خصائص مخصصة. فيما يلي المناطق الأساسية التي يتوفر فيها هذا النوع من الأجهزة وشائع الاستخدام:
أفلام متعددة الطبقات ومتدرجة: يعد التكوين ثلاثي الأهداف مثاليًا لترسيب الأفلام متعددة الطبقات أو المتدرجة، حيث يمكن ترسيب المواد المختلفة بشكل تسلسلي أو متزامن. يعد هذا أمرًا بالغ الأهمية في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات المتقدمة، بما في ذلك الترانزستورات والمكثفات والوصلات البينية.
أفلام السبائك المعقدة: في الإلكترونيات الدقيقة، غالبًا ما تكون هناك حاجة إلى أفلام من السبائك ذات خصائص كهربائية وحرارية محددة. يسمح النظام ثلاثي الأهداف بالتحكم الدقيق في تركيب هذه السبائك، مثل سبائك الألومنيوم والنحاس أو أغشية السيليكون والجرمانيوم.
الطلاءات المضادة للانعكاس والعاكسة: يمكن للآلة ترسيب طبقات بصرية معقدة، بما في ذلك تلك ذات مؤشرات انكسار متدرجة أو أكوام متعددة الطبقات. تعتبر هذه الطلاءات ضرورية للعدسات والمرايا والمرشحات الضوئية في مجموعة واسعة من التطبيقات.
المرايا المزقزقة وفواصل الشعاع: تتطلب هذه المكونات غالبًا طبقات معقدة متعددة المواد، والتي يمكن إنشاؤها بكفاءة باستخدام ثلاثة أهداف مختلفة.
أفلام السبائك المغناطيسية: يتم استخدام الرش ثلاثي الأهداف لترسيب أفلام السبائك المغناطيسية، مثل البرمالوي (النيكل والحديد) أو CoFeB (الكوبالت والحديد والبورون)، والتي تعتبر حاسمة في إنتاج أجهزة التخزين المغناطيسية، وأجهزة الاستشعار، والمكونات الإلكترونية الدورانية.
الهياكل السبينترونية: تعد القدرة على إنشاء مواد مغناطيسية وغير مغناطيسية ذات طبقات أمرًا أساسيًا للأجهزة الإلكترونية السبينية، التي تستغل دوران الإلكترونات لتخزين البيانات والعمليات المنطقية.
الخلايا الشمسية ذات الأغشية الرقيقة: في إنتاج الخلايا الشمسية ذات الأغشية الرقيقة، مثل خلايا CIGS (سيلينيد غاليوم النحاس والإنديوم) أو خلايا CZTS (كبريتيد القصدير والزنك والنحاس)، يعد النظام ثلاثي الأهداف ضروريًا لترسيب طبقات ماصة السبائك المعقدة وأكاسيد موصلة شفافة.
مكونات البطارية وخلية الوقود: يتم استخدام الرش ثلاثي الأهداف لترسيب أغشية السبائك لمواد الأقطاب الكهربائية في البطاريات والطبقات الواقية أو المحفزة في خلايا الوقود، مما يحسن كفاءة هذه الأجهزة ومتانتها.
طلاءات الأدوات المتقدمة: يتم استخدام الطلاء لإنشاء طلاءات سبائك صلبة ومقاومة للتآكل، مثل نيتريد التيتانيوم والألومنيوم (TiAlN) أو نيتريد الكروم والألومنيوم (CrAlN)، والتي يتم تطبيقها على أدوات القطع والقوالب والمكونات الميكانيكية الأخرى لتعزيز أدائهم.
الطلاءات الواقية: يتم ترسيب طلاءات السبائك التي توفر مقاومة للتآكل أو مقاومة الأكسدة أو الحواجز الحرارية باستخدام هذا النظام للاستخدام في تطبيقات الفضاء والسيارات والتطبيقات الصناعية.
الطلاءات الجمالية: يمكن للآلة وضع طبقات متعددة الطبقات أو طبقات من السبائك التي توفر تشطيبات زخرفية وخصائص وظيفية (مثل مقاومة الخدش) على المنتجات الاستهلاكية مثل الإلكترونيات والمجوهرات والأدوات المنزلية.
الطلاءات المعمارية: يتم استخدام الرش ثلاثي الأهداف لإنشاء طبقات على الزجاج المعماري مما يعزز كفاءة الطاقة والحماية من الأشعة فوق البنفسجية والمظهر الجمالي.
تطوير مواد جديدة: يستخدم الباحثون طبقات رش ثلاثية الأهداف لتطوير واستكشاف مواد سبائك جديدة ذات خصائص إلكترونية أو مغناطيسية أو بصرية أو ميكانيكية محددة. تسمح مرونة النظام بإعداد نماذج أولية سريعة للمواد الجديدة.
الهياكل النانوية وأجهزة الأغشية الرقيقة: في أبحاث علوم المواد وتكنولوجيا النانو، تعد القدرة على إنشاء أفلام معقدة ومتعددة المكونات مع التحكم الدقيق في التركيب والسمك أمرًا لا يقدر بثمن لدراسة وتطوير أجهزة جديدة للأغشية الرقيقة.
المواد فائقة التوصيل: يتم استخدام الآلة لترسيب أغشية السبائك فائقة التوصيل، مثل NbTi (النيوبيوم والتيتانيوم) أو NbN (نيتريد النيوبيوم)، لاستخدامها في الإلكترونيات فائقة التوصيل، والمغناطيس، والأبحاث المتعلقة بالموصلية الفائقة في درجات الحرارة العالية.
الطلاءات المغناطيسية المتقدمة: يسمح الرش ثلاثي الأهداف بإنشاء سبائك مغناطيسية معقدة وطبقات متعددة تستخدم في أجهزة تخزين البيانات المتقدمة وأجهزة الاستشعار المغناطيسية والتطبيقات الإلكترونية الدورانية.
طلاءات متوافقة حيويا: في الهندسة الطبية الحيوية، يتم استخدام الرش ثلاثي الأهداف لترسيب طلاءات السبائك المتوافقة حيويًا والمناسبة للزرعات الطبية، مثل سبائك التيتانيوم أو الطلاءات التي تعزز نمو الخلايا.
المواد الحيوية الوظيفية: يمكن أيضًا استخدام النظام لإنشاء طبقات ذات خصائص سطحية محددة، مثل الأسطح المضادة للميكروبات أو المحبة للماء، للأجهزة والأدوات الطبية.
بشكل عام، يعد المغطى المغنطروني ثلاثي الأهداف أداة متعددة الاستخدامات وقوية تستخدم في العديد من الصناعات ومجالات البحث لترسيب الأغشية الرقيقة المعقدة والهياكل متعددة الطبقات. وتسمح قدرته على التعامل مع ثلاث مواد مختلفة في وقت واحد أو بالتسلسل بالتحكم الدقيق اللازم لتطوير مواد وأجهزة متقدمة ذات خصائص مخصصة.