TN-MSP500S-2DC-1RF
TN
ثلاثة أدوات طلاء بالرش المغنطروني المستهدفة عبارة عن معدات طلاء بالرش المغنطروني فعالة من حيث التكلفة تم تطويرها بشكل مستقل من قبل شركتنا، والتي تتميز بخصائص التوحيد والنمطية والتخصيص.يمكن استخدام المعدات لتحضير الأفلام الكهروضوئية أحادية الطبقة أو متعددة الطبقات، والأفلام الموصلة، وأفلام السبائك، وأفلام أشباه الموصلات، والأفلام الخزفية، والأفلام العازلة، والأفلام البصرية، وأفلام الأكسيد، والأفلام الصلبة، وأفلام بولي تترافلوروإيثيلين، وما إلى ذلك. يمكن استخدامها لإعداد الأفلام المعدنية، ويمكن استخدام مصدر طاقة الترددات اللاسلكية لإعداد الأفلام غير المعدنية، ويمكن أن تلبي الأهداف الثلاثة احتياجات الطلاء متعدد الطبقات أو المتعدد.بالمقارنة مع المعدات المماثلة، فإن أداة الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثية الأهداف لا تستخدم على نطاق واسع فحسب، بل تتميز أيضًا بمزايا الحجم الصغير والتشغيل السهل.إنها معدات مثالية لإعداد أفلام المواد في المختبر.
المعلمات التقنية لطلاء الرش المغنطروني:
ثلاثة المغطي الاخرق المغنطرون الهدف الجهاز (مصدر طاقة تيار مستمر + مصدر طاقة RF) | ||
جدول العينة | وضع الاخرق | الاخرق الاتجاه صعودا، و تقع مرحلة العينة فوق هدف الاخرق؛ حامل عينة إعداد أعلى المركز، مع مصراع واحد |
حامل العينة | φ150 ملم | |
دقة التحكم | ±1 درجة مئوية | |
نطاق التدفئة | غرفة درجة الحرارة ~ 500 درجة مئوية | |
سرعة قابلة للتعديل | 1-20 دورة في الدقيقة قابل للتعديل | |
المسافة الأساسية المستهدفة قابلة للتعديل | المسافة بين الهدف ويمكن تعديل الركيزة كهربائيا | |
المغنطرون بندقية الهدف | الطائرة المستهدفة | طائرة دائرية هدف |
الاخرق مكنسة | 10 باسكال ~ 0.2 باسكال | |
هدف قطر الدائرة | 50~50.8 ملم | |
هدف سماكة | 2 ~ 5 ملم ملحوظة: إذا كان الهدف مغناطيسيًا المواد (مثل Fe، Co، Ni). سمك لا يمكن أن يكون أكثر من 1.5 ملم، ويلزم وجود مسدس رش مغناطيسي قوي، سوف تحتاج اضافية تكلفة. | |
جهد العزل | > 2000 فولت | |
كمية | 2 بوصة * 3؛ مع مصاريع لكل بندقية | |
كابل تخصيص | إس إل-16 | |
رأس الهدف درجة حرارة | ≦65 درجة مئوية | |
غرفة فراغ | جدار داخلي علاج | تلميع كهربائيا |
حجم الغرفة | φ300 مم × 350 مم | |
غرفة مادة | 304 غير القابل للصدأ فُولاَذ | |
ملاحظة نافذة او شباك | نافذة كوارتز، قطر φ100 مم مع مصراع | |
طريقة الختم | ختم فيتون | |
طريقة مفتوحة | فتحة علوية، دعم إضافي للأسطوانة | |
