ثلاثة طلاء مغنطروني مستهدف مع غرفة انتقالية لفيلم السيراميك

موديل المنتج

TN-MSP325G-3T-DVC-2DC-1RF

شروط التثبيت

1. درجة حرارة بيئة التشغيل 25 درجة مئوية ± 15 درجة مئوية، الرطوبة 55% ر ± 10% ر؛

2. مصدر طاقة المعدات: AC220V، 50 هرتز، يجب أن يكون مؤرضًا بشكل جيد؛

3. الطاقة المقدرة: 5000 واط؛

4. غاز المعدات: يجب ملء غرفة المعدات بالأرجون للتنظيف، ويحتاج العميل إلى تحضير الأرجون بنقاء ≥99.99%؛

5. حجم المكان هو 1200mm×1200mm×2000mm؛

6. يتطلب وضع التنسيب تهوية جيدة وتبديدًا للحرارة.

المعايير الفنية

1. مصدر طاقة الاخرق: مصدر طاقة تيار مستمر 500 واط × 2 ؛الحد الأقصى لجهد الإخراج 600 فولت، الحد الأقصى لتيار الإخراج 1000 مللي أمبير

2. هدف المغنطرون: هدف متوازن 2 بوصة مع حاجز اقتران مغناطيسي؛

3. المادة المستهدفة القابلة للتطبيق لهدف المغنطرون: مادة الهدف المعدنية الموصلة بسمك φ50mm x 3mm

4. حجم التجويف: التجويف الرئيسي φ325mm x 410mm؛تجويف انتقالي 150x150x150mm

5. وظيفة الغرفة: الغرفة الرئيسية مجهزة بباب جانبي محكم الغلق بحلقة مانعة للتسرب، ونافذة مراقبة كوارتز مع حاجز، وقضيب تشغيل يدوي لنقل العينات.تم تجهيز الغرفة الانتقالية بغطاء علوي مع نافذة كوارتز محكمة الغلق بحلقة مانعة للتسرب، وقضيب دفع اقتران مغناطيسي لنقل العينات إلى الغرفة الرئيسية، ونظام فراغ مستقل.

6. مادة التجويف: الفولاذ المقاوم للصدأ 304

7. جدول عينة التسخين الدوار: السرعة قابلة للتعديل بشكل مستمر من 1 إلى 20 دورة في الدقيقة؛تصل درجة حرارة التسخين إلى 500 درجة مئوية، ويوصى بأن يكون معدل التسخين 10 درجة مئوية/دقيقة، والحد الأقصى لدرجة الحرارة 20 درجة مئوية/دقيقة.

8. طريقة التبريد: يحتاج هدف المغنطرون والمضخة الجزيئية إلى مبرد مياه دائري.

9. مبرد الماء: حجم خزان الماء 9 لتر، معدل التدفق 10 لتر/دقيقة

10. نظام إمداد الغاز: مقياس التدفق الشامل، غاز AR من نوع الغاز، معدل التدفق 1~200cccm (قابل للتخصيص)؛

11. دقة مقياس التدفق: ±1.5% نطاق

12. واجهة الضخ لغرفة الفراغ هي CF160؛

13. واجهة مدخل الهواء عبارة عن وصلة حلقية مزدوجة مقاس 1/4 بوصة؛

14. العرض عبارة عن 14 جهاز كمبيوتر صناعي الكل في واحد.

15. يمكن تعديل تيار الاخرق، ويمكن ضبط قيمة التيار الآمن الاخرق وقيمة الفراغ الآمنة؛

16. حماية السلامة: سيتم قطع تيار الاخرق تلقائيًا عندما يكون التيار الزائد والفراغ منخفضًا جدًا؛

17. نظام التفريغ: الغرفة الرئيسية مجهزة بمجموعة المضخة الجزيئية ذات التفريغ العالي TN-GZK103 مع سرعة ضخ تبلغ 600L/s؛تم تجهيز الغرفة الانتقالية بمضخة جزيئية صغيرة مع سرعة ضخ تبلغ 60 لترًا في الثانية.يمكن لمجموعتي أنظمة التفريغ أن تعمل وتتحكم بشكل مستقل، ويتم التحكم في جميع الصمامات الهوائية بين الغرف وفي نظام التفريغ بواسطة البرامج، والتي يمكن أن تحقق عمل مفتاح واحد، وهو مريح وسريع.

18. الفراغ النهائي: 5E-4Pa (مع مضخة جزيئية)؛

19. قياس الفراغ هو مقياس فراغ مركب، ومداه هو: 10-5Pa~105Pa

احتياطات

1. من أجل تحقيق بيئة خالية من الأكسجين بشكل أعلى، يجب تنظيف غرفة التفريغ بغاز خامل عالي النقاء 3 مرات على الأقل.

2. يعتبر الرش المغنطروني أكثر حساسية لحجم الهواء الداخل، ويجب استخدام مقياس تدفق الكتلة للتحكم في حجم الهواء الداخل.

3. احتفظ بالتجويف في الفراغ عندما لا تكون المعدات قيد الاستخدام.

4. إذا لم يتم تنظيفه بالمكنسة الكهربائية لفترة طويلة، فيجب تفريغه من الغاز عند استخدامه مرة أخرى لتحسين أداء الفراغ.

الملحقات الاختيارية

مراقبة سمك الفيلم

1. دقة سمك الفيلم: 0.0136 أنجستروم (ألومنيوم)

2. دقة سمك الفيلم: ±0.5%، اعتمادًا على ظروف العملية، وخاصة موضع المستشعر، وضغط المادة، ودرجة الحرارة والكثافة

3. سرعة القياس: 100ms-1s/time، يمكن ضبط نطاق القياس: 500000Å (الألومنيوم)

4. كريستال الاستشعار القياسي: 6 ميجا هرتز

5. تردد الرقاقة المطبق: 6MHz حجم الرقاقة المطبق: Φ14mm شفة التركيب: CF35

غيرها من الملحقات

1. مجموعة المضخات الجزيئية عالية الأداء من سلسلة TN-CZK103 (تشمل مقياس الفراغ المركب، نطاق القياس 10-5Pa~105Pa)؛

مجموعة المضخات الجزيئية الصغيرة من سلسلة TN-GZK60 (تشمل مقياس الفراغ المركب، نطاق القياس 10-5Pa~102Pa)

VRD-4 مضخة فراغ دوارة ثنائية القطب؛

2. منفاخ الفراغ KF25/40؛يمكن أن يكون الطول 0.5 م، 1 م، 1.5 م؛قوس المشبك KF25

3. مذبذب كريستالي لمقياس سماكة الفيلم.