TN
يستخدم المصدر مغناطيسًا دائمًا لتوليد مجال مغناطيسي متباعد بتدرج كبير على طول الاتجاه المحوري بالقرب من الأنود، وتحت تأثير تيار هول الحلقي، يتم تسريع الأيونات على طول الاتجاه المحوري لتكوين شعاع أيوني.لذلك، يُطلق على هذا المصدر غالبًا اسم مصدر أيون هول.
وظيفة المنتج:
1. تحسين قوة الترابط لطبقة الفيلم:
2. تقليل الامتصاص :
3. تحسين كثافة طبقة الفيلم:
سمات:
1. طاقة منخفضة 2. كثافة تيار شعاع أيون عالية 3. مساحة موحدة كبيرة 4. سهولة الاستخدام 5. فعالية عالية من حيث التكلفة.
المعايير الفنية:
تسريح الجهد االكهربى | 100-200 (الخامس) |
تسريح حاضِر | 0--3 (أ) |
ملائم خزانة | Ø600 (مم، ماكس) |
يستخدم المصدر مغناطيسًا دائمًا لتوليد مجال مغناطيسي متباعد بتدرج كبير على طول الاتجاه المحوري بالقرب من الأنود، وتحت تأثير تيار هول الحلقي، يتم تسريع الأيونات على طول الاتجاه المحوري لتكوين شعاع أيوني.لذلك، يُطلق على هذا المصدر غالبًا اسم مصدر أيون هول.
وظيفة المنتج:
1. تحسين قوة الترابط لطبقة الفيلم:
2. تقليل الامتصاص :
3. تحسين كثافة طبقة الفيلم:
سمات:
1. طاقة منخفضة 2. كثافة تيار شعاع أيون عالية 3. مساحة موحدة كبيرة 4. سهولة الاستخدام 5. فعالية عالية من حيث التكلفة.
المعايير الفنية:
تسريح الجهد االكهربى | 100-200 (الخامس) |
تسريح حاضِر | 0--3 (أ) |
ملائم خزانة | Ø600 (مم، ماكس) |
