TN
يتكون مصدر الأيونات من غرفة تفريغ مستقلة ونظام استخلاص أيون مزدوج البوابة.أثناء التشغيل، يتم إدخال الغاز إلى غرفة التفريغ وتأينه لتكوين البلازما.تدخل الأيونات منطقة التسارع ذات البوابة المزدوجة من خلال الغلاف، وتتجمع في شعاع أيوني، ويتم استخلاصها.تعمل الأيونات النشطة بشكل مستمر على سطح الركيزة أو طبقة الفيلم لتحقيق تأثيرات تنظيف السطح وتحسين بنية طبقة الفيلم.
وظيفة المنتج:
1. تحسين قوة الترابط لطبقة الفيلم.2. تحسين كثافة طبقة الفيلم.3. تقليل الامتصاص.4. النقش.5. الاخرق.
سمات:
1. طاقة أيونية عالية: تصل إلى 600 فولت، 1200 فولت، 2000 فولت أو أعلى؛
2. فراغ عمل عالي: يمكن أن يعمل ضمن 10-3Pa لضمان جودة طبقة الفيلم.
3. تأثير كبير: له تأثير كبير في تحسين الكثافة والصلابة ومعامل الانكسار لطبقة الفيلم.
4. سهل الاستخدام: يحل الهيكل الجديد المشاكل الأصلية المتمثلة في التفكيك والصيانة والتركيب للشبكات والأنودات.
5. أداء عالي التكلفة: بالمقارنة مع مصادر أيونات الترددات اللاسلكية، فإن تكاليف السعر والتشغيل والصيانة لهذا المصدر منخفضة جدًا.
المعايير الفنية:
مساعد | نوع الاخرق | |
الطاقة الأيونية | 0--600 (فولت) | 0--1000 /2000(فولت) |
شعاع ايون | 0--100 (مللي أمبير) | 0--100 (مللي أمبير) |
خزانة قابلة للتطبيق | Ø600 (مم، الحد الأقصى) | Ø600 (مم، الحد الأقصى) |
يتكون مصدر الأيونات من غرفة تفريغ مستقلة ونظام استخلاص أيون مزدوج البوابة.أثناء التشغيل، يتم إدخال الغاز إلى غرفة التفريغ وتأينه لتكوين البلازما.تدخل الأيونات منطقة التسارع ذات البوابة المزدوجة من خلال الغلاف، وتتجمع في شعاع أيوني، ويتم استخلاصها.تعمل الأيونات النشطة بشكل مستمر على سطح الركيزة أو طبقة الفيلم لتحقيق تأثيرات تنظيف السطح وتحسين بنية طبقة الفيلم.
وظيفة المنتج:
1. تحسين قوة الترابط لطبقة الفيلم.2. تحسين كثافة طبقة الفيلم.3. تقليل الامتصاص.4. النقش.5. الاخرق.
سمات:
1. طاقة أيونية عالية: تصل إلى 600 فولت، 1200 فولت، 2000 فولت أو أعلى؛
2. فراغ عمل عالي: يمكن أن يعمل ضمن 10-3Pa لضمان جودة طبقة الفيلم.
3. تأثير كبير: له تأثير كبير في تحسين الكثافة والصلابة ومعامل الانكسار لطبقة الفيلم.
4. سهل الاستخدام: يحل الهيكل الجديد المشاكل الأصلية المتمثلة في التفكيك والصيانة والتركيب للشبكات والأنودات.
5. أداء عالي التكلفة: بالمقارنة مع مصادر أيونات الترددات اللاسلكية، فإن تكاليف السعر والتشغيل والصيانة لهذا المصدر منخفضة جدًا.
المعايير الفنية:
مساعد | نوع الاخرق | |
الطاقة الأيونية | 0--600 (فولت) | 0--1000 /2000(فولت) |
شعاع ايون | 0--100 (مللي أمبير) | 0--100 (مللي أمبير) |
خزانة قابلة للتطبيق | Ø600 (مم، الحد الأقصى) | Ø600 (مم، الحد الأقصى) |
