سطح المكتب ذو هدف واحد طلاء مغناطيسي مع تجويف كوارتز لمسح المجهر

موديل المنتج

TN-MSP180G-1T-A

حالة التثبيت

1- بيئة العمل   درجة الحرارة: 25 درجة مئوية ± 15 درجة مئوية، الرطوبة: 55% ر ± 10% ر؛

2، مصدر طاقة المعدات: تيار متردد 220 فولت، 50 هرتز، يجب أن يكون مؤرضًا بشكل جيد؛

3 、 الطاقة المقدرة: 1000 واط ；

4. معدات الغاز: غرفة المعدات   يجب أن تكون مليئة بغاز الأرجون للتنظيف.يجب على العميل الاستعداد   غاز الأرجون بدرجة نقاء ≥99.99%.

5. متطلبات حجم الجدول:   600 مم × 600 مم × 700 مم، محمل   القدرة ≥ 50 كجم ；

6- أن يكون الوضع جيداً   تهوية وتبريد.

المؤشرات الفنية

1 、 مصدر طاقة الاخرق: مصدر طاقة تيار مستمر 300 وات؛ أقصى جهد للإخراج 600 فولت، خرج تيار محدود 500 مللي أمبير

2، هدف المغنطرون: هدف توازن 2 بوصة، حاجز اقتران مغناطيسي؛

3 、 مادة الهدف المناسبة: سمك φ50 مم × 3 مم

4 、 حجم التجويف: φ180 مم × 200 مم

5 、 مادة التجويف: عالية   الكوارتز النقاء

6 、 عينة التدفئة الدورية   الجدول: تدوير   السرعة 1 ~ 20 دورة في الدقيقة  قابل للتعديل بشكل مستمر؛ أقصى قدر من التدفئة   درجة الحرارة 500 درجة مئوية، وهي أدنى درجة حرارة موصى بها   معدل التسخين 10 درجة مئوية/دقيقة، وهو أعلى مستوى موصى به   معدل التسخين 20 درجة مئوية/دقيقة.

7 、 وضع التبريد: الهدف المغناطيسي و   تتطلب المضخة الجزيئية تعميم مبرد الماء

8 、 آلة تبريد المياه: حجم الخزان 9 لتر، معدل التدفق 10 لتر / دقيقة

9. نظام إمداد الغاز: مقياس التدفق الشامل، النوع   تدفق غاز الأرجون   1 ~ 30cccm (قابل للتخصيص)

10 、 دقة مقياس التدفق: ± 1.5% نطاق القياس

11 、 واجهة ضخ الهواء   غرفة الفراغ هي KF25

12. واجهة سحب الهواء   وصلة حلقية مزدوجة 1/4 بوصة

13. شاشة لمس 7 بوصة   شاشة ملونة تعمل باللمس

14 、 الاخرق قابل للتعديل   الحالي، الاخرق   يمكن ضبط قيمة السلامة الحالية وقيمة فراغ السلامة ；

15،  أمان   الحماية: التيار الزائد، الفراغ منخفض جدًا، يتم قطعه تلقائيًا   الاخرق الحالي

16 、 الفراغ النهائي: 5E-4Pa (مطابقة جزيئية   مضخة)؛

17- فراغ   القياس هو مقياس فراغ بارانا، النطاق هو: 1 ~ 105Pa

يلاحظ

1- وجود رذاذ مغناطيسي   فراغ عمل عالي، بشكل عام ضمن 2Pa، ويجب استخدامه معه   مضخة جزيئية.

2- من أجل تحقيق   بيئة خالية من الأكسجين بدرجة عالية، يجب تنظيف حجرة التفريغ على الأقل 3   مرات مع غاز خامل عالي النقاء.

3- الرذاذ المغنطروني   حساسة لسحب الهواء، لذلك هناك حاجة إلى مقياس تدفق الكتلة للتحكم في الهواء   المدخول

خياري   ملحق

فيلم

سماكة   شاشة

1 、 دقة سمك الفيلم: 0.0136Å (الألومنيوم)

2 、 دقة الفيلم   السُمك: ±0.5%، يعتمد على العملية   الظروف، وخاصة موقف الاستشعار، والإجهاد المادي، ودرجة الحرارة والكثافة    

3 、 سرعة القياس: 100 مللي ثانية-1 ثانية/مرات ، يمكن أن يكون نطاق القياس   المجموعة: 500000Å (ألومنيوم)

4 、 كريستال الاستشعار القياسي: 6 ميجا هرتز

5 、 مناسبة لتردد الرقاقة: 6 ميجا هرتز

مناسبة لحجم الرقاقة: Φ14mm

شفة التركيب: CF35

ملحق آخر

·              1 、 سي-CZK103   مجموعة المضخات الجزيئية عالية الأداء من سلسلة (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب،   نطاق القياس 10-5Pa ~ 105Pa)

مجموعة المضخات الجزيئية الصغيرة من سلسلة CY-GZK60 (بما في ذلك مقياس الفراغ المركب ونطاق القياس   10-5 باسكال ~ 102 باسكال)

VRD-4 ريشة دوارة ثنائية القطب   مضخة فراغ

2 、 KF25 منفاخ فراغ.ال   يمكن أن يكون الطول 0.5 م أو 1 م أو 1.5 م.قوس المشبك KF25

3- جهاز قياس سمك الفيلم   مذبذب كرستالى؛

4 、 الفولاذ المقاوم للصدأ   صمام الضبط الدقيق (مناسب فقط لمتطلبات الطلاء المنخفضة)