| توافر الحالة: | |
|---|---|
| الكمية: | |
TN
مصدر البلازما لطلاء أيونات متعددة القوس
| تجويف | بي بي إن (ن2/ح2) 、الكوارتز (O2/ح2) |
| شفة | ICF114(CF63) |
| هيكل تبريد الماء | يملك |
| الطاقة القصوى | 600 واط |
| تكرار الحدوث | 13.56 ميجا هرتز |
| شفة مدخل الغاز | ICF34 (CF16) |
مصدر البلازما لطلاء أيونات متعددة القوس
| تجويف | بي بي إن (ن2/ح2) 、الكوارتز (O2/ح2) |
| شفة | ICF114(CF63) |
| هيكل تبريد الماء | يملك |
| الطاقة القصوى | 600 واط |
| تكرار الحدوث | 13.56 ميجا هرتز |
| شفة مدخل الغاز | ICF34 (CF16) |