هدف واحد DC المغنطرون الاخرق المغطي مع غرفة الفولاذ المقاوم للصدأ فراغ عالية لأفلام السبائك

مرحلة العينة

Dimensions

φ185 ملم

نطاق التدفئة

درجة حرارة الغرفة ～ 500 درجة مئوية

سرعة قابلة للتعديل

1-20 دورة في الدقيقة قابل للتعديل

magnetic

يتحكم

هدف

بندقية

الطائرة المستهدفة

هدف الطائرة الدائرية

فراغ الاخرق

10 باسكال ～ 0.2 باسكال

القطر المستهدف

50~50.8 ملم

سمك الهدف

2 ~ 5 ملم

جهد العزل

> 2000 فولت

مواصفات الكابل

إس إل-16

درجة حرارة الرأس المستهدفة

≦65 درجة مئوية

حقيقي

باطل

تجويف

جسم

معالجة الجدار الداخلي

تلميع كهربائيا

حجم التجويف

φ300 مم × 300 مم

مادة التجويف

304 الفولاذ المقاوم للصدأ

نافذة المراقبة

نافذة كوارتز، قطر φ100 مم

طريقة مفتوحة

فتحة علوية، دعم إضافي للأسطوانة

غاز

جسم

يتحكم

نظام

التحكم في التدفق

مقياس التدفق الشامل، نطاق 0 ~ 200SCCM غاز الأرجون

نوع صمام التحكم

صمام الملف اللولبي

حالة صمام التحكم ثابتة

عادة مغلقة

قياس الخطية

± 1.5% فس

تكرار القياس

±0.2% فس

قياس زمن الاستجابة

≥8 ثانية (T95)

نطاق ضغط العمل

0.3 ميجا باسكال

ضغط جسم الصمام

3MPa

درجة حرارة العمل

(5~45) درجة مئوية

مادة الجسم

الفولاذ المقاوم للصدأ 316L

معدل تسرب جسم الصمام

1×10-8Pa.m3/s

مفاصل الأنابيب

1/4 بوصة تركيب ضغط

إشارة الإدخال والإخراج

0 ~ 5 فولت

مزود الطاقة

± 15 فولت (± 5٪) (+ 15 فولت  50 مللي أمبير،  -15 فولت  200 مللي أمبير)

الأبعاد الكلية مم

130 (عرض) × 102 (ارتفاع) × 28 (سمك)

واجهة الاتصالات

بروتوكول مودبوس RS485

DC امدادات الطاقة

قوة

500 واط

الجهد الناتج

0 ~ 600 فولت

طول التوقيت

65000 ثانية

وقت البدء

1 ~ 10 ثانية

قياس سماكة الفيلم

متطلبات الطاقة

تيار مستمر: 5 فولت (± 10%)  الحد الأقصى الحالي 400mA

دقة

±0.03 هرتز (5-6 ميجا هرتز)، 0.0136 أنجستروم / القياس (ألومنيوم)

دقة القياس

±0.5% سُمك + عدد واحد

فترة القياس

100 مللي ثانية ～ 1 ثانية/الوقت (يمكن ضبطها)

نطاق القياس

500000 Å (ألومنيوم)

تردد كريستال

6 ميجا هرتز

واجهة الاتصالات

 RS-232/485 الواجهة التسلسلية

عرض الأرقام

شاشة LED مكونة من 8 أرقام

مضخة جزيئية

سرعة ضخ المضخة الجزيئية

80 لتر/ثانية

تصنيف سريع

65000 دورة في الدقيقة

قيمة الاهتزاز

≦0.1um

وقت البدء

≦4.5 دقيقة

التوقف

<7 دقيقة

طريقة التبريد

تبريد الهواء

درجة حرارة ماء التبريد

≦37 درجة مئوية

معدل تدفق مياه التبريد

1 لتر/دقيقة

اتجاه التثبيت

عمودي ±5°

منفذ الشفط

150CF

اتصال العادم

KF40

مضخة أمامية

معدل الضخ

1.1 لتر/ثانية (VRD-4)

فراغ نهائي

5 × 10-2 باسكال

مزود الطاقة

التيار المتردد: 220 فولت/50 هرتز

قوة

400 واط

ضوضاء

≦56 ديسيبل

منفذ الشفط

KF40

اتصال العادم

KF25

افتح الصمام

يتم تركيب صمام إطلاق الهواء الهوائي والمتحكم فيه إلكترونيًا على غرفة التفريغ

الفراغ النهائي للآلة بأكملها

≦5×10-4Pa

معدل تعزيز غرفة فراغ

≦2.5 باسكال/ساعة

نظام البرمجيات

1 مجموعة من برامج المراقبة والإدارة

هدف الاختبار

عدد 2 هدف من النحاس بقطر 2 بوصة وسمك 3 مم