سطح المكتب ذو هدف واحد طلاء مغناطيسي مع تجويف من الفولاذ المقاوم للصدأ للفيلم الإلكتروني

موديل المنتج

TN-MSP190S-1T-A

حالة التثبيت

1، درجة حرارة بيئة العمل: 25 درجة مئوية ± 15 درجة مئوية، الرطوبة: 55% ر ± 10% ر؛

2 ، مصدر طاقة المعدات: AC220V ، 50 هرتز ، يجب أن يكون مؤرضًا بشكل جيد ；

3 ، الطاقة المقدرة: 1000 واط ；

4 ، معدات الغاز: يجب ملء غرفة المعدات بغاز الأرجون للتنظيف.   يجب على العميل تحضير غاز الأرجون بنقاء ≥99.99%.

5 ، متطلبات حجم الجدول: 600 مم × 600 مم × 700 مم، قدرة التحمل ≥ 50 كجم؛

6، يجب أن يكون الموقف جيد التهوية والتبريد.

المؤشرات الفنية

1 、 مصدر طاقة الاخرق: مصدر طاقة تيار مستمر 300 واط ؛ أقصى جهد للإخراج   600 فولت، خرج تيار محدود 500 مللي أمبير

2 、 هدف مغناطيسي: هدف توازن 2 بوصة، مغناطيسي   اقتران يربك؛

3 、 مادة الهدف المناسبة: سمك φ50 مم × 3 مم

4 - حجم التجويف : من الخارج   القطر 194، القطر الداخلي 186 ملم × الارتفاع 230 ملم

5 、 مادة التجويف: 304 الفولاذ المقاوم للصدأ

6 、 عينة التدفئة الدورية   الجدول: تدوير   السرعة 1 ~ 20 دورة في الدقيقة  قابل للتعديل بشكل مستمر؛ أقصى قدر من التدفئة   درجة الحرارة 500 درجة مئوية، و   أدنى معدل تسخين موصى به 10 درجة مئوية/دقيقة   أعلى معدل تسخين موصى به 20 درجة مئوية/دقيقة.

7 、 وضع التبريد: الهدف المغناطيسي و   تتطلب المضخة الجزيئية تعميم مبرد الماء

8 、 آلة تبريد المياه: حجم الخزان 9 لتر ، التدفق   معدل 10 لتر/دقيقة

9. نظام إمداد الغاز: مقياس التدفق الشامل، النوع   غاز الأرجون، التدفق 1 ~ 30 سم مكعب (قابل للتخصيص)

10 、 دقة مقياس التدفق: ± 1.5% نطاق القياس

11 、 واجهة ضخ الهواء   غرفة الفراغ هي KF25

12. واجهة سحب الهواء   وصلة حلقية مزدوجة 1/4 بوصة

13. شاشة لمس 7 بوصة   شاشة ملونة تعمل باللمس

14 、 الاخرق قابل للتعديل   يمكن ضبط القيمة الحالية لسلامة الاخرق وقيمة فراغ الأمان ；

15،  حماية السلامة: التيار الزائد، الفراغ منخفض جدًا   قطع التيار الاخرق تلقائيا

16 、 الفراغ النهائي: 5E-4Pa (مطابقة الجزيئية   مضخة)؛

17- فراغ   القياس هو مقياس فراغ بارانا، النطاق هو: 1 ~ 105Pa

يلاحظ

1، الاخرق المغنطرون   يحتوي على فراغ عمل عالي، بشكل عام ضمن 2Pa، ويجب استخدامه مع الجزيئات   مضخة.

2، من أجل تحقيق أ   بيئة خالية من الأكسجين بدرجة عالية، يجب تنظيف حجرة التفريغ على الأقل 3   مرات مع غاز خامل عالي النقاء.

3، الاخرق المغنطروني   حساس لمدخل الهواء، لذلك هناك حاجة إلى مقياس التدفق الشامل للتحكم في مدخل الهواء

ملحق اختياري

فيلم

مراقب سمك

1، سمك الفيلم   الدقة: 0.0136Å (ألومنيوم)

2، دقة الفيلم   السُمك: ±0.5%   يعتمد على ظروف العملية، وخاصة موضع المستشعر، والضغط المادي،   درجة الحرارة والكثافة  

3 ، سرعة القياس: 100 مللي ثانية-1 ثانية/مرات ، القياس   يمكن ضبط النطاق: 500000Å(الألومنيوم)

4 ، الكريستال الاستشعار القياسي: 6 ميجا هرتز

5، مناسبة للرقاقة   التردد: 6 ميجا هرتز  

مناسبة لحجم الرقاقة: Φ14mm

شفة التركيب: CF35

ملحق آخر

·              1، سلسلة CY-CZK103 عالية الأداء   مجموعة المضخة الجزيئية (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب ونطاق القياس   10-5 باسكال ~ 105 باسكال)

مجموعة المضخات الجزيئية الصغيرة من سلسلة CY-GZK60 (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب ونطاق القياس   10-5 باسكال ~ 102 باسكال)

VRD-4 ريشة دوارة ثنائية القطب   مضخة فراغ

2,KF25 منفاخ فراغ;   يمكن أن يكون الطول 0.5 م أو 1 م أو 1.5 م.قوس المشبك KF40

3، متر سمك الفيلم   مذبذب كرستالى؛