| الكمية: | |
|---|---|
TN-MSP325G-2T-DVC-2DC
TN
تم تصميم طبقة الطلاء المغنطرونية ذات الهدف المزدوج لتوفير طلاء متساوٍ وموحد لعينات SEM المختبرية.بفضل نظام الهدف المزدوج، فإنه يسمح بالترسيب المتزامن للمواد المختلفة، مما يتيح إنشاء هياكل معقدة متعددة الطبقات.هذه الميزة مفيدة بشكل خاص لدراسة خصائص وسلوك الأغشية الرقيقة المختلفة.
تستخدم آلة الطلاء تكنولوجيا الرش بالمغنطرون DC، والتي تضمن معدلات ترسيب عالية وجودة ممتازة للفيلم.تتضمن عملية الرش قصف المادة المستهدفة بأيونات عالية الطاقة، مما يتسبب في قذف الذرات وترسيبها على الركيزة.وينتج عن ذلك طبقة كثيفة وملتصقة مع تحكم دقيق في السُمك والتركيب.
تسهل الغرفة الانتقالية المضمنة في هذا المغطى نقل العينات المطلية إلى SEM دون التعرض للهواء، مما يقلل من خطر التلوث.وهذا أمر بالغ الأهمية للحفاظ على سلامة العينات والحصول على نتائج تحليل دقيقة.تم تصميم الغرفة بواجهة سهلة الاستخدام، مما يسمح بسهولة تحميل وتفريغ العينات.
بفضل بنيتها القوية وميزاتها المتقدمة، تعد طبقة الطلاء بالرش المغنطروني ذات الهدف المزدوج المزودة بغرفة انتقالية أداة أساسية للباحثين والعلماء الذين يعملون في مجال الأغشية الرقيقة.فهو يوفر إمكانات طلاء دقيقة وموثوقة، مما يتيح إنتاج عينات عالية الجودة لمجموعة واسعة من التطبيقات.سواء في الأوساط الأكاديمية أو الصناعية، يعد هذا الطلاء أحد الأصول القيمة لأي مختبر يسعى إلى تطوير أبحاثه في علوم المواد والمجالات ذات الصلة.
هدف مزدوج المغنطرون الاخرق المغطي المعايير الفنية:
اسم المنتج | طبقة رش مغناطيسية ذات هدف مزدوج مع غرفة انتقالية |
موديل المنتج | TN-MSP325G-2T-DVC-2DC (غرفة مفرغة مزدوجة) |
شروط التثبيت | 1. درجة حرارة بيئة التشغيل 25 درجة مئوية ± 15 درجة مئوية، الرطوبة 55% ر ± 10% ر؛ 2. مصدر طاقة المعدات: AC220V، 50 هرتز، يجب أن يكون مؤرضًا بشكل جيد؛ 3. الطاقة المقدرة: 5000 واط؛ 4. غاز المعدات: يجب ملء غرفة المعدات بالأرجون للتنظيف، ويحتاج العميل إلى تحضير الأرجون بنقاء ≥99.99%؛ 5. حجم المكان هو 1200mm×1200mm×2000mm؛ 6. يتطلب وضع الوضع تهوية جيدة وتبديدًا للحرارة. |
المعايير الفنية | 1. مصدر طاقة الاخرق: مصدر طاقة تيار مستمر 500 واط × 2 ؛الحد الأقصى لجهد الإخراج 600 فولت، الحد الأقصى لتيار الإخراج 1000 مللي أمبير 2. هدف مغناطيسي: هدف متوازن 2 بوصة مع حاجز اقتران مغناطيسي؛ 3. المادة المستهدفة القابلة للتطبيق لهدف المغنطرون: مادة الهدف المعدنية الموصلة بسمك φ50mm x 3mm 4. حجم التجويف: التجويف الرئيسي φ325mm x 410mm؛تجويف انتقالي 150x150x150mm 5. وظيفة الغرفة: الغرفة الرئيسية مجهزة بباب جانبي محكم الغلق بحلقة مانعة للتسرب، ونافذة مراقبة كوارتز مع حاجز، وقضيب تشغيل يدوي لنقل العينات.تم تجهيز الغرفة الانتقالية بغطاء علوي مع نافذة كوارتز محكمة الغلق بحلقة مانعة للتسرب، وقضيب دفع اقتران مغناطيسي لنقل العينات إلى الغرفة الرئيسية، ونظام فراغ مستقل. 6. مادة التجويف: الفولاذ المقاوم للصدأ 304 7. جدول عينة التسخين الدوار: السرعة قابلة للتعديل بشكل مستمر من 1 إلى 20 دورة في الدقيقة؛تصل درجة حرارة التسخين إلى 500 درجة مئوية، ويوصى بأن يكون معدل التسخين 10 درجة مئوية/دقيقة، والحد الأقصى لدرجة الحرارة 20 درجة مئوية/دقيقة. 