| الكمية: | |
|---|---|
TN-MSP500S-DC
TN
تم تصميم هذا الطلاء ذو الفراغ العالي ذو الهدف الواحد DC Magnetron Sputtering Coater للمحترفين الذين يحتاجون إلى ترسيب أغشية رقيقة دقيقة وعالية الجودة.بفضل تقنيتها المتقدمة، فهي تسمح بتحضير الأغشية الرقيقة الكهروضوئية ذات الطبقة الواحدة أو الطبقات المتعددة، والأغشية الموصلة، وأغشية السبائك، وأغشية أشباه الموصلات، وأغشية السيراميك، والمزيد.
تضمن الحجرة المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ الموجودة في هذا الطلاء التوصيل الأمثل، مما يوفر بيئة مستقرة وموثوقة لعملية الترسيب.تسمح قدرتها العالية على التفريغ بإزالة الشوائب، مما ينتج عنه أغشية رقيقة نظيفة ونقية.
مُجهزة بنظام الرش المغنطروني DC ذو هدف واحد، فإن ماكينة الطلاء هذه تقدم ترسيبًا دقيقًا وموحدًا للفيلم.فهو يسمح بالتحكم السهل في معلمات الترسيب، مثل معدل الترسيب والسمك والتركيب، مما يضمن إمكانية التكرار والدقة.
يعتبر طلاء الرش المغنطروني عالي الفراغ ذو الهدف الواحد DC سهل الاستخدام وسهل التشغيل.ويتميز بواجهة سهلة الاستخدام تتيح التحكم والمراقبة المريحة لعملية الترسيب.تصميمها المدمج يجعلها مناسبة لكل من الإعدادات المختبرية والصناعية.
سواء كنت تعمل في مجال البحث والتطوير، أو علوم المواد، أو أي مجال آخر يتطلب ترسيب الأغشية الرقيقة، فإن آلة الطلاء هذه هي الخيار المثالي.يضمن أدائها الاحترافي والموثوق نتائج ممتازة ويلبي أعلى معايير الجودة والدقة.
استثمر في طبقة الطلاء بالرش المغنطرون ذات الهدف الواحد ذات الفراغ العالي والمزودة بغرفة من الفولاذ المقاوم للصدأ للتوصيل اليوم واستمتع بتجربة ترسيب الأغشية الرقيقة بكفاءة ودقة لم يسبق لها مثيل.
المعلمات التقنية لطلاء الرش المغنطروني ذو الهدف الواحد:
أداة طلاء الرش المغنطروني ذات الهدف الواحد | ||
مرحلة العينة | Dimensions | φ185 ملم |
نطاق التدفئة | درجة حرارة الغرفة ～ 500 درجة مئوية | |
سرعة قابلة للتعديل | 1-20 دورة في الدقيقة قابل للتعديل | |
magnetic يتحكم هدف بندقية | الطائرة المستهدفة | هدف الطائرة الدائرية |
فراغ الاخرق | 10 باسكال ～ 0.2 باسكال | |
القطر المستهدف | 50~50.8 ملم | |
سمك الهدف | 2 ~ 5 ملم | |
جهد العزل | > 2000 فولت | |
مواصفات الكابل | إس إل-16 | |
درجة حرارة الرأس المستهدفة | ≦65 درجة مئوية | |
حقيقي باطل تجويف جسم | معالجة الجدار الداخلي | تلميع كهربائيا |
حجم التجويف | φ300 مم × 300 مم | |
مادة التجويف | 304 الفولاذ المقاوم للصدأ | |
نافذة المراقبة | نافذة كوارتز، قطر φ100 مم | |
طريقة مفتوحة | فتحة علوية، دعم إضافي للأسطوانة | |
غاز جسم يتحكم نظام | التحكم في التدفق | مقياس التدفق الشامل، نطاق 0 ~ 200SCCM غاز الأرجون |
نوع صمام التحكم | صمام الملف اللولبي | |
حالة صمام التحكم ثابتة | عادة مغلقة | |
قياس الخطية | ± 1.5% فس | |
تكرار القياس | ±0.2% فس | |
قياس زمن الاستجابة | ≥8 ثانية (T95) | |
نطاق ضغط العمل | 0.3 ميجا باسكال | |
ضغط جسم الصمام | 3MPa | |
درجة حرارة العمل | (5~45) درجة مئوية | |
مادة الجسم | الفولاذ المقاوم للصدأ 316L | |
معدل تسرب جسم الصمام | 1×10-8Pa.m3/s | |
مفاصل الأنابيب | 1/4 بوصة تركيب ضغط | |
إشارة الإدخال والإخراج | 0 ~ 5 فولت | |
مزود الطاقة | ± 15 فولت (± 5٪) (+ 15 فولت 50 مللي أمبير، -15 فولت 200 مللي أمبير) | |
الأبعاد الكلية مم | 130 (عرض) × 102 (ارتفاع) × 28 (سمك) | |
