| الكمية: | |
|---|---|
TN-MSP325S-2DCRF
TN
يوفر هذا الطلاء المغنطروني عالي الفراغ ذو الثلاثة رؤوس DC / RF تقنية متقدمة وتحكمًا دقيقًا لترسيب الأفلام بكفاءة ودقة.بفضل بيئة الفراغ العالية، فإنه يضمن عملية طلاء نظيفة وخالية من التلوث.
تم تجهيز جهاز الطلاء بثلاثة رؤوس رش مغناطيسية، مما يسمح بالترسيب المتزامن لطبقات متعددة.يتيح ذلك إنتاج أفلام معقدة متعددة الطبقات مع التحكم الدقيق في السُمك والتركيب.
تتميز بنظام تفريغ عالي الجودة، فإن آلة الطلاء هذه تضمن تجانس والتصاق ممتاز للفيلم.توفر رؤوس الرش تفريغًا ثابتًا ومتسقًا للبلازما، مما يؤدي إلى كثافة عالية للفيلم ومسامية منخفضة.
المعدات سهلة الاستخدام وتأتي مع واجهة مستخدم تتيح سهولة التشغيل والتحكم.إنه يوفر أوضاع ترسيب مختلفة، بما في ذلك رذاذ DC وRF، مما يتيح المرونة في إعداد الفيلم.
مع بنيتها القوية وأدائها الموثوق، فإن آلة الطلاء هذه مناسبة لمختبرات البحث والتطوير، بالإضافة إلى مرافق الإنتاج الصناعي.إنه يوفر حلاً فعالاً من حيث التكلفة لتصنيع الأفلام الضوئية متعددة الطبقات SiO2/Ta2O5 ذات الخصائص البصرية الممتازة.
باختصار، إن جهاز الطلاء بالرش المغنطروني ذو الثلاثة رؤوس DC/RF عبارة عن معدات ذات درجة احترافية توفر ترسيبًا دقيقًا وفعالاً للأفلام الضوئية متعددة الطبقات SiO2/Ta2O5.تجعل ميزاته المتقدمة وواجهته سهلة الاستخدام خيارًا مثاليًا لتطبيقات الأغشية الرقيقة المختلفة.
المعلمات التقنية لطلاء الرش المغنطروني ：
مرحلة العينة | مقاس | ضياء 140 ملم |
درجة حرارة التدفئة | ماكس 500 درجة مئوية | |
دقة درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية | |
سرعة الدوران | 1-20 دورة في الدقيقة قابل للتعديل | |
رئيس الاخرق المغنطرون | كمية | 2'×3 (1'،2' اختياري) |
وضع التبريد | تبريد الماء | |
براد مياه | مبرد الماء المتداول بمعدل تدفق 10 لتر / دقيقة | |
غرفة فراغ | حجم الغرفة | ضياء 300 مم × 300 مم |
مادة الغرفة | الفولاذ المقاوم للصدأ | |
نافذة المراقبة | ضياء 100 ملم | |
وضع الفتح | الغطاء العلوي مفتوح | |
تدفق متر الشامل | 2 قنوات؛نطاق القياس 100SCCM؛100SCCM (يمكن تخصيصها وفقًا لاحتياجات العملاء) | |
نظام الشفط | نموذج | تن-GZK103-أ |
مضخة جزيئية | TN-600 | |
مضخة دعم | مضخة دوارة دوارة | |
فراغ نهائي | 1.0E-5Pa | |
واجهة الضخ | سي إف 160 | |
واجهة العادم | KF40 | |
قياس الفراغ | مقياس الفراغ المركب | |
مزود الطاقة | التيار المتردد ؛ 220 فولت 50/60 هرتز | |
معدل الضخ | المضخة الجزيئية: 600L/S مضخة دوارة دوارة: 1.1L/S أداء شامل لضخ الغاز: تفريغ ما يصل إلى 1.0E-3Pa في 20 دقيقة | |
تكوين الطاقة | كمية | مصدر طاقة تيار مستمر × 2 مصدر طاقة الترددات اللاسلكية × 1 |
ماكس انتاج الطاقة | تيار مستمر 500 واط، تردد لاسلكي 500 واط | |
معلمات أخرى | مصدر التيار | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز |
إجمالي الطاقة | 4 كيلو واط | |
الحجم الكلي | 600 مم × 650 مم × 1280 مم | |
الوزن الكلي | حوالي 300 كجم | |
يوفر هذا الطلاء المغنطروني عالي الفراغ ذو الثلاثة رؤوس DC / RF تقنية متقدمة وتحكمًا دقيقًا لترسيب الأفلام بكفاءة ودقة.بفضل بيئة الفراغ العالية، فإنه يضمن عملية طلاء نظيفة وخالية من التلوث.