8. طريقة التبريد: يحتاج هدف المغنطرون والمضخة الجزيئية إلى مبرد مياه دائري. 9. مبرد الماء: حجم خزان الماء 9 لتر، معدل التدفق 10 لتر/دقيقة 10. نظام إمداد الغاز: مقياس التدفق الشامل، غاز AR من نوع الغاز، معدل التدفق 1~200cccm (قابل للتخصيص)؛ 11. دقة مقياس التدفق: ±1.5% نطاق 12. واجهة الضخ لغرفة الفراغ هي CF160؛ 13. واجهة مدخل الهواء عبارة عن وصلة حلقية مزدوجة مقاس 1/4 بوصة؛ 14. العرض عبارة عن 14 جهاز كمبيوتر صناعي الكل في واحد. 15. يمكن تعديل تيار الاخرق، ويمكن ضبط قيمة التيار الآمن الاخرق وقيمة الفراغ الآمنة؛ 16. حماية السلامة: سيتم قطع تيار الاخرق تلقائيًا عندما يكون التيار الزائد والفراغ منخفضًا جدًا؛ 17. نظام التفريغ: الغرفة الرئيسية مجهزة بمجموعة المضخة الجزيئية ذات التفريغ العالي CY-GZK103 مع سرعة ضخ تبلغ 600L/s؛تم تجهيز الغرفة الانتقالية بمضخة جزيئية صغيرة مع سرعة ضخ تبلغ 60 لترًا في الثانية.يمكن لمجموعتي أنظمة التفريغ أن تعمل وتتحكم بشكل مستقل، ويتم التحكم في جميع الصمامات الهوائية بين الغرف وفي نظام التفريغ عن طريق البرامج، والتي يمكن أن تحقق عمل مفتاح واحد، وهو مريح وسريع. 18. الفراغ النهائي: 5E-4Pa (مع مضخة جزيئية)؛ 19. قياس الفراغ هو مقياس فراغ مركب، ومداه هو: 10-5Pa~105Pa |
احتياطات | 1. من أجل تحقيق بيئة خالية من الأكسجين بشكل أعلى، يجب تنظيف غرفة التفريغ بغاز خامل عالي النقاء 3 مرات على الأقل. 2. يعتبر الرش المغنطروني أكثر حساسية لحجم الهواء الداخل، ويجب استخدام مقياس تدفق الكتلة للتحكم في حجم الهواء الداخل. 3. احتفظ بالتجويف في الفراغ عندما لا تكون المعدات قيد الاستخدام. 4. إذا لم يتم تنظيفه بالمكنسة الكهربائية لفترة طويلة، فيجب تفريغه من الغاز عند استخدامه مرة أخرى لتحسين أداء الفراغ. |
الملحقات الاختيارية | |
مراقبة سمك الفيلم | 1. دقة سمك الفيلم: 0.0136 أنجستروم (ألومنيوم) 2. دقة سمك الفيلم: ±0.5%، اعتمادًا على ظروف العملية، وخاصة موضع المستشعر، وضغط المادة، ودرجة الحرارة والكثافة 3. سرعة القياس: 100ms-1s/time، يمكن ضبط نطاق القياس: 500000Å (الألومنيوم) 4. كريستال الاستشعار القياسي: 6 ميجا هرتز 5. تردد الرقاقة المطبق: 6MHz حجم الرقاقة المطبق: Φ14mm شفة التركيب: CF35 |
غيرها من الملحقات | 1. مجموعة المضخات الجزيئية عالية الأداء من سلسلة TN-CZK103 (تشمل مقياس الفراغ المركب، نطاق القياس 10-5Pa~105Pa)؛ مجموعة المضخات الجزيئية الصغيرة من سلسلة TN-GZK60 (تشمل مقياس الفراغ المركب، نطاق القياس 10-5Pa~102Pa) VRD-4 مضخة فراغ دوارة ثنائية القطب؛ 2. منفاخ الفراغ KF25/40؛يمكن أن يكون الطول 0.5 م، 1 م، 1.5 م؛قوس المشبك KF25 3. مذبذب كريستالي لمقياس سماكة الفيلم. |
تم تصميم طبقة الطلاء المغنطرونية ذات الهدف المزدوج لتوفير طلاء متساوٍ وموحد لعينات SEM المختبرية.بفضل نظام الهدف المزدوج، فإنه يسمح بالترسيب المتزامن للمواد المختلفة، مما يتيح إنشاء هياكل معقدة متعددة الطبقات.هذه الميزة مفيدة بشكل خاص لدراسة خصائص وسلوك الأغشية الرقيقة المختلفة.
تستخدم آلة الطلاء تكنولوجيا الرش بالمغنطرون DC، والتي تضمن معدلات ترسيب عالية وجودة ممتازة للفيلم.تتضمن عملية الرش قصف المادة المستهدفة بأيونات عالية الطاقة، مما يتسبب في قذف الذرات وترسيبها على الركيزة.وينتج عن ذلك طبقة كثيفة وملتصقة مع تحكم دقيق في السُمك والتركيب.
تسهل الغرفة الانتقالية المضمنة في هذا المغطى نقل العينات المطلية إلى SEM دون التعرض للهواء، مما يقلل من خطر التلوث.وهذا أمر بالغ الأهمية للحفاظ على سلامة العينات والحصول على نتائج تحليل دقيقة.تم تصميم الغرفة بواجهة سهلة الاستخدام، مما يسمح بسهولة تحميل وتفريغ العينات.
بفضل بنيتها القوية وميزاتها المتقدمة، تعد طبقة الطلاء بالرش المغنطروني ذات الهدف المزدوج المزودة بغرفة انتقالية أداة أساسية للباحثين والعلماء الذين يعملون في مجال الأغشية الرقيقة.فهو يوفر إمكانات طلاء دقيقة وموثوقة، مما يتيح إنتاج عينات عالية الجودة لمجموعة واسعة من التطبيقات.سواء في الأوساط الأكاديمية أو الصناعية، يعد هذا الطلاء أحد الأصول القيمة لأي مختبر يسعى إلى تطوير أبحاثه في علوم المواد والمجالات ذات الصلة.
هدف مزدوج المغنطرون الاخرق المغطي المعايير الفنية:
اسم المنتج | طبقة رش مغناطيسية ذات هدف مزدوج مع غرفة انتقالية |
موديل المنتج | TN-MSP325G-2T-DVC-2DC (غرفة مفرغة مزدوجة) |
شروط التثبيت | 1. درجة حرارة بيئة التشغيل 25 درجة مئوية ± 15 درجة مئوية، الرطوبة 55% ر ± 10% ر؛ 2. مصدر طاقة المعدات: AC220V، 50 هرتز، يجب أن يكون مؤرضًا بشكل جيد؛ 3. الطاقة المقدرة: 5000 واط؛ 4. غاز المعدات: يجب ملء غرفة المعدات بالأرجون للتنظيف، ويحتاج العميل إلى تحضير الأرجون بنقاء ≥99.99%؛ 5. حجم المكان هو 1200mm×1200mm×2000mm؛ 6. يتطلب وضع الوضع تهوية جيدة وتبديدًا للحرارة. |
المعايير الفنية | 1. مصدر طاقة الاخرق: مصدر طاقة تيار مستمر 500 واط × 2 ؛الحد الأقصى لجهد الإخراج 600 فولت، الحد الأقصى لتيار الإخراج 1000 مللي أمبير 2. هدف مغناطيسي: هدف متوازن 2 بوصة مع حاجز اقتران مغناطيسي؛ 3. المادة المستهدفة القابلة للتطبيق لهدف المغنطرون: مادة الهدف المعدنية الموصلة بسمك φ50mm x 3mm 4. حجم التجويف: التجويف الرئيسي φ325mm x 410mm؛تجويف انتقالي 150x150x150mm 5. وظيفة الغرفة: الغرفة الرئيسية مجهزة بباب جانبي محكم الغلق بحلقة مانعة للتسرب، ونافذة مراقبة كوارتز مع حاجز، وقضيب تشغيل يدوي لنقل العينات.تم تجهيز الغرفة الانتقالية بغطاء علوي مع نافذة كوارتز محكمة الغلق بحلقة مانعة للتسرب، وقضيب دفع اقتران مغناطيسي لنقل العينات إلى الغرفة الرئيسية، ونظام فراغ مستقل. 6. مادة التجويف: الفولاذ المقاوم للصدأ 304 7. جدول عينة التسخين الدوار: السرعة قابلة للتعديل بشكل مستمر من 1 إلى 20 دورة في الدقيقة؛تصل درجة حرارة التسخين إلى 500 درجة مئوية، ويوصى بأن يكون معدل التسخين 10 درجة مئوية/دقيقة، والحد الأقصى لدرجة الحرارة 20 درجة مئوية/دقيقة. 