توافر الحالة: | |
---|---|
الكمية: | |
TN-MSP210S-DC-D
TN
هذا الجهاز عبارة عن طبقة رش مغناطيسية مزدوجة الهدف، والتي يمكن استخدامها في تحضير الأفلام المعدنية، في مجالات الإلكترونيات، والبصريات، والسيراميك الخاص، وما إلى ذلك. ويمكن استخدامها أيضًا لتحضير عينات SEM في المختبر.
إنها تعتمد غرفة من الفولاذ المقاوم للصدأ ذات فراغ عالٍ، وتصميم فتح الباب الأمامي، ونافذة مراقبة كوارتز على الباب، وهو مناسب لمراقبة وتسجيل التجربة.في نفس الوقت، تم تجهيز المعدات بطاولة تسخين دوارة لعينة، والتي يمكن أن تحسن بشكل فعال تجانس الفيلم وجودة الفيلم.تم تركيب مجموعة من الألواح الحاجزة على الغطاء العلوي، ويمكن تبديل الهدفين عن طريق تدوير اللوحة الحاجزة لتحقيق طلاء متعدد الطبقات.
يجب استخدام هذه المعدات مع مجموعة المضخات الجزيئية ذات الفراغ العالي.يمكن للمستخدمين اختيار المضخة الجزيئية الصغيرة المستوردة لتوفير مساحة التثبيت بشكل أكبر.
في الوقت نفسه، يمكن تجهيز النموذج بمكونات مقياس سماكة الفيلم، والتي يمكنها مراقبة سماكة الفيلم في الوقت الفعلي وتوفير معلمات موثوقة للعملية التجريبية.
هدف مزدوج المغنطرون الاخرق المغطي التقنية المعلمة:
مرحلة العينة | مقاس | 100 ملم | التدفئة | ≥500 درجة مئوية |
سرعة الدوران | 1-20r/دقيقة | مراقبة درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية | |
رأس الرش المغنطروني | كمية | 2 بوصة × 2 | وضع التبريد | تبريد الماء |
غرفة فراغ | مقاس | ضياء 210 مم × 260 مم | نافذة المراقبة | φ40 ملم |
مادة | SUS | الوضع المفتوح | فتحة أمامية | |
إمداد الطاقة بالرش | DC امدادات الطاقة | 1 مجموعة | انتاج الطاقة | ≥300 واط |
الجهد الناتج | ≥600 فولت | وقت الاستجابة | <5 مللي ثانية | |
تبريد الماء | سعة الخزان | 9L | تدفق | 10 لتر/دقيقة |
مقياس سمك الفيلم | دقة | 0.1 أنجستروم | وضع التبريد | تبريد الماء |
آخر | مزود الطاقة | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز | إجمالي الطاقة | 4 كيلو واط |
نظام المضخة الجزيئية | مضخة دعم | مضخة دوارة دوارة | ضخ | 1.1 لتر/ثانية |
مضخة ثانوية | المضخة الجزيئية التوربينية (المحلية) | ضخ | 600 لتر/ثانية | |
واجهة الاستخراج | KF40 | منفذ الهواء | KF16 |
هذا الجهاز عبارة عن طبقة رش مغناطيسية مزدوجة الهدف، والتي يمكن استخدامها في تحضير الأفلام المعدنية، في مجالات الإلكترونيات، والبصريات، والسيراميك الخاص، وما إلى ذلك. ويمكن استخدامها أيضًا لتحضير عينات SEM في المختبر.
إنها تعتمد غرفة من الفولاذ المقاوم للصدأ ذات فراغ عالٍ، وتصميم فتح الباب الأمامي، ونافذة مراقبة كوارتز على الباب، وهو مناسب لمراقبة وتسجيل التجربة.في نفس الوقت، تم تجهيز المعدات بطاولة تسخين دوارة لعينة، والتي يمكن أن تحسن بشكل فعال تجانس الفيلم وجودة الفيلم.تم تركيب مجموعة من الألواح الحاجزة على الغطاء العلوي، ويمكن تبديل الهدفين عن طريق تدوير اللوحة الحاجزة لتحقيق طلاء متعدد الطبقات.
يجب استخدام هذه المعدات مع مجموعة المضخات الجزيئية ذات الفراغ العالي.يمكن للمستخدمين اختيار المضخة الجزيئية الصغيرة المستوردة لتوفير مساحة التثبيت بشكل أكبر.
في الوقت نفسه، يمكن تجهيز النموذج بمكونات مقياس سماكة الفيلم، والتي يمكنها مراقبة سماكة الفيلم في الوقت الفعلي وتوفير معلمات موثوقة للعملية التجريبية.
هدف مزدوج المغنطرون الاخرق المغطي التقنية المعلمة:
مرحلة العينة | مقاس | 100 ملم | التدفئة | ≥500 درجة مئوية |
سرعة الدوران | 1-20r/دقيقة | مراقبة درجة الحرارة | ±1 درجة مئوية | |
رأس الرش المغنطروني | كمية | 2 بوصة × 2 | وضع التبريد | تبريد الماء |
غرفة فراغ | مقاس | ضياء 210 مم × 260 مم | نافذة المراقبة | φ40 ملم |
مادة | SUS | الوضع المفتوح | فتحة أمامية | |
إمداد الطاقة بالرش | DC امدادات الطاقة | 1 مجموعة | انتاج الطاقة | ≥300 واط |
الجهد الناتج | ≥600 فولت | وقت الاستجابة | <5 مللي ثانية | |
تبريد الماء | سعة الخزان | 9L | تدفق | 10 لتر/دقيقة |
مقياس سمك الفيلم | دقة | 0.1 أنجستروم | وضع التبريد | تبريد الماء |
آخر | مزود الطاقة | تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز | إجمالي الطاقة | 4 كيلو واط |
نظام المضخة الجزيئية | مضخة دعم | مضخة دوارة دوارة | ضخ | 1.1 لتر/ثانية |
مضخة ثانوية | المضخة الجزيئية التوربينية (المحلية) | ضخ | 600 لتر/ثانية | |
واجهة الاستخراج | KF40 | منفذ الهواء | KF16 |