نظام التحكم بالغاز | التحكم في التدفق | 3-طريقة الكتلة عداد التدفق: الأكسجين: المدى 0 ~ 100 SCCM غاز الأرجون: النطاق 0 ~ 200SCCM النيتروجين: النطاق 0 ~ 500SCCM (ملاحظة: من أجل تحقيق نسبة أعلى من الأكسجين الخالي من الأكسجين بيئة، يجب تنظيف حجرة التفريغ باستخدام غاز خامل عالي النقاء عند درجة حرارة الأقل ثلاث مرات.) |
نوع الغاز | الأرجون والنيتروجين والأكسجين وغيرها من الغازات الخاملة | |
صمام التحكم يكتب | صمام الملف اللولبي | |
صمام التحكم حالة ثابتة | عادة مغلق | |
قياس الخطية | ±1.5% FS | |
قياس التكرار | ±0.2% FS | |
قياس وقت الاستجابة | ≥8 ثانية (T95) | |
عمل نطاق الضغط | 0.3 ميجا باسكال | |
جسم الصمام ضغط | 3MPa | |
عمل درجة حرارة | (5~45) درجة مئوية | |
مادة الجسم | الفولاذ المقاوم للصدأ 316L | |
جسم الصمام معدل التسرب | 1×10-8Pa.m3/s | |
مفاصل الأنابيب | 1/4 بوصة تركيب ضغط | |
الإدخال و إشارة الخرج | 0 ~ 5 فولت | |
مزود الطاقة | ± 15 فولت (± 5٪) (+ 15 فولت 50 مللي أمبير، -15 فولت 200 مللي أمبير) | |
إجمالي الأبعاد (مم) | 130 (عرض) × 102 (ارتفاع) × 28 (سماكة) | |
تواصل واجهه المستخدم | بروتوكول مودبوس RS485 | |
قوة العاصمة إمداد | مزود الطاقة | 500 واط |
الجهد الناتج | 0 ~ 600 فولت | |
الطاقة الانتاجية القصوى حاضِر | 1 أ | |
طول التوقيت | 65000 س | |
وقت البدء | 1~10 س | |
كمية | 2 مجموعات | |
إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية | مزود الطاقة | 500 واط |
مخرج قوي يتراوح | 0W-500W، مع تطابق تلقائي | |
أقصى القوة المنعكسة | 100 واط | |
تردد الترددات اللاسلكية | 13.56 ميجا هرتز+/-0.005% استقرار | |
قوة استقرار | ≥5 واط | |
متناسق عنصر | أقل من -50 ديسيبل | |
كمية | 1 مجموعة |
ثلاثة أدوات طلاء بالرش المغنطروني المستهدفة عبارة عن معدات طلاء بالرش المغنطروني فعالة من حيث التكلفة تم تطويرها بشكل مستقل من قبل شركتنا، والتي تتميز بخصائص التوحيد والنمطية والتخصيص.يمكن استخدام المعدات لتحضير الأفلام الكهروضوئية أحادية الطبقة أو متعددة الطبقات، والأفلام الموصلة، وأفلام السبائك، وأفلام أشباه الموصلات، والأفلام الخزفية، والأفلام العازلة، والأفلام البصرية، وأفلام الأكسيد، والأفلام الصلبة، وأفلام بولي تترافلوروإيثيلين، وما إلى ذلك. يمكن استخدامها لإعداد الأفلام المعدنية، ويمكن استخدام مصدر طاقة الترددات اللاسلكية لإعداد الأفلام غير المعدنية، ويمكن أن تلبي الأهداف الثلاثة احتياجات الطلاء متعدد الطبقات أو المتعدد.بالمقارنة مع المعدات المماثلة، فإن أداة الطلاء بالرش المغنطروني ثلاثية الأهداف لا تستخدم على نطاق واسع فحسب، بل تتميز أيضًا بمزايا الحجم الصغير والتشغيل السهل.إنها معدات مثالية لإعداد أفلام المواد في المختبر.