تم تجهيز جهاز الطلاء بثلاثة رؤوس رش مغناطيسية، مما يسمح بالترسيب المتزامن لطبقات متعددة.يتيح ذلك إنتاج أفلام معقدة متعددة الطبقات مع التحكم الدقيق في السُمك والتركيب.
تتميز بنظام تفريغ عالي الجودة، فإن آلة الطلاء هذه تضمن تجانس والتصاق ممتاز للفيلم.توفر رؤوس الرش تفريغًا ثابتًا ومتسقًا للبلازما، مما يؤدي إلى كثافة عالية للفيلم ومسامية منخفضة.
المعدات سهلة الاستخدام وتأتي مع واجهة مستخدم تتيح سهولة التشغيل والتحكم.إنه يوفر أوضاع ترسيب مختلفة، بما في ذلك رذاذ DC وRF، مما يتيح المرونة في إعداد الفيلم.
مع بنيتها القوية وأدائها الموثوق، فإن آلة الطلاء هذه مناسبة لمختبرات البحث والتطوير، بالإضافة إلى مرافق الإنتاج الصناعي.إنه يوفر حلاً فعالاً من حيث التكلفة لتصنيع الأفلام الضوئية متعددة الطبقات SiO2/Ta2O5 ذات الخصائص البصرية الممتازة.
باختصار، إن جهاز الطلاء بالرش المغنطروني ذو الثلاثة رؤوس DC/RF عبارة عن معدات ذات درجة احترافية توفر ترسيبًا دقيقًا وفعالاً للأفلام الضوئية متعددة الطبقات SiO2/Ta2O5.تجعل ميزاته المتقدمة وواجهته سهلة الاستخدام خيارًا مثاليًا لتطبيقات الأغشية الرقيقة المختلفة.
المعلمات التقنية لطلاء الرش المغنطروني ：
مرحلة العينة | مقاس | ضياء 140 ملم |
درجة حرارة التدفئة | ماكس 500 درجة مئوية | |
دقة درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية | |
سرعة الدوران | 1-20 دورة في الدقيقة قابل للتعديل | |
رئيس الاخرق المغنطرون | كمية | 2'×3 (1'،2' اختياري) |
وضع التبريد | تبريد الماء | |
براد مياه | مبرد الماء المتداول بمعدل تدفق 10 لتر / دقيقة | |
غرفة فراغ | حجم الغرفة | ضياء 300 مم × 300 مم |
مادة الغرفة | الفولاذ المقاوم للصدأ | |
نافذة المراقبة | ضياء 100 ملم | |
وضع الفتح | الغطاء العلوي مفتوح | |
تدفق متر الشامل | 2 قنوات؛نطاق القياس 100SCCM؛100SCCM (يمكن تخصيصها وفقًا لاحتياجات العملاء) | |
نظام الشفط | نموذج | تن-GZK103-أ |
مضخة جزيئية | TN-600 | |
مضخة دعم | مضخة دوارة دوارة | |
فراغ نهائي | 1.0E-5Pa | |
واجهة الضخ | سي إف 160 | |
واجهة العادم | KF40 | |
قياس الفراغ | مقياس الفراغ المركب | |
مزود الطاقة | التيار المتردد ؛ 220 فولت 50/60 هرتز | |
معدل الضخ | المضخة الجزيئية: 600L/S مضخة دوارة دوارة: 1.1L/S أداء شامل لضخ الغاز: تفريغ ما يصل إلى 1.0E-3Pa في 20 دقيقة | |
تكوين الطاقة | كمية | مصدر طاقة تيار مستمر × 2 مصدر طاقة الترددات اللاسلكية × 1 |
ماكس انتاج الطاقة | تيار مستمر 500 واط، تردد لاسلكي 500 واط | |
معلمات أخرى | مصدر التيار | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز |
إجمالي الطاقة | 4 كيلو واط | |
الحجم الكلي | 600 مم × 650 مم × 1280 مم | |
الوزن الكلي | حوالي 300 كجم | |
