1 مصدر رش مغناطيسي مع موصل سريع عالي الفراغ لطلاء الرش المغنطروني

بندقية الاخرق

• رأس الاخرق        قطر الدائرة:         1.82 بوصة        (46.3 ملم)

• القطر المستهدف:                                1.0 ± 0.02 بوصة (25.4 ملم)

• الحد الأقصى لسمك الهدف:       1/8'        (3 مم)

• المغناطيس:                                                   ندفيب مغناطيس الأرض النادرة

• قطر رمح:                                         3/4 بوصة OD

  موصل كهربائي

• موصل كابل SL16 القياسي   (صورة 1)

• كابل RF اختياري بطول 148 سم مع موصل SL6 (انقر فوق الصورة 2 للطلب)

متطلبات الطاقة

• العاصمة (الحد الأقصى)  250 واط

• الترددات اللاسلكية (الحد الأقصى)  100 واط

الكاثود الاخرق الحالي

3 أمبير (الحد الأقصى)
 
 

الكاثود الاخرق الجهد

200 - 1000 فولت

نطاق ضغط التشغيل

~1 متر تور إلى 1 تور

سمك الاخرق
  منحنى التوحيد
 

• ملحوظة: تم الحصول على الرسم البياني لسمك الفيلم الطبيعي أعلاه من        ترسيب فيلم بسماكة 200 نانومتر تقريبًا باستخدام مسدس رش PVD HV Magnetron        باستخدام هدف النحاس 1 بوصة.تم إجراء القياسات باستخدام 4 نقاط        التحقيق في اتجاهين متعامدين بشكل متبادل (X، Y) عبر الرقاقة        سطح.تم ترسيب الفيلم على رقاقة Si مؤكسدة غير دوارة        وفقا للشروط التالية:

• 150 واط تيار مستمر في 10 متر مكعب (Ar)

• مسافة 3 بوصات (75 ملم) من الهدف إلى الركيزة

تبريد المياه (مطلوب)
 

• متطلبات معدل التدفق:                      1/2 جالون في الدقيقة، مفلتر
         
         

• درجة حرارة مدخل المياه:                    <20 ج

• ربط المياه:                                          0.25 بوصة OD        أنبوب.

• يرجى اعلامنا بحجم أنبوب مبرد المياه الخاص بك، يمكننا ذلك        قم بتثبيت التركيب مسبقًا لك بتكلفة إضافية.

التجهيزات الكهربائية والتركيب

• موصل كهربائي:                          نوع HN القياسي        (تيار مستمر وRF)

• يتم تثبيت الرابط السريع ذو الفراغ العالي مسبقًا على الفور        الاستخدام، والذي يمكن تثبيت مصدر الاخرق على        اللوح الأساسي (يصل سمكه إلى 1 بوصة) لغرفة مفرغة  1 بوصة قطر        من خلال ثقب بسهولة.

شفة فراغ مع التغذية (خياري)

شفة CF مقاس 6 بوصة مع ارتفاع   التغذية بالفراغ متاحة عند الطلب بتكلفة إضافية.ال   يمكن تركيب رأس الرش بسهولة على شفة التفريغ CF مقاس 6 بوصات   الفاصل السريع .يمكن أن يكون موضع ارتفاع مسدس الرش   يتم تعديلها يدويًا داخل حجرة التفريغ.  
   
 
 

هدف الاخرق البلازما

• 1 بوصة لوحة دعم نحاسية  (EQ-CBP-1)        متضمن.

• يرجى النقر لطلب ضياء آخر مقاس 1 بوصة.        هدف الاخرق البلازما

الطول الإجمالي

14 بوصة

الوزن الصافي

3 رطل

 
 
  الملحقات الاختيارية

• مبرد المياه المعاد تدويره الذي يتم التحكم في درجة حرارته رقميًا مع 6        خزان لتر، تدفق 16 لتر / دقيقة متاح بتكلفة إضافية، يرجى الطلب        بشكل منفصل، انقر على الصورة أدناه على اليسار للطلب.

• تقدم MTI مصدر طاقة DC وRF بالإضافة إلى غرفة مفرغة         لنظام الاخرق DIY (انقر فوق الصورة أدناه للطلب)