توافر الحالة: | |
---|---|
الكمية: | |
TN
مصدر البلازما لطلاء أيونات متعددة القوس
تجويف | بي بي إن (ن2/ح2) 、الكوارتز (O2/ح2) |
شفة | ICF114(CF63) |
هيكل تبريد الماء | يملك |
الطاقة القصوى | 600 واط |
تكرار الحدوث | 13.56 ميجا هرتز |
شفة مدخل الغاز | ICF34 (CF16) |
مصدر البلازما لطلاء أيونات متعددة القوس
تجويف | بي بي إن (ن2/ح2) 、الكوارتز (O2/ح2) |
شفة | ICF114(CF63) |
هيكل تبريد الماء | يملك |
الطاقة القصوى | 600 واط |
تكرار الحدوث | 13.56 ميجا هرتز |
شفة مدخل الغاز | ICF34 (CF16) |