واجهة الاتصالات | بروتوكول RS485 مودبوس | |
DC امدادات الطاقة | قوة | 500 واط |
الجهد الناتج | 0 ~ 600 فولت | |
طول التوقيت | 65000 ثانية | |
وقت البدء | 1 ~ 10 ثانية | |
قياس سماكة الفيلم | متطلبات الطاقة | تيار مستمر: 5 فولت (± 10%) الحد الأقصى الحالي 400mA |
دقة | ±0.03 هرتز (5-6 ميجا هرتز)، 0.0136 أنجستروم / القياس (ألومنيوم) | |
دقة القياس | ±0.5% سُمك + عدد واحد | |
فترة القياس | 100 مللي ثانية ～ 1 ثانية/الوقت (يمكن ضبطها) | |
نطاق القياس | 500000 Å (ألومنيوم) | |
تردد كريستال | 6 ميجا هرتز | |
واجهة الاتصالات | RS-232/485 الواجهة التسلسلية | |
عرض الأرقام | شاشة LED مكونة من 8 أرقام | |
مضخة جزيئية | سرعة ضخ المضخة الجزيئية | 80 لتر/ثانية |
تصنيف سريع | 65000 دورة في الدقيقة | |
قيمة الاهتزاز | ≦0.1um | |
وقت البدء | ≦4.5 دقيقة | |
التوقف | <7 دقيقة | |
طريقة التبريد | تبريد الهواء | |
درجة حرارة ماء التبريد | ≦37 درجة مئوية | |
معدل تدفق مياه التبريد | 1 لتر/دقيقة | |
اتجاه التثبيت | عمودي ±5° | |
منفذ الشفط | 150CF | |
اتصال العادم | KF40 | |
مضخة أمامية | معدل الضخ | 1.1 لتر/ثانية (VRD-4) |
فراغ نهائي | 5 × 10-2 باسكال | |
مزود الطاقة | التيار المتردد: 220 فولت/50 هرتز | |
قوة | 400 واط | |
ضوضاء | ≦56 ديسيبل | |
منفذ الشفط | KF40 | |
اتصال العادم | KF25 | |
افتح الصمام | يتم تركيب صمام إطلاق الهواء الهوائي والمتحكم فيه إلكترونيًا على غرفة التفريغ | |
الفراغ النهائي للآلة بأكملها | ≦5×10-4Pa | |
معدل تعزيز غرفة فراغ | ≦2.5 باسكال/ساعة | |
نظام البرمجيات | 1 مجموعة من برامج المراقبة والإدارة | |
هدف الاختبار | عدد 2 هدف من النحاس بقطر 2 بوصة وسمك 3 مم | |
تم تصميم هذا الطلاء ذو الفراغ العالي ذو الهدف الواحد DC Magnetron Sputtering Coater للمحترفين الذين يحتاجون إلى ترسيب أغشية رقيقة دقيقة وعالية الجودة.بفضل تقنيتها المتقدمة، فهي تسمح بتحضير الأغشية الرقيقة الكهروضوئية ذات الطبقة الواحدة أو الطبقات المتعددة، والأغشية الموصلة، وأغشية السبائك، وأغشية أشباه الموصلات، وأغشية السيراميك، والمزيد.
تضمن الحجرة المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ الموجودة في هذا الطلاء التوصيل الأمثل، مما يوفر بيئة مستقرة وموثوقة لعملية الترسيب.تسمح قدرتها العالية على التفريغ بإزالة الشوائب، مما ينتج عنه أغشية رقيقة نظيفة ونقية.
مُجهزة بنظام الرش المغنطروني DC ذو هدف واحد، فإن ماكينة الطلاء هذه تقدم ترسيبًا دقيقًا وموحدًا للفيلم.فهو يسمح بالتحكم السهل في معلمات الترسيب، مثل معدل الترسيب والسمك والتركيب، مما يضمن إمكانية التكرار والدقة.
يعتبر طلاء الرش المغنطروني عالي الفراغ ذو الهدف الواحد DC سهل الاستخدام وسهل التشغيل.ويتميز بواجهة سهلة الاستخدام تتيح التحكم والمراقبة المريحة لعملية الترسيب.تصميمها المدمج يجعلها مناسبة لكل من الإعدادات المختبرية والصناعية.
سواء كنت تعمل في مجال البحث والتطوير، أو علوم المواد، أو أي مجال آخر يتطلب ترسيب الأغشية الرقيقة، فإن آلة الطلاء هذه هي الخيار المثالي.يضمن أدائها الاحترافي والموثوق نتائج ممتازة ويلبي أعلى معايير الجودة والدقة.
استثمر في طبقة الطلاء بالرش المغنطرون ذات الهدف الواحد ذات الفراغ العالي والمزودة بغرفة من الفولاذ المقاوم للصدأ للتوصيل اليوم واستمتع بتجربة ترسيب الأغشية الرقيقة بكفاءة ودقة لم يسبق لها مثيل.
