سطح المكتب ذو هدف واحد من المغنطرون الاخرق مع جهد متحيز لترسيب الأغشية الرقيقة

موديل المنتج

TN-MSP180G-1T-B (جهد التحيز)

حالة التثبيت

1، درجة حرارة بيئة العمل: 25 درجة مئوية ± 15 درجة مئوية، الرطوبة: 55% ر ± 10% ر؛

2 ، مصدر طاقة المعدات: AC220V، 50 هرتز، يجب أن يكون مؤرضًا بشكل جيد؛

3 ، الطاقة المقدرة: 1000 واط ；

4 ، معدات الغاز: يجب ملء غرفة المعدات بغاز الأرجون للتنظيف.   يجب على العميل تحضير غاز الأرجون بنقاء ≥99.99%.

5 ، متطلبات حجم الجدول: 600 مم × 600 مم × 850 مم، قدرة تحمل ≥ 50 كجم؛

6، يجب أن يكون الموقف جيد التهوية والتبريد.

المؤشرات الفنية

1 、 مصدر طاقة الاخرق: مصدر طاقة تيار مستمر 300 واط ؛ أقصى جهد للإخراج   600 فولت، محدود   الناتج الحالي 500 مللي أمبير

2، هدف المغنطرون: هدف توازن 2 بوصة، حاجز اقتران مغناطيسي؛

3- مصدر الطاقة: الإخراج   الجهد الكهربي <1000 فولت، النوع: مصدر طاقة تيار مستمر نبضي عالي التردد  

4 、 مادة الهدف المناسبة: سمك φ50 مم × 3 مم

5 、 حجم التجويف: خارج   القطر 194، القطر الداخلي 186 ملم × الارتفاع 230 ملم

6 、 مادة التجويف: 304 الفولاذ المقاوم للصدأ

7 、 عينة التدفئة الدورية   الجدول: تدوير   السرعة 1 ~ 20 دورة في الدقيقة  قابل للتعديل بشكل مستمر؛ أقصى قدر من التدفئة   درجة الحرارة 500 درجة مئوية، وهي أدنى درجة حرارة موصى بها   معدل التسخين 10 درجة مئوية/دقيقة، وهو أعلى مستوى موصى به   معدل التسخين 20 درجة مئوية/دقيقة.

8 、 وضع التبريد: الهدف المغناطيسي و   تتطلب المضخة الجزيئية تعميم مبرد الماء

9. آلة تبريد المياه: حجم الخزان 9 لتر، معدل التدفق 10 لتر / دقيقة

10 、 نظام إمداد الغاز: مقياس التدفق الشامل، نوع غاز الأرجون، التدفق 1 ~ 30cccm (قابل للتخصيص)

11 、 دقة مقياس التدفق: ± 1.5% نطاق القياس

12 、 واجهة ضخ الهواء   غرفة الفراغ هي KF25

13. واجهة سحب الهواء   وصلة حلقية مزدوجة 1/4 بوصة

14. شاشة لمس 7 بوصة   شاشة ملونة تعمل باللمس

15 、 الاخرق قابل للتعديل   الحالي، الاخرق   يمكن ضبط قيمة السلامة الحالية وقيمة فراغ السلامة ；

16، حماية السلامة: التيار الزائد، الفراغ منخفض جدًا   قطع التيار الاخرق تلقائيا

17 、 الفراغ النهائي: 5E-4Pa (مطابقة جزيئية   مضخة)؛

18- فراغ   القياس هو مقياس فراغ بارانا، النطاق هو: 1 ~ 105Pa

يلاحظ

1، الاخرق المغنطرون   يحتوي على فراغ عمل عالي، بشكل عام ضمن 2Pa، ويجب استخدامه معه   مضخة جزيئية.

2، من أجل تحقيق أ   بيئة خالية من الأكسجين بدرجة عالية، يجب تنظيف حجرة التفريغ على الأقل 3   مرات مع غاز خامل عالي النقاء.

3، الاخرق المغنطروني   حساسة لسحب الهواء، لذلك هناك حاجة إلى مقياس تدفق الكتلة للتحكم في الهواء   المدخول

خياري   ملحق

مراقبة سمك الفيلم

1، سمك الفيلم   الدقة: 0.0136Å (ألومنيوم)

2، دقة الفيلم   السُمك: ±0.5%، يعتمد على العملية   الظروف، وخاصة موقف الاستشعار، والإجهاد المادي، ودرجة الحرارة و   كثافة  

3 ، سرعة القياس: 100ms-1s/مرات، يمكن أن يكون نطاق القياس   المجموعة: 500000Å (ألومنيوم)

4 ، الكريستال الاستشعار القياسي: 6 ميجا هرتز

5، مناسبة للرقاقة   التردد: 6 ميجا هرتز  

مناسبة لحجم الرقاقة: Φ14mm

شفة التركيب: CF35

ملحق آخر

·            1، سلسلة CY-CZK103 عالية الأداء   مجموعة المضخة الجزيئية (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب ونطاق القياس   10-5 باسكال ~ 105 باسكال)

مجموعة المضخات الجزيئية الصغيرة من سلسلة CY-GZK60 (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب ونطاق القياس   10-5 باسكال ~ 102 باسكال)

VRD-4 ريشة دوارة ثنائية القطب   مضخة فراغ

2,KF25 منفاخ فراغ;   يمكن أن يكون الطول 0.5 م أو 1 م أو 1.5 م.قوس المشبك KF40

3، متر سمك الفيلم   مذبذب كرستالى؛