8. طريقة التبريد: يحتاج هدف المغنطرون والمضخة الجزيئية إلى مبرد مياه دائري. 9. مبرد الماء: حجم خزان الماء 9 لتر، معدل التدفق 10 لتر/دقيقة 10. نظام إمداد الغاز: مقياس التدفق الشامل، غاز AR من نوع الغاز، معدل التدفق 1~200cccm (قابل للتخصيص)؛ 11. دقة مقياس التدفق: ±1.5% نطاق 12. واجهة الضخ لغرفة الفراغ هي CF160؛ 13. واجهة مدخل الهواء عبارة عن وصلة حلقية مزدوجة مقاس 1/4 بوصة؛ 14. العرض عبارة عن 14 جهاز كمبيوتر صناعي الكل في واحد. 15. يمكن تعديل تيار الاخرق، ويمكن ضبط قيمة التيار الآمن الاخرق وقيمة الفراغ الآمنة؛ 16. حماية السلامة: سيتم قطع تيار الاخرق تلقائيًا عندما يكون التيار الزائد والفراغ منخفضًا جدًا؛ 17. نظام التفريغ: الغرفة الرئيسية مجهزة بمجموعة المضخة الجزيئية ذات التفريغ العالي CY-GZK103 مع سرعة ضخ تبلغ 600L/s؛تم تجهيز الغرفة الانتقالية بمضخة جزيئية صغيرة مع سرعة ضخ تبلغ 60 لترًا في الثانية.يمكن لمجموعتي أنظمة التفريغ أن تعمل وتتحكم بشكل مستقل، ويتم التحكم في جميع الصمامات الهوائية بين الغرف وفي نظام التفريغ عن طريق البرامج، والتي يمكن أن تحقق عمل مفتاح واحد، وهو مريح وسريع. 18. الفراغ النهائي: 5E-4Pa (مع مضخة جزيئية)؛ 19. قياس الفراغ هو مقياس فراغ مركب، ومداه هو: 10-5Pa~105Pa |
احتياطات | 1. من أجل تحقيق بيئة خالية من الأكسجين بشكل أعلى، يجب تنظيف غرفة التفريغ بغاز خامل عالي النقاء 3 مرات على الأقل. 2. يعتبر الرش المغنطروني أكثر حساسية لحجم الهواء الداخل، ويجب استخدام مقياس تدفق الكتلة للتحكم في حجم الهواء الداخل. 3. احتفظ بالتجويف في الفراغ عندما لا تكون المعدات قيد الاستخدام. 4. إذا لم يتم تنظيفه بالمكنسة الكهربائية لفترة طويلة، فيجب تفريغه من الغاز عند استخدامه مرة أخرى لتحسين أداء الفراغ. |
الملحقات الاختيارية | |
مراقبة سمك الفيلم | 1. دقة سمك الفيلم: 0.0136 أنجستروم (ألومنيوم) 2. دقة سمك الفيلم: ±0.5%، اعتمادًا على ظروف العملية، وخاصة موضع المستشعر، وضغط المادة، ودرجة الحرارة والكثافة 3. سرعة القياس: 100ms-1s/time، يمكن ضبط نطاق القياس: 500000Å (الألومنيوم) 4. كريستال الاستشعار القياسي: 6 ميجا هرتز 5. تردد الرقاقة المطبق: 6MHz حجم الرقاقة المطبق: Φ14mm شفة التركيب: CF35 |
غيرها من الملحقات | 1. مجموعة المضخات الجزيئية عالية الأداء من سلسلة TN-CZK103 (تشمل مقياس الفراغ المركب، نطاق القياس 10-5Pa~105Pa)؛ مجموعة المضخات الجزيئية الصغيرة من سلسلة TN-GZK60 (تشمل مقياس الفراغ المركب، نطاق القياس 10-5Pa~102Pa) VRD-4 مضخة فراغ دوارة ثنائية القطب؛ 2. منفاخ الفراغ KF25/40؛يمكن أن يكون الطول 0.5 م، 1 م، 1.5 م؛قوس المشبك KF25 3. مذبذب كريستالي لمقياس سماكة الفيلم. |