المعلمات التقنية لطلاء الرش المغنطروني:
ثلاثة المغطي الاخرق المغنطرون الهدف الجهاز (مصدر طاقة تيار مستمر + مصدر طاقة RF) | ||
جدول العينة | وضع الاخرق | الاخرق الاتجاه صعودا، و تقع مرحلة العينة فوق هدف الاخرق؛ حامل عينة إعداد أعلى المركز، مع مصراع واحد |
حامل العينة | φ150 ملم | |
دقة التحكم | ±1 درجة مئوية | |
نطاق التدفئة | غرفة درجة الحرارة ~ 500 درجة مئوية | |
سرعة قابلة للتعديل | 1-20 دورة في الدقيقة قابل للتعديل | |
المسافة الأساسية المستهدفة قابلة للتعديل | المسافة بين الهدف ويمكن تعديل الركيزة كهربائيا | |
المغنطرون بندقية الهدف | الطائرة المستهدفة | طائرة دائرية هدف |
الاخرق مكنسة | 10 باسكال ~ 0.2 باسكال | |
هدف قطر الدائرة | 50~50.8 ملم | |
هدف سماكة | 2 ~ 5 ملم ملحوظة: إذا كان الهدف مغناطيسيًا المواد (مثل Fe، Co، Ni). سمك لا يمكن أن يكون أكثر من 1.5 ملم، ويلزم وجود مسدس رش مغناطيسي قوي، سوف تحتاج اضافية تكلفة. | |
جهد العزل | > 2000 فولت | |
كمية | 2 بوصة * 3؛ مع مصاريع لكل بندقية | |
كابل تخصيص | إس إل-16 | |
رأس الهدف درجة حرارة | ≦65 درجة مئوية | |
غرفة فراغ | جدار داخلي علاج | تلميع كهربائيا |
حجم الغرفة | φ300 مم × 350 مم | |
غرفة مادة | 304 غير القابل للصدأ فُولاَذ | |
ملاحظة نافذة او شباك | نافذة كوارتز، قطر φ100 مم مع مصراع | |
طريقة الختم | ختم فيتون | |
طريقة مفتوحة | فتحة علوية، دعم إضافي للأسطوانة | |
نظام التحكم بالغاز | التحكم في التدفق | 3-طريقة الكتلة عداد التدفق: الأكسجين: المدى 0 ~ 100 SCCM غاز الأرجون: النطاق 0 ~ 200SCCM النيتروجين: النطاق 0 ~ 500SCCM (ملاحظة: من أجل تحقيق نسبة أعلى من الأكسجين الخالي من الأكسجين بيئة، يجب تنظيف حجرة التفريغ باستخدام غاز خامل عالي النقاء عند درجة حرارة الأقل ثلاث مرات.) |
نوع الغاز | الأرجون والنيتروجين والأكسجين وغيرها من الغازات الخاملة | |
صمام التحكم يكتب | صمام الملف اللولبي | |
صمام التحكم حالة ثابتة | عادة مغلق | |
قياس الخطية | ±1.5% FS | |
قياس التكرار | ±0.2% FS | |
قياس وقت الاستجابة | ≥8 ثانية (T95) | |
عمل نطاق الضغط | 0.3 ميجا باسكال | |
جسم الصمام ضغط | 3MPa | |
عمل درجة حرارة | (5~45) درجة مئوية | |
مادة الجسم | الفولاذ المقاوم للصدأ 316L | |
جسم الصمام معدل التسرب | 1×10-8Pa.m3/s | |
مفاصل الأنابيب | 1/4 بوصة تركيب ضغط | |
الإدخال و إشارة الخرج | 0 ~ 5 فولت | |
مزود الطاقة | ± 15 فولت (± 5٪) (+ 15 فولت 50 مللي أمبير، -15 فولت 200 مللي أمبير) | |
إجمالي الأبعاد (مم) | 130 (عرض) × 102 (ارتفاع) × 28 (سماكة) | |
تواصل واجهه المستخدم | بروتوكول مودبوس RS485 | |
قوة العاصمة إمداد | مزود الطاقة | 500 واط |
الجهد الناتج | 0 ~ 600 فولت | |
الطاقة الانتاجية القصوى حاضِر | 1 أ | |
طول التوقيت | 65000 س | |
وقت البدء | 1~10 س | |
كمية | 2 مجموعات | |
إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية | مزود الطاقة | 500 واط |
مخرج قوي يتراوح | 0W-500W، مع تطابق تلقائي | |
أقصى القوة المنعكسة | 100 واط | |
تردد الترددات اللاسلكية | 13.56 ميجا هرتز+/-0.005% استقرار | |
قوة استقرار | ≥5 واط | |
متناسق عنصر | أقل من -50 ديسيبل | |
كمية | 1 مجموعة |