| الكمية: | |
|---|---|
TN-VTC-3DC
TN
TN-VTC-3DC عبارة عن نظام رش مغنطروني بلازما ثلاثي الرؤوس مقاس 2 بوصة مصمم لطلاء الأغشية الرقيقة غير المعدنية، بشكل أساسي للأغشية الرقيقة من الأكسيد متعدد الطبقات. وهو المغطى الأكثر فعالية من حيث التكلفة للبحث في الجيل الجديد من الأكسيد الرقيق يتوفر خيار رش المغنطرون DC عند الطلب لترسيب الأفلام المعدنية، مما يتيح تكوينات رأس الرش بالتيار المستمر، وواحد RF / اثنين DC، ورأسين RF / واحد DC.
يمكن استخدام هذا الجهاز لتحضير الأغشية الرقيقة الكهروضوئية أحادية الطبقة أو متعددة الطبقات، والأغشية الموصلة، وأغشية السبائك، وأغشية أشباه الموصلات، والأفلام الخزفية، والأفلام العازلة، والأفلام البصرية، وأفلام الأكسيد، والأفلام الصلبة، وأفلام PTFE، وما شابه ذلك.بالمقارنة مع المعدات المماثلة، فإن آلة الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثية الأهداف هذه لا تستخدم على نطاق واسع فحسب، بل تتميز أيضًا بمزايا الحجم الصغير والتشغيل السهل، وهي معدات مثالية لإعداد أفلام المواد في المختبر
نظام الرش بالبلازما المغنطرون RF المعايير الفنية：
مدخل الطاقة | · مرحلة واحدة 110 فولت تيار متردد، 50/60 هرتز |
رأس الرش المغنطروني | · ثلاثة رشاشات مغناطيسية مقاس 2 بوصة يتم تضمين الرؤوس المزودة بسترات تبريد المياه وإدخالها في الكوارتز الغرفة عبر المشابك السريعة |
الهدف الاخرق | · متطلبات الحجم المستهدف: 2' القطر × 1/8 بوصة سمك كحد أقصى |
غرفة فراغ | · غرفة مفرغة: 300 مم OD × 500 ارتفاع ملم، مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ |
حامل العينة | · حامل العينة قابل للتدوير و مرحلة قابلة للتسخين مصنوعة من سخان السيراميك مع غطاء من الفولاذ المقاوم للصدأ |
مضخة فراغ | · تم بناء منفذ فراغ KF40 ل الاتصال بمضخة فراغ. |
مقاس | 540 ملم طول × 540 ملم عرض × 1000 ملم ارتفاع |
التعبئة وزن | حوالي 145 كجم |
ضمان | ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع مدى الحياة يدعم |
سواء لدعم التخصيص | نعم |
TN-VTC-3DC عبارة عن نظام رش مغنطروني بلازما ثلاثي الرؤوس مقاس 2 بوصة مصمم لطلاء الأغشية الرقيقة غير المعدنية، بشكل أساسي للأغشية الرقيقة من الأكسيد متعدد الطبقات. وهو المغطى الأكثر فعالية من حيث التكلفة للبحث في الجيل الجديد من الأكسيد الرقيق يتوفر خيار رش المغنطرون DC عند الطلب لترسيب الأفلام المعدنية، مما يتيح تكوينات رأس الرش بالتيار المستمر، وواحد RF / اثنين DC، ورأسين RF / واحد DC.
يمكن استخدام هذا الجهاز لتحضير الأغشية الرقيقة الكهروضوئية أحادية الطبقة أو متعددة الطبقات، والأغشية الموصلة، وأغشية السبائك، وأغشية أشباه الموصلات، والأفلام الخزفية، والأفلام العازلة، والأفلام البصرية، وأفلام الأكسيد، والأفلام الصلبة، وأفلام PTFE، وما شابه ذلك.بالمقارنة مع المعدات المماثلة، فإن آلة الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثية الأهداف هذه لا تستخدم على نطاق واسع فحسب، بل تتميز أيضًا بمزايا الحجم الصغير والتشغيل السهل، وهي معدات مثالية لإعداد أفلام المواد في المختبر
نظام الرش بالبلازما المغنطرون RF المعايير الفنية：
مدخل الطاقة | · مرحلة واحدة 110 فولت تيار متردد، 50/60 هرتز |
رأس الرش المغنطروني | · ثلاثة رشاشات مغناطيسية مقاس 2 بوصة يتم تضمين الرؤوس المزودة بسترات تبريد المياه وإدخالها في الكوارتز الغرفة عبر المشابك السريعة |
الهدف الاخرق | · متطلبات الحجم المستهدف: 2' القطر × 1/8 بوصة سمك كحد أقصى |
غرفة فراغ | · غرفة مفرغة: 300 مم OD × 500 ارتفاع ملم، مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ |
حامل العينة | · حامل العينة قابل للتدوير و مرحلة قابلة للتسخين مصنوعة من سخان السيراميك مع غطاء من الفولاذ المقاوم للصدأ |
مضخة فراغ | · تم بناء منفذ فراغ KF40 ل الاتصال بمضخة فراغ. |
مقاس | 540 ملم طول × 540 ملم عرض × 1000 ملم ارتفاع |
التعبئة وزن | حوالي 145 كجم |
ضمان | ضمان محدود لمدة سنة واحدة مع مدى الحياة يدعم |
سواء لدعم التخصيص | نعم |