المعلمات التقنية لطلاء الرش المغنطروني ذو الهدف الواحد:
أداة طلاء الرش المغنطروني ذات الهدف الواحد | ||
مرحلة العينة | Dimensions | φ185 ملم |
نطاق التدفئة | درجة حرارة الغرفة ～ 500 درجة مئوية | |
سرعة قابلة للتعديل | 1-20 دورة في الدقيقة قابل للتعديل | |
magnetic يتحكم هدف بندقية | الطائرة المستهدفة | هدف الطائرة الدائرية |
فراغ الاخرق | 10 باسكال ～ 0.2 باسكال | |
القطر المستهدف | 50~50.8 ملم | |
سمك الهدف | 2 ~ 5 ملم | |
جهد العزل | > 2000 فولت | |
مواصفات الكابل | إس إل-16 | |
درجة حرارة الرأس المستهدفة | ≦65 درجة مئوية | |
حقيقي باطل تجويف جسم | معالجة الجدار الداخلي | تلميع كهربائيا |
حجم التجويف | φ300 مم × 300 مم | |
مادة التجويف | 304 الفولاذ المقاوم للصدأ | |
نافذة المراقبة | نافذة كوارتز، قطر φ100 مم | |
طريقة مفتوحة | فتحة علوية، دعم إضافي للأسطوانة | |
غاز جسم يتحكم نظام | التحكم في التدفق | مقياس التدفق الشامل، نطاق 0 ~ 200SCCM غاز الأرجون |
نوع صمام التحكم | صمام الملف اللولبي | |
حالة صمام التحكم ثابتة | عادة مغلقة | |
قياس الخطية | ± 1.5% فس | |
تكرار القياس | ±0.2% فس | |
قياس زمن الاستجابة | ≥8 ثانية (T95) | |
نطاق ضغط العمل | 0.3 ميجا باسكال | |
ضغط جسم الصمام | 3MPa | |
درجة حرارة العمل | (5~45) درجة مئوية | |
مادة الجسم | الفولاذ المقاوم للصدأ 316L | |
معدل تسرب جسم الصمام | 1×10-8Pa.m3/s | |
مفاصل الأنابيب | 1/4 بوصة تركيب ضغط | |
إشارة الإدخال والإخراج | 0 ~ 5 فولت | |
مزود الطاقة | ± 15 فولت (± 5٪) (+ 15 فولت 50 مللي أمبير، -15 فولت 200 مللي أمبير) | |
الأبعاد الكلية مم | 130 (عرض) × 102 (ارتفاع) × 28 (سمك) | |
واجهة الاتصالات | بروتوكول RS485 مودبوس | |
DC امدادات الطاقة | قوة | 500 واط |
الجهد الناتج | 0 ~ 600 فولت | |
طول التوقيت | 65000 ثانية | |
وقت البدء | 1 ~ 10 ثانية | |
قياس سماكة الفيلم | متطلبات الطاقة | تيار مستمر: 5 فولت (± 10%) الحد الأقصى الحالي 400mA |
دقة | ±0.03 هرتز (5-6 ميجا هرتز)، 0.0136 أنجستروم / القياس (ألومنيوم) | |
دقة القياس | ±0.5% سُمك + عدد واحد | |
فترة القياس | 100 مللي ثانية ～ 1 ثانية/الوقت (يمكن ضبطها) | |
نطاق القياس | 500000 Å (ألومنيوم) | |
تردد كريستال | 6 ميجا هرتز | |
واجهة الاتصالات | RS-232/485 الواجهة التسلسلية | |
عرض الأرقام | شاشة LED مكونة من 8 أرقام | |
مضخة جزيئية | سرعة ضخ المضخة الجزيئية | 80 لتر/ثانية |
تصنيف سريع | 65000 دورة في الدقيقة | |
قيمة الاهتزاز | ≦0.1um | |
وقت البدء | ≦4.5 دقيقة | |
التوقف | <7 دقيقة | |
طريقة التبريد | تبريد الهواء | |
درجة حرارة ماء التبريد | ≦37 درجة مئوية | |
معدل تدفق مياه التبريد | 1 لتر/دقيقة | |
اتجاه التثبيت | عمودي ±5° | |
منفذ الشفط | 150CF | |
اتصال العادم | KF40 | |
مضخة أمامية | معدل الضخ | 1.1 لتر/ثانية (VRD-4) |
فراغ نهائي | 5 × 10-2 باسكال | |
مزود الطاقة | التيار المتردد: 220 فولت/50 هرتز | |
قوة | 400 واط | |
ضوضاء | ≦56 ديسيبل | |
منفذ الشفط | KF40 | |
اتصال العادم | KF25 | |
افتح الصمام | يتم تركيب صمام إطلاق الهواء الهوائي والمتحكم فيه إلكترونيًا على غرفة التفريغ | |
الفراغ النهائي للآلة بأكملها | ≦5×10-4Pa | |
معدل تعزيز غرفة فراغ | ≦2.5 باسكال/ساعة | |
نظام البرمجيات | 1 مجموعة من برامج المراقبة والإدارة | |
هدف الاختبار | عدد 2 هدف من النحاس بقطر 2 بوصة وسمك 3 مم | |
