| الكمية: | |
|---|---|
TN-MSP325S-2DCRF-ZD
TN
إن جهاز الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثي الأهداف مع طاولة العينات الاهتزازية عبارة عن جهاز طلاء خاص لمعالجة عينات المسحوق والجسيمات في المختبر مع ثلاثة مواقع مستهدفة طورتها شركتنا.تم تجهيز المعدات بمصدرين للطاقة DC ومصدر طاقة RF واحد، والذي يمكن استخدامه لتحضير فيلم متعلق بالعازل الكهربائي الشفاف أحادي أو متعدد الطبقات، فيلم موصل، فيلم سبائك، فيلم أشباه الموصلات، فيلم سيراميك، فيلم عازل، فيلم بصري، إلخ.
بالمقارنة مع رش البلازما العادي، يتميز رش المغنطرون بمزايا الطاقة العالية والسرعة العالية ومعدل الطلاء العالي وارتفاع درجة حرارة العينة المنخفضة.إنها عملية رش نموذجية عالية السرعة ومنخفضة الحرارة.تم تجهيز هدف المغنطرون بتبريد الماء
الطبقة البينية، ويمكن لمبرد الماء إزالة الحرارة بشكل فعال لتجنب تراكم الحرارة على السطح المستهدف، بحيث يمكن لطلاء المغنطرون أن يعمل بثبات لفترة طويلة.
تم تجهيز المعدات بجدول عينة اهتزاز مع اهتزاز تحويل التردد، والذي يمكن وضعه على المسحوق أو تقلب الجزيئات بشكل غير منتظم لضمان إمكانية طلاء سطح جميع الجزيئات بالطلاء أثناء عملية الطلاء، لتجنب حالة الطلاء غير المستوي.إنها معدات PVD مصممة للعينات الحبيبية.
المغطي الاخرق المغنطرون المعلمات التقنية:
غرض | تفاصيل | |
مصدر التيار | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز | |
قوة الآلة | 6 كيلو واط | |
فراغ نهائي | 5x10-4Pa | |
عينة المعلمات مقاعد البدلاء | Dimensions | فاي 150 ملم |
وضع الاهتزاز | محرك التردد المتغير يدفع التروس | |
المغنطرون رأس الاخرق حدود | كمية | قم بإمالة 3 2 'رؤوس رش المغنطرون بزاوية 15 الاتجاه الرأسي |
وضع التبريد | تبريد مائي، معدل التدفق المطلوب 10 لتر/دقيقة | |
مواصفات مبرد الماء | مبرد مياه دائري بمعدل تدفق 10 لتر/دقيقة | |
مكنسة غرفة | حجم الغرفة | φ300 مم × 340 مم ارتفاع |
مادة التجويف | الفولاذ المقاوم للصدأ | |
نافذة المشاهدة | فاي 100 ملم | |
كيفية فتح | نوع مفتوح من الأعلى، سهل تغيير الهدف | |
تحكم في تدفق الغاز | 1 قناة 200cccm ع. | |
مضخة فراغ | مجهزة بنظام مضخة جزيئية، سرعة الضخ 600L/S | |
فيلم مقياس سمك | مقياس سمك طبقة اهتزاز كوارتز واحد، دقة 0.10 أمبير | |
الاخرق مزود الطاقة | مجموعتان من مصدر طاقة التيار المستمر، 500 واط، مناسبة لتحضير الفيلم المعدني 1 مصدر طاقة RF، 500 واط، مناسب للطلاء غير المعدني | |
طريقة عملية | الكل في واحد تشغيل الكمبيوتر | |
آلة مقاس | 1090 مم × 900 مم × 1250 مم | |
آلة وزن | 350 كجم | |
إن جهاز الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثي الأهداف مع طاولة العينات الاهتزازية عبارة عن جهاز طلاء خاص لمعالجة عينات المسحوق والجسيمات في المختبر مع ثلاثة مواقع مستهدفة طورتها شركتنا.تم تجهيز المعدات بمصدرين للطاقة DC ومصدر طاقة RF واحد، والذي يمكن استخدامه لتحضير فيلم متعلق بالعازل الكهربائي الشفاف أحادي أو متعدد الطبقات، فيلم موصل، فيلم سبائك، فيلم أشباه الموصلات، فيلم سيراميك، فيلم عازل، فيلم بصري، إلخ.
بالمقارنة مع رش البلازما العادي، يتميز رش المغنطرون بمزايا الطاقة العالية والسرعة العالية ومعدل الطلاء العالي وارتفاع درجة حرارة العينة المنخفضة.إنها عملية رش نموذجية عالية السرعة ومنخفضة الحرارة.تم تجهيز هدف المغنطرون بتبريد الماء
الطبقة البينية، ويمكن لمبرد الماء إزالة الحرارة بشكل فعال لتجنب تراكم الحرارة على السطح المستهدف، بحيث يمكن لطلاء المغنطرون أن يعمل بثبات لفترة طويلة.
تم تجهيز المعدات بجدول عينة اهتزاز مع اهتزاز تحويل التردد، والذي يمكن وضعه على المسحوق أو تقلب الجزيئات بشكل غير منتظم لضمان إمكانية طلاء سطح جميع الجزيئات بالطلاء أثناء عملية الطلاء، لتجنب حالة الطلاء غير المستوي.إنها معدات PVD مصممة للعينات الحبيبية.
المغطي الاخرق المغنطرون المعلمات التقنية:
غرض | تفاصيل | |
مصدر التيار | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز | |
قوة الآلة | 6 كيلو واط | |
فراغ نهائي | 5x10-4Pa | |
عينة المعلمات مقاعد البدلاء | Dimensions | فاي 150 ملم |
وضع الاهتزاز | محرك التردد المتغير يدفع التروس | |
المغنطرون رأس الاخرق حدود | كمية | قم بإمالة 3 2 'رؤوس رش المغنطرون بزاوية 15 الاتجاه الرأسي |
وضع التبريد | تبريد مائي، معدل التدفق المطلوب 10 لتر/دقيقة | |
مواصفات مبرد الماء | مبرد مياه دائري بمعدل تدفق 10 لتر/دقيقة | |
مكنسة غرفة | حجم الغرفة | φ300 مم × 340 مم ارتفاع |
مادة التجويف | الفولاذ المقاوم للصدأ | |
نافذة المشاهدة | فاي 100 ملم | |
كيفية فتح | نوع مفتوح من الأعلى، سهل تغيير الهدف | |
تحكم في تدفق الغاز | 1 قناة 200cccm ع. | |
مضخة فراغ | مجهزة بنظام مضخة جزيئية، سرعة الضخ 600L/S | |
فيلم مقياس سمك | مقياس سمك طبقة اهتزاز كوارتز واحد، دقة 0.10 أمبير | |
الاخرق مزود الطاقة | مجموعتان من مصدر طاقة التيار المستمر، 500 واط، مناسبة لتحضير الفيلم المعدني 1 مصدر طاقة RF، 500 واط، مناسب للطلاء غير المعدني | |
طريقة عملية | الكل في واحد تشغيل الكمبيوتر | |
آلة مقاس | 1090 مم × 900 مم × 1250 مم | |
آلة وزن | 350 كجم